"නැනෝමීටරය" සම්මත මිනුම් ඒකකය වන අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ, උපකරණවල ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සාකච්ඡා කළ නොහැකි ය. චිප් නෝඩ් 5nm සහ ඉන් ඔබ්බට හැකිලෙන විට, කම්පන තෙතමනය සහ තාප ස්ථායිතාව සඳහා ඇති ඉල්ලුම ආන්තික මට්ටම් කරා ළඟා වේ. නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචක ඉහළ මට්ටමේ විකල්පයක් වීමේ සිට අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන දෘඩාංගවල අත්යවශ්ය "DNA" දක්වා සංක්රමණය වී ඇත.
ඉහළ ස්ථායිතා උපකරණ ව්යුහයන්ගේ ප්රමුඛ සැපයුම්කරුවෙකු ලෙස, ZHHIMG®, ග්රැනයිට් යනු ප්රබන්ධයේ නිහඬ වීරයා වන වඩාත් තීරණාත්මක යෙදුම් අට විශ්ලේෂණය කරයි.
1. ලිතෝග්රැෆි යන්ත්ර පදනම්
ලිතෝග්රැෆි යන්ත්රය අර්ධ සන්නායක දාමයේ ඇති වඩාත්ම සංකීර්ණ උපකරණ කොටසයි. පාදම පරිපූර්ණ ලෙස නිශ්චලව පවතින අතරම දැවැන්ත දෘශ්ය පද්ධති සඳහා සහාය විය යුතුය. ග්රැනයිට් වල ඉහළ ඝනත්වය සහ අභ්යන්තර තෙතමනය අවට පරිසරයෙන් ක්ෂුද්ර කම්පන අවශෝෂණය කර ගැනීමට ඉඩ සලසයි, ආලෝක ප්රභවය පරමාණුක මට්ටමින් පෙළගස්වා ඇති බව සහතික කරයි.
2. වායු දරණ චලන අදියර
අධිවේගී වේෆර් ප්රවාහනයට ඝර්ෂණ-නිදහස් චලනය අවශ්ය වේ. ග්රැනයිට් මයික්රෝනයකට වඩා අඩු පැතලි බවට පත් කළ හැකි බැවින්, එය වාතය දරණ තාක්ෂණය සඳහා පරිපූර්ණ සහකරු ලෙස සේවය කරයි. "වායු කුෂන්" ශුන්ය ඇඳීමකින් ග්රැනයිට් මතුපිට මත ලිස්සා යන අතර, ස්කෑන් කිරීම සහ ස්ථානගත කිරීම සඳහා අවශ්ය අතිශය සුමට චලිතය සපයයි.
3. වේෆර් පරීක්ෂණ සහ මිනුම් විද්යා වේදිකා
කැටයම් කිරීමෙන් පසු, වේෆර් දෝෂ සඳහා පරීක්ෂා කළ යුතුය. යන්ත්ර රාමුවේ ඕනෑම තාප ප්රසාරණයක ප්රතිඵලයක් ලෙස "ව්යාජ ධනාත්මක" හෝ මඟ හැරුණු දෝෂයක් ඇති විය හැක.නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචකතාප නිෂ්ක්රීය පරිසරයක් සපයන අතර, පරීක්ෂණ දත්ත යන්ත්රයේ විකෘතිය නොව වේෆරයේ මතුපිට සැබෑ පිළිබිඹුවක් බව සහතික කරයි.
4. ගැන්ට්රි චලන පද්ධති (පාලම් ව්යුහයන්)
අධිවේගී කැට කැපීමේදී හෝ වයර් බන්ධනයේදී, "පාලම" හෝ ගැන්ට්රි සෙලවීමකින් තොරව වේගයෙන් ගමන් කළ යුතුය. ග්රැනයිට් ගැන්ට්රියක් වාත්තු යකඩ හා සසඳන විට උසස් දෘඪතාව-ස්කන්ධ අනුපාතයක් ලබා දෙන අතර, "පදිංචි කිරීමේ කාලය" සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි - යන්ත්රයක් එහි ඊළඟ කාර්යය ඉටු කිරීමට පෙර කම්පන නතර වන තෙක් බලා සිටිය යුතු කාලය.
