ඊළඟ පරම්පරාවේ සෙරමික් මිනුම් උපකරණ අතිශය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයේ සීමාවන් නැවත අර්ථ දක්වයිද?

ක්‍රමාංකන රසායනාගාර, අර්ධ සන්නායක පිරිසිදු කාමර සහ අභ්‍යවකාශ මිනුම් විද්‍යා කට්ටලවල නිහඬ ශාලා තුළ, නිහඬ විප්ලවයක් සිදුවෙමින් පවතී. එය මෙහෙයවනු ලබන්නේ මෘදුකාංග හෝ සංවේදක මගින් පමණක් නොවේ - නමුත් මිනුම්වල පදනම සාදන ද්‍රව්‍ය විසින්ම ය. මෙම මාරුවේ ප්‍රමුඛස්ථානයේ ඇත්තේ අතිශය ස්ථායී සෙරමික් වායු සෘජු පාලකය සහ සුවිශේෂී ලෙස දෘඩ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් සිලිකන්-කාබයිඩ් (Si-SiC) සමාන්තර නල සහ හතරැස් ඇතුළු දියුණු සෙරමික් මිනුම් උපකරණ ය. මේවා හුදෙක් මෙවලම් නොවේ; ඒවා ස්ථාවරත්වය, පුනරාවර්තන හැකියාව සහ තාප උදාසීනත්වය සාකච්ඡා කළ නොහැකි නව යුගයක සක්‍රීය කරන්නන් වේ.

අඩ සියවසකට වැඩි කාලයක් කළු ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍ය මිනුම් විද්‍යාවේ ආධිපත්‍යය දැරීය. එහි ස්වාභාවික තෙතමනය, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ විශිෂ්ට පැතලි බව නිසා මතුපිට තහඩු, හතරැස් සහ සෘජු දාර සඳහා එය සුදුසු ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් විය. එහෙත් කර්මාන්ත උප-මයික්‍රෝන සහ නැනෝමීටර පරිමාණ ඉවසීම් වලට පවා තල්ලු වන විට - විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක ලිතෝග්‍රැෆි, අභ්‍යවකාශ දෘෂ්ටි විද්‍යාව සහ ක්වොන්ටම් පරිගණනය තුළ - ග්‍රැනයිට් වල සීමාවන් වඩ වඩාත් පැහැදිලි වී ඇත. එය බරයි, නැවත නැවත ස්පර්ශ වන විට ක්ෂුද්‍ර-චිපින් කිරීමට ගොදුරු වේ, සහ, එහි කීර්තිය තිබියදීත්, බර හෝ පාරිසරික උච්චාවචනය යටතේ මිනිත්තු දිගු කාලීන රිංගීමක් තවමත් ප්‍රදර්ශනය කරයි.

ඉංජිනේරුමය පිඟන් මැටි ඇතුළු කරන්න: එදිනෙදා පරිකල්පනයේ බිඳෙනසුලු මැටි භාණ්ඩ නොව, අධික තාපය හා පීඩනය යටතේ සකස් කරන ලද ඝන, සමජාතීය, ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත ද්‍රව්‍ය. මේවා අතර, මිනුම් විද්‍යා යෙදුම් සඳහා පන්ති දෙකක් කැපී පෙනේ: අධි-සංශුද්ධතා ඇලුමිනා (Al₂O₃) සහ ප්‍රතික්‍රියා-බන්ධිත සිලිකන් කාබයිඩ් (Si-SiC). දෙකම සාම්ප්‍රදායික ද්‍රව්‍යවලට වඩා නාටකාකාර වැඩිදියුණු කිරීම් ලබා දෙන අතර, ඒවා වෙනස් භූමිකාවන් ඉටු කරයි - සහ එක්ව, ඒවා මාන මිනුම් විද්‍යාවේ කළ හැකි දේවල කැපී පෙනෙන මායිම නියෝජනය කරයි.

