වායු බෙයාරින් මගින් ස්පර්ශ බෙයාරින් එකකට කළ නොහැකි දේ සාක්ෂාත් කර ගත හැකිය: ගෙවී යාමකින් තොරව චලනය, සැරයටිය ලිස්සා යාමකින් තොරව සහ ලිහිසි කිරීමකින් තොරව, උප-මයික්‍රෝන සෘජු මට්ටම්වලදී. නමුත් වායු බෙයාරින් එකක් එය පාවෙන මතුපිට තරම් හොඳයි. මෙම ලිපියෙන් වායු පටලවල භෞතික විද්‍යාව, සියුම්-කැටිති සහිත ස්වාභාවික ග්‍රැනයිට් කදිම සංසර්ග ද්‍රව්‍යය වන්නේ ඇයි, මාර්ගෝපදේශක මාර්ගය ඉල්ලා සිටින මතුපිට නිරවද්‍යතාවය සහ ග්‍රැනයිට් වායු බෙයාරින් අදියර වැඩිම වටිනාකමක් ලබා දෙන ස්ථාන - රේඛීය මෝටර් වේදිකා සිට දෘශ්‍ය පරීක්ෂණ පද්ධති දක්වා පැහැදිලි කරයි.
1. වායු බෙයාරින් ක්‍රියා කරන ආකාරය: වාතයේ අන්වීක්ෂීය පටලයක් මත ගමන් කිරීම
වායු රඳවනයක් සාමාන්‍යයෙන් 3–15 µm ඝනකමකින් යුත් තුනී පීඩන පටලයක් මත එහි බරට සහාය වේ. සැපයුම් මූලධර්ම දෙකක් ප්‍රමුඛ වේ:
- සිදුර වන්දි.නිශ්චිත ප්‍රමාණයේ සිදුරු හරහා වාතය නොගැඹුරු සාක්කුවකට හෝ වලකට ගලා යයි; පරතරය වෙනස් වන විට පීඩනය ස්වයං-ගැලපේ. සරල හා ශක්තිමත්, නමුත් බර ධාරිතාව මධ්‍යස්ථ වන අතර පටලය දේශීය මතුපිට දෝෂ වලට සංවේදී වේ.
- සිදුරු සහිත වන්දි.සිදුරු සහිත ද්‍රව්‍යයක් (බොහෝ විට කාබන්) හරහා වාතය ඒකාකාරව ගලා යන අතර, ඉහළ තෙතමනයක් සහිත සුවිශේෂී ලෙස ස්ථායී සහ ඇලවීමට ඔරොත්තු දෙන පටලයක් නිපදවයි.
ඕනෑම ආකාරයකින්, පාලන භෞතික විද්‍යාව සමාන වේ: පටල තද බව පරතරයේ ඒකාකාරිත්වයේ වර්ග ප්‍රමාණය මත රඳා පවතී. මාර්ගෝපදේශක මතුපිට පටල ඝණකමට සමාන රැලි සහිත බවක් තිබේ නම්, වේදිකාව පීඩන මොඩියුලේෂන් අත්විඳියි - සෘජු බව දෝෂයක්, රෝල් එකක් හෝ ඊටත් වඩා නරක ලෙස, වායුමය මිටියක් (ස්වයං-උද්දීපිත දෝලනය) ලෙස දෘශ්‍යමාන වේ.පද්ධතියේ ගුණාත්මක සිවිලිම සකසන්නේ බෙයාරින් එක නොව මාර්ගෝපදේශක මාර්ගයයි.
2. ග්‍රැනයිට් කදිම මාර්ගෝපදේශක ද්‍රව්‍යයක් වන්නේ ඇයි?
ඉංජිනේරුවන් සමහර විට අසන්නේ වායු දරණ අදියර වානේ හෝ සෙරමික් රේල් පීලි මත නොව ග්‍රැනයිට් මත ධාවනය වන්නේ මන්ද යන්නයි. හේතු සම්ප්‍රදාය නොව ද්‍රව්‍යමය භෞතික විද්‍යාවයි:
- සියුම්, ඒකාකාර ධාන්‍ය ව්‍යුහය.ආග්නේය කළු ග්‍රැනයිට් තනි දියවීමකින් ඝන වේ; වාත්තු යකඩවල මෙන් ඩෙන්ඩ්‍රිටික් වෙන් කිරීමක්, ඇතුළත් කිරීම් හෝ මෘදු අනුකෘතියක් නොමැත. ලැපිං සමජාතීය මතුපිටක් නිරාවරණය කරයි, එබැවින් වායු පරතරය මුළු ගමන පුරාම ඒකාකාරව පවතී - පටල ස්ථායිතාව සඳහා ඇති එකම වැදගත් සාධකය.
- අඩු තාප ප්‍රසාරණය (≈5–8 µm/m·°C).වායු පරතරයන් මයික්‍රෝන කිහිපයක් පමණි; උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් අංශක භාගයක් වානේ රේල් පීල්ලක් වායු පරතරයකට වඩා වැඩි දුරකට මාරු කළ හැකිය. ග්‍රැනයිට් වල ස්ථායිතාව දිවා-රාත්‍රී චක්‍ර හරහා පටල ජ්‍යාමිතිය නොවෙනස්ව තබා ගනී.