5. ලේසර් අලුත්වැඩියා උපකරණ රාමු
ආවරණයක් හෝ වේෆරයක් මත දෝෂයක් හමු වූ විට, නිරවද්ය අලුත්වැඩියාව සඳහා ලේසර් භාවිතා කරනු ලැබේ. මේ සඳහා සම්පූර්ණයෙන්ම චුම්භක නොවන සහ සන්නායක නොවන ව්යුහාත්මක අත්තිවාරමක් අවශ්ය වේ. ග්රැනයිට් ස්වභාවිකවම පරිවාරක වන අතර, සියුම් ලේසර් මාර්ගයට බලපෑම් කිරීමෙන් විද්යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් වළක්වයි.
6. පිරිසිදු කාමර සඳහා CMM (සම්බන්ධීකරණ මිනුම් යන්ත්ර)
අර්ධ සන්නායක පහසුකම තුළ තත්ත්ව පාලනය සඳහා දැඩි පිරිසිදු කාමර ප්රොටෝකෝලවලට ඔරොත්තු දිය හැකි CMM අවශ්ය වේ. අංශු වැගිරීමට හෝ ඔක්සිකරණය කළ හැකි ලෝහ මෙන් නොව, ග්රැනයිට් අම්ල-ප්රතිරෝධී සහ මලකඩ-ප්රතිරෝධී වන අතර පරිසරය දූෂණය නොකර ඉහළ ස්ථායිතා උපකරණ ව්යුහයක් පවත්වා ගනී.
7. රසායනික යාන්ත්රික ඔප දැමීමේ (CMP) පදනම්
CMP ක්රියාවලියට ලෝහවලට දැඩි ලෙස විඛාදනයට ලක්වන පොහොර සහ රසායනික කාරක ඇතුළත් වේ. ග්රැනයිට් වල ස්වාභාවික රසායනික ප්රතිරෝධය එය ඔප දැමීමේ ඒකකවල ව්යුහාත්මක පදනම සඳහා කදිම ද්රව්යයක් බවට පත් කරයි, කටුක රසායනික පරිසරයන් තුළ පවා දිගු සේවා කාලයක් සහතික කරයි.
8. අයන බද්ධ කිරීමේ පද්ධති
අයන බද්ධ කරන්නන්ගේ අධි වෝල්ටීයතා පරිසරයන් සඳහා අයන කදම්භවලට බාධා නොකරන හෝ විද්යුත් චාපයක් නිර්මාණය නොකරන සංරචක අවශ්ය වේ. ග්රැනයිට් වල පාර විද්යුත් ගුණාංග නිසා සංවේදී විද්යුත් සහ රික්ත සංරචක සවි කිරීම සඳහා ආරක්ෂිත සහ ස්ථාවර තේරීමක් වේ.
අර්ධ සන්නායක යටිතල පහසුකම් සඳහා ZHHIMG® ඇයි?
ZHHIMG® හිදී, අර්ධ සන්නායක උපකරණ පදනමක් යනු ගල් කැබැල්ලකට වඩා වැඩි යමක් බව අපි තේරුම් ගනිමු - එය ක්රමාංකනය කරන ලද උපකරණයකි. අපගේ විශේෂිත කළු ග්රැනයිට්, අපගේ වසර 30+ ක අතින් ඇඹරුම් විශේෂඥතාව සමඟ ඒකාබද්ධව, උප-ක්ෂුද්ර යුගයේ දැඩි අවශ්යතා සපුරාලන පැතලි බව සහ සමාන්තර ශ්රේණි ලබා ගැනීමට අපට ඉඩ සලසයි.
-
ද්රව්ය: ඉහළ ඝනත්වයකින් යුත්, අතිශය සියුම් කැට සහිත ZHHIMG® කළු ග්රැනයිට්.
-
නිරවද්යතාවය: DIN 876 ශ්රේණිය 00 හෝ අභිරුචි JIS/ASME පිරිවිතරයන්ට අනුව නිරවද්යතා ශ්රේණි.
-
අභිරුචිකරණය: අපගේ 10,000m² නියත-උෂ්ණත්ව වැඩමුළුවල පූර්ව ස්ථාපනය කර ඇති ඒකාබද්ධ ඇතුළු කිරීම්, T-ස්ලොට් සහ වායු-දරණ පීලි.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-18-2026