අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ "නැනෝ නිරවද්‍යතාවයේ" අවසාන සටනේදී, වේෆර් කැපුම් උපකරණවල ඇති සුළු දෝෂයක් පවා චිපයක් අපද්‍රව්‍ය බවට පත් කළ හැකිය. ග්‍රැනයිට් පදනම යනු ±5um පුනරාවර්තන ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය පාලනය කරන, එහි ස්වාභාවික අරුමපුදුම දේ තුන සමඟ නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන නීති නැවත ලියන, නොසැලකිලිමත් වීරයා වේ.
තාප විරූපණයට එරෙහිව "ස්ථායීකරණ නැංගුරම": ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය 5-7 ×10⁻⁶/℃ තරම් අඩු වන අතර එය ලෝහ ද්‍රව්‍යවල සංගුණකයෙන් තුනෙන් එකක් පමණි. වේෆර් කැපුම් උපකරණවල අධිවේගී ක්‍රියාකාරිත්වය මගින් ජනනය වන තාප බලපෑම යටතේ, සාමාන්‍ය ද්‍රව්‍ය තාප ප්‍රසාරණය සහ හැකිලීම හේතුවෙන් විකෘති වන අතර එමඟින් කැපුම් හිස ස්ථානගත කිරීම මාරු වේ. කෙසේ වෙතත්, ග්‍රැනයිට් පාදය "චලනය නොවී" පැවතිය හැකි අතර, තාප විරූපණය නිසා ඇතිවන ස්ථානගත කිරීමේ අපගමනය මූලික වශයෙන් ඉවත් කර නිරවද්‍යතාවය සඳහා ශක්තිමත් පදනමක් තබයි.
කම්පන අවශෝෂණයේ "නිහඬ පලිහ": යන්ත්‍ර මෙවලම්වල නිරන්තර ඝෝෂාව සහ වැඩමුළුවේ උපකරණවල අඛණ්ඩ කම්පනය නිරවද්‍යතාවයට "මාරාන්තික ඝාතකයන්" ලෙස සැලකිය හැකිය. ග්‍රැනයිට් වල අද්විතීය ස්ඵටික ව්‍යුහය ස්වාභාවික කම්පන අවශෝෂකයක් වැනි වන අතර, උපකරණ ක්‍රියාකාරිත්වය මගින් ජනනය වන බාහිර කම්පන සහ යාන්ත්‍රික කම්පන වේගයෙන් විසුරුවා හැරීම සඳහා තාප ශක්තිය බවට පරිවර්තනය කිරීමේ හැකියාව ඇත. කම්පනය හේතුවෙන් අනෙකුත් භෂ්ම තවමත් "පැද්දෙමින්" පවතින අතර, ග්‍රැනයිට් පාදය කැපුම් හිස සඳහා ස්ථාවර වේදිකාවක් නිර්මාණය කර ඇති අතර එය චලනය නොවී පවතී, එමඟින් ±5um නිරවද්‍යතාවයක් ලබා ගත හැකිය.
විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන "සදාකාලික බලකොටුව": අර්ධ සන්නායක වැඩමුළු කැටයම් ද්‍රාවණ සහ අම්ල සහ ක්ෂාර පිරිසිදු කරන්නන් වැනි විඛාදන ද්‍රව්‍ය වලින් පිරී ඇත. එවැනි පරිසරයක, ලෝහ භෂ්ම ක්‍රමයෙන් මලකඩ ගසා විරූපණය වේ. එහි ආවේණික රසායනික ස්ථායිතාව ඇති ග්‍රැනයිට්, මෙම රසායනික ද්‍රව්‍ය සමඟ කිසිසේත් ප්‍රතික්‍රියා නොකරයි. එය කොපමණ වසරක් භාවිතා කළත්, එයට ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගත හැකි අතර ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් කැපීම අඛණ්ඩව සහතික කළ හැකිය.
ද්‍රව්‍යමය කුසලතාවයේ සිට අතිශය නිරවද්‍ය සැකසුම් දක්වා, සියලුම ද්‍රව්‍යවලට අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ කටුක අභියෝගවලට මුහුණ දිය නොහැකි බව ග්‍රැනයිට් පදනම එහි ශක්තියෙන් පෙන්නුම් කර ඇත. මෙම ප්‍රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි ස්වාභාවික වාසි නිසාම, ±5um පුනරාවර්තන ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවයක් ලබා ගැනීම සඳහා වේෆර් කැපුම් උපකරණ සඳහා ග්‍රැනයිට් පාදම යතුර බවට පත්ව ඇති අතර, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය අඛණ්ඩව ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් කරා ගමන් කිරීමට තවදුරටත් තල්ලු කර ඇත!
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-14-2025