- විඛාදනයක් නැත, තෙල් නැත.හිස් ග්‍රැනයිට් වලට ආලේපන හෝ ලිහිසි තෙල් අවශ්‍ය නොවේ - වායුව ඉවත් කිරීම සහ අංශු උත්පාදනය තෙල් සහිත රේල් පීලි නුසුදුසු කරන පිරිසිදු කාමරවල ඉතා වැදගත් වේ.
- ඉහළ තෙතමනය.ග්‍රැනයිට් වල අභ්‍යන්තර තෙතමනය බිම සහ ධාවක වලින් කම්පන සම්ප්‍රේෂණය මර්දනය කරයි, පාවෙන අදියරේ ගතික හැසිරීම වැඩි දියුණු කරයි.
- මීටරයකට වඩා මයික්‍රෝන මට්ටමේ සමතලාභාවයට අනුකූල වේ.දිගු ග්‍රැනයිට් රේල් පීලි අතින් ඇලවිය හැකි අතර මීටර කිහිපයක් ඉක්මවා මයික්‍රෝන කිහිපයක් දක්වා සත්‍යාපනය කළ හැකිය - යන්ත්‍රෝපකරණ මගින් පමණක් සාක්ෂාත් කරගත නොහැකි දෙයක්.
3. වායු දරණ මාර්ගෝපදේශක මාර්ගයකට අවශ්‍ය මතුපිට නිරවද්‍යතාවය කුමක්ද?
පිරිවිතර රඳා පවතින්නේ බෙයාරින් වර්ගය සහ ඉලක්ක චලන ගුණාත්මකභාවය මත ය, නමුත් නිරවද්‍යතාවයක් සඳහා සාමාන්‍ය අවශ්‍යතාග්‍රැනයිට් වායු බෙයාරින්පද්ධතිය යනු:
| පරාමිතිය | සාමාන්‍ය අවශ්‍යතාවය | ඒක වැදගත් වෙන්නේ ඇයි? |
|---|---|---|
| දරණ මුහුණතෙහි සමස්ත සමතලා බව | ගමන් දුරින් 1–5 µm | මූලික පටල පරතරයේ ඒකාකාරිත්වය |
| දේශීය පැතලි බව / රැලි සහිත බව | ≤ 25 mm ට 0.5–1 µm | කෙටි තරංග ආයාම දෝෂ පීඩනය කෙලින්ම වෙනස් කරයි |
| සම්පූර්ණ ගමනේදී සෘජු බව | 0.5–2 µm (තිරස් සහ සිරස්) | වේදිකාවේ සෘජු බව දෝෂය බවට කෙලින්ම පත්වේ. |
| මතුපිට නිමාව | ලැප්ඩ්, Ra ≤ 0.4 µm සාමාන්‍යයෙන් | නිමාව පරතරය කාන්දු වීම සහ ප්‍රවාහ ස්ථායිතාවයට බලපායි |
| ප්‍රතිවිරුද්ධ රේල් පීලි වල සමාන්තරකරණය | දිග 1–3 µm ට වඩා වැඩිය | කරත්තයේ පෙරළීම සහ යව් පාලනය කරයි |
මෙම සංඛ්‍යා වලින් සත්‍යාපනය වෙන් කළ නොහැකි ය: උප-මයික්‍රෝන අවිනිශ්චිතතාවයකින් යුත් මීටර් 2 ක රේල් පීල්ලක් මත සෘජු බව මැනීම සඳහා උෂ්ණත්ව පාලිත කාමරයක ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම්, ස්වයංක්‍රීය කොලිමේටර් හෝ ලේසර් අන්තර්-පරාමිතිය අවශ්‍ය වේ. මාර්ගෝපදේශ සැපයුම්කරුගේ මිනුම් හැකියාව ඔවුන්ගේ ලැපින් බංකු තරම්ම වැදගත් වන්නේ එබැවිනි - අපි අපගේ ප්‍රවේශය අපගේග්‍රැනයිට් පරීක්ෂාව සහ ක්‍රමාංකනයක්‍රියාවලිය.
4. සාමාන්‍ය යෙදුම්
- රේඛීය මෝටර් වේදිකා.යකඩ රහිත රේඛීය මෝටර මඟින් දැති රෝදයක් නොමැතිව සුමට බලයක් ලබා දෙයි; ග්‍රැනයිට් වායු මාර්ගෝපදේශ සමඟ ඒකාබද්ධව, අදියර 1-2 m/s වේගයකින් උප-මයික්‍රෝන සෘජු බව කරා ළඟා වේ - වේෆර් පරීක්ෂාව සහ ලේසර් ස්කෑන් කිරීම සඳහා සම්මත ගෘහ නිර්මාණ ශිල්පය.