උදාහරණයක් ලෙස සෙරමික් වායු සෘජු පාලකය ගන්න. වායු-දරණ අදියර හෝ දෘශ්‍ය අන්තර්-මානක සමඟ භාවිතය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති මෙම උපකරණය, පරිපූර්ණ සෘජු බවක්, අවම ස්කන්ධයක් සහ ශුන්‍ය තාප ප්ලාවිතය ඉල්ලා සිටී. ඇලුමිනා මත පදනම් වූ.සෙරමික් පාලකයන්—500 mm ට වැඩි ±0.5 µm ඇතුළත සමතලා බව සහ සෘජු බව සඳහා යන්ත්‍රගත කර Ra 0.02 µm ට අඩු මතුපිට රළු බව සඳහා ඔප දැමූ — එය හරියටම ලබා දෙයි. ඒවායේ අඩු ඝනත්වය (~3.6 g/cm³) ගතික මිනුම් පද්ධතිවල අවස්ථිති බව අඩු කරන අතර, ඒවායේ චුම්භක නොවන, සන්නායක නොවන ස්වභාවය සංවේදී ඉලෙක්ට්‍රොනික හෝ චුම්භක පරිසරවල ඇඟිලි ගැසීම් ඉවත් කරයි. වේෆර් පරීක්ෂණ මෙවලම් හෝ ලේසර් ට්‍රැකර් ක්‍රමාංකන සැකසුම් වලදී, දුන්නක මයික්‍රෝනයකට පවා ප්‍රතිඵල විකෘති කළ හැකි අතර, සෙරමික් වායු සෘජු පාලකය උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් සහ මෙහෙයුම් චක්‍ර හරහා සත්‍යව පවතින ස්ථාවර, නිෂ්ක්‍රීය යොමුවක් සපයයි.

නමුත් අභ්‍යවකාශ දුරේක්ෂ දර්පණ පෙළගැස්ම හෝ අධි බලැති ලේසර් කුහර මිනුම් විද්‍යාව වැනි අවසාන දෘඪතාව සහ තාප සන්නායකතාවය අවශ්‍ය වූ විට - ඉංජිනේරුවන් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් සිලිකන්-කාබයිඩ් (Si-SiC) සමාන්තර නල සහ හතරැස් සංරචක වෙත යොමු වේ. Si-SiC යනු දන්නා දැඩිම ද්‍රව්‍ය අතර වන අතර, යංග්ගේ මාපාංකය 400 GPa ඉක්මවයි - වානේ මෙන් තුන් ගුණයකට වඩා වැඩිය - සහ ඇලුමිනියම් සමඟ තරඟ කරන තාප සන්නායකතාවක් ඇත. තීරණාත්මක ලෙස, එහි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (CTE) දෘශ්‍ය වීදුරු හෝ සිලිකන් වේෆර් වලට ගැලපෙන පරිදි නිර්මාණය කළ හැකි අතර, දෙමුහුන් එකලස්කිරීම් වලදී ශුන්‍යයට ආසන්න අවකල ප්‍රසාරණය සක්‍රීය කරයි. EUV ලිතෝග්‍රැෆි මෙවලමක ප්‍රධාන යොමුවක් ලෙස භාවිතා කරන Si-SiC චතුරස්‍රයක් එහි ස්වරූපය පමණක් රඳවා නොගනී - එය දේශීය උණුසුම හෝ කම්පනයෙන් විකෘති වීමට ක්‍රියාකාරීව ප්‍රතිරෝධය දක්වනු ඇත.

මෙම ජයග්‍රහණ කළ හැකි වන්නේ ද්‍රව්‍ය පමණක් නොව, සෙරමික් මිනුම් උපකරණ නිෂ්පාදනයේ ප්‍රවීණත්වයයි. උදාහරණයක් ලෙස, Si-SiC නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ සඳහා දියමන්ති ඇඹරුම් රෝද, උප-මයික්‍රෝන CNC වේදිකා සහ උෂ්ණත්ව පාලිත පරිසරවල පවත්වනු ලබන බහු-අදියර ලැපින් ක්‍රියාවලීන් අවශ්‍ය වේ. නුසුදුසු සින්ටර් කිරීමෙන් ඇතිවන සුළු අවශේෂ ආතතිය පවා පසු-යන්ත්‍රෝපකරණ යුධ පිටුවට හේතු විය හැක. තෝරාගත් ගෝලීය නිෂ්පාදකයින් කිහිප දෙනෙකු පමණක් ද්‍රව්‍ය සංස්ලේෂණය, නිරවද්‍යතා සැකසීම සහ අවසාන මිනුම් විද්‍යාව එකම වහලක් යට ඒකාබද්ධ කරන්නේ එබැවිනි - සැබෑ මිනුම් විද්‍යා ශ්‍රේණියේ නිෂ්පාදකයින් සාමාන්‍ය සෙරමික් සැපයුම්කරුවන්ගෙන් වෙන් කරන හැකියාවකි.

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) හි, මෙම සිරස් ඒකාබද්ධ කිරීම අපගේ මෙහෙවරට කේන්ද්‍රීය වේ. අපගේ සෙරමික් මිනුම් උපකරණ - DIN 874 ශ්‍රේණියේ AA සඳහා සහතික කරන ලද සෙරමික් වායු සෘජු පාලක ආකෘති සහ PTB සහ NIST ප්‍රමිතීන්ට අනුව සොයා ගත හැකි ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් සිලිකන්-කාබයිඩ් (Si-Si-C) සමාන්තර නල සහිත සහ හතරැස් කෞතුක වස්තු ඇතුළුව - ISO පන්තියේ 7 පිරිසිදු කාමරවල හිමිකාර සින්ටර් කිරීම සහ නිම කිරීමේ ප්‍රොටෝකෝල භාවිතා කරමින් නිෂ්පාදනය කෙරේ. සෑම සංරචකයක්ම සම්පූර්ණ අන්තර්මැදිමිතික වලංගුකරණය, ජ්‍යාමිතික ඉවසීම් (පැතලි බව, සමාන්තර බව, ලම්බක බව) CMM සත්‍යාපනය සහ නැව්ගත කිරීමට පෙර මතුපිට අඛණ්ඩතාව පරීක්ෂාවට ලක් වේ. ප්‍රතිඵලය වන්නේ පිරිවිතරයන් පමණක් සපුරාලන්නේ නැති යොමු ශ්‍රේණියේ කෞතුක වස්තුවකි - එය කාණ්ඩ හරහා ඒවා නිරන්තරයෙන් ඉක්මවා යයි.

එවැනි කාර්ය සාධනයක් සඳහා ඇති ඉල්ලුම ඉහළ යමින් පවතී. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, EUV සහ ඉහළ-NA ලිතෝග්‍රැෆි පද්ධති සඳහා මීටර පරිමාණ දුරින් නැනෝමීටර දස ගණනක් තුළ ස්ථායී පෙළගැස්වීමේ ව්‍යුහයන් අවශ්‍ය වේ - Si-SiC හි තාප-යාන්ත්‍රික සහජීවනය නොමැතිව එය කළ නොහැක. අභ්‍යවකාශයේදී, සෙරමික් යොමු කිරීම් වලින් සාදන ලද චන්ද්‍රිකා දෘශ්‍ය බංකු අධික තාප චක්‍රය නොතකා කක්ෂයේ ස්ථායිතාව සහතික කරයි. ගුරුත්වාකර්ෂණ තරංග හඳුනාගැනීම හෝ පරමාණුක ඔරලෝසු සංවර්ධනය වැනි නැගී එන ක්ෂේත්‍රවල පවා, පිකෝමීටර මට්ටමේ ස්ථායිතාව වැදගත් වන විට, සෙරමික් සහ Si-SiC මිනුම් විද්‍යා කෞතුක වස්තු අත්‍යවශ්‍ය වෙමින් පවතී.

තීරණාත්මක ලෙස, මෙම මෙවලම් තිරසාරභාවය සහ හිමිකාරිත්වයේ මුළු පිරිවැය ද ආමන්ත්‍රණය කරයි. ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් සිලිකන්-කාබයිඩ් සමාන්තර පයිප්පයක ආරම්භක ආයෝජනය ග්‍රැනයිට් සමාන එකකට වඩා වැඩි විය හැකි වුවද, ඉහළ භාවිත පරිසරයන් තුළ එහි සේවා කාලය 5-10 ගුණයකින් දිගු විය හැකිය. එයට තෙල් දැමීම අවශ්‍ය නොවේ, සියලුම පොදු ද්‍රාවක සහ ප්ලාස්මා වලට ප්‍රතිරෝධය නොදක්වයි, සහ තෙතමනය අවශෝෂණය හේතුවෙන් කිසි විටෙකත් නැවත ක්‍රමාංකනය කිරීම අවශ්‍ය නොවේ - වාත්තු යකඩ හෝ සමහර ග්‍රැනයිට් මෙන් නොව. AS9100, ISO 13485, හෝ SEMI ප්‍රමිතීන් යටතේ ක්‍රියාත්මක වන ගුණාත්මක කළමනාකරුවන් සඳහා, මෙම විශ්වසනීයත්වය සෘජුවම අඩු අක්‍රීය කාලය, අඩු විගණන සොයාගැනීම් සහ වැඩි පාරිභෝගික විශ්වාසයක් බවට පරිවර්තනය වේ.

එපමණක් නොව, මෙම උපකරණවල සෞන්දර්යාත්මක සහ ක්‍රියාකාරී අලංකාරය නොසලකා හැරිය යුතු නොවේ. ඔප දැමූ Si-SiC හතරැස් හැඩයක් ලෝහමය දීප්තියකින් දිලිසෙන නමුත් වානේ වලට වඩා අඩු බරකින් යුක්ත වේ. සෙරමික් වායු සෘජු පාලකයක් ඝන බවක් දැනෙන නමුත් වෙහෙසකින් තොරව එසවේ - තද අවකාශයන්හි අතින් සත්‍යාපනය සඳහා වඩාත් සුදුසුය. ergonomics සහ භාවිතයේ පහසුව දෛනික වැඩ ප්‍රවාහයට බලපාන සැබෑ ලෝක රසායනාගාරවල මෙම මානව කේන්ද්‍රීය ගුණාංග වැදගත් වේ.

ඉතින්, සෙරමික් මිනුම් උපකරණ අතිශය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් නැවත අර්ථ දක්වනවාද? පිළිතුර දත්ත තුළ ඇත - සහ දැන් ඒවා ප්‍රමිතිය ලෙස සඳහන් කරන ගෝලීය නායකයින්ගේ වර්ධනය වන ලැයිස්තුවේ. ඊළඟ පරම්පරාවේ දිග ප්‍රමිතීන් වලංගු කරන ජාතික මිනුම් විද්‍යා ආයතනවල සිට EV ඩ්‍රයිව්ට්‍රේන් සංරචක සහතික කරන ස්ථර 1 සැපයුම්කරුවන් දක්වා, මාරුව පැහැදිලිය: අවිනිශ්චිතතාවය අවම කළ යුතු විට, ඉංජිනේරුවන් ඉංජිනේරුමය පිඟන් මැටි විශ්වාස කරයි.

කර්මාන්ත පරමාණුක පරිමාණ පාලනය කරා ඔවුන්ගේ නොනවතින ගමන දිගටම කරගෙන යන විට, එක් සත්‍යයක් ප්‍රතික්ෂේප කළ නොහැකි ය: මිනුම්වල අනාගතය ගලෙන් කැටයම් නොකෙරේ හෝ ලෝහයෙන් වාත්තු නොකෙරේ. එය සින්ටර් කර, බිම් කර, සෙරමික් - සහ සිලිකන් කාබයිඩ් වලින් ඔප දමනු ලැබේ.

ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) යනු අතිශය නිරවද්‍යතාවයෙන් යුත් සෙරමික් සහ සිලිකන්-කාබයිඩ් මිනුම් විද්‍යා විසඳුම්වල ගෝලීය වශයෙන් පිළිගත් නවෝත්පාදකයෙකි. සෙරමික් මිනුම් උපකරණ, සෙරමික් වායු සෘජු පාලකය සහ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් සිලිකන්-කාබයිඩ් (Si-SiC) සමාන්තර නල සහ හතරැස් සංරචක සඳහා විශේෂඥතාවයක් දක්වන ZHHIMG, අර්ධ සන්නායක, අභ්‍යවකාශ, ආරක්ෂක සහ විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ යෙදුම් සඳහා සම්පූර්ණයෙන්ම සහතික කළ, රසායනාගාර ශ්‍රේණියේ කෞතුක වස්තු ලබා දෙයි. ISO 9001, ISO 14001 සහ CE