- XY නිරවද්‍යතා අවධීන්.ග්‍රැනයිට් පදනමක් මත ගොඩගැසී ඇති හෝ තලීය වායු දරණ අදියර, ලිතෝග්‍රැෆි-යාබද මිනුම් විද්‍යාව, පරීක්ෂණ කාඩ්පත් සහ ප්‍රදර්ශන පරීක්ෂාව සඳහා නැනෝමීටර මට්ටමේ පුනරාවර්තන හැකියාව ලබා ගනී.
- දෘශ්‍ය පරීක්ෂණ පද්ධති.කොන්ෆෝකල්, ඉන්ටර්ෆෙරෝමෙට්‍රික් සහ ක්‍රොමැටික් සංවේදක පද්ධති සඳහා කම්පනය-නිදහස්, ඇඳීම-නිදහස් ස්කෑන් චලිතයක් අවශ්‍ය වේ; ස්පර්ශ නොවන පටලය කිසිදු අංශු එකතු නොකරන අතර හිස්ටෙරසිස් නොමැත.
- ස්කන්ධ සංසන්දක සහ මිනුම් විද්‍යාගාර.පිරිසිදුකම සහ ජ්‍යාමිතික පරිපූර්ණත්වය යන දෙකම අනිවාර්ය වන තැන්වල, කළුගල් රේල් පීලි මත වාතය ගෙන යන මැදිරි සේවය කරයි.
මේ සියලු අවස්ථාවන්හිදී ග්‍රැනයිට් එකවර භූමිකාවන් දෙකක් ඉටු කරයි: ව්‍යුහාත්මක පදනම සහ නිරවද්‍ය මාර්ගෝපදේශය. එක් ද්‍රව්‍යයක් තුළ දෙකම ඒකාබද්ධ කිරීම - එක් ලැපින් ක්‍රියාවලියක්, එක් තාප හැසිරීමක්, එක් සහතිකයක් - එසේ නොමැතිනම් දෝෂ එන්නත් කරන අතුරුමුහුණත් ඉවත් කරයි. වැඩිදුර යෙදුම් විස්තර අපගේ වෙබ් අඩවියෙන් ලබා ගත හැකිය.අර්ධ සන්නායක උපකරණවිසඳුම්.
5. ඔබ සඳහන් කිරීමට පෙර නිර්මාණ සටහන්
- ගමන්, බර සහ ගුරුත්වාකර්ෂණ කේන්ද්‍රය නිර්වචනය කරන්න— පටල තද බව සහ දරණ පූර්ව බර ඒවා වටා ප්‍රමාණ කර ඇත.
- වාතයේ ගුණාත්මකභාවය සඳහන් කරන්න— සාමාන්‍යයෙන් පිරිසිදු, වියළි වාතය, පෙරීම 0.01 µm දක්වා; පටලය සැපයුම තරම්ම පිරිසිදුයි.
- මිනුම් දිනය තීරණය කරන්න— සෘජු බව යොමුව අයිති කාටද: බෙයාරිං සාදන්නා, පාදක සාදන්නා හෝ එකලස් කරන ලද පද්ධතිය?
- පරිසරය සැලසුම් කරන්න— 20 ± 0.5 °C සහ කම්පන-හුදකලා අත්තිවාරමක් සහතික කළ ජ්‍යාමිතිය ආරක්ෂා කරයි.
- කොටස සමඟ පරීක්ෂණ වාර්තාව ඉල්ලන්න.- ශ්‍රේණි අකුරක් පමණක් නොව, උපකරණ හඳුනාගැනීම සහ සොයාගැනීමේ හැකියාව සමඟින් මනින ලද සෘජු බව/පැතලි බව අගයන්.
නිගමනය
වායු ෙබයාරිං සහ ග්‍රැනයිට් යනු ගැළපෙන යුගලයකි: ෙබයාරිං ඝර්ෂණ රහිත චලිතයක් සපයන අතර, ග්‍රැනයිට් පටලය ක්‍රියා කරන ජ්‍යාමිතික වශයෙන් ස්ථායී, තාප නිහඬ, අංශු-නිදහස් මතුපිටක් සපයයි. දෙකම එකට ඉංජිනේරු කර සත්‍යාපනය කළ විට, ප්‍රතිඵලය වන්නේ ස්පර්ශක පද්ධතිවලට ළඟා විය නොහැකි චලන ගුණාත්මක භාවයයි.
වායු දරණ වේදිකාවක් හෝ චලන වේදිකාවක් සංවර්ධනය කරනවාද? ගමන් පරාසය, බර පැටවීම, අවශ්‍ය සෘජු බව සහ අතුරුමුහුණත් ඇඳීම අපට එවන්න - ZHHIMG® ඔබේ පද්ධතිය සඳහා ග්‍රැනයිට් මාර්ගෝපදේශක සංරචක ඉංජිනේරු කර සහතික කරනු ඇත, සොයා ගත හැකි පරීක්ෂණ වාර්තාවක් ඇතුළත් වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: සැප්තැම්බර්-24-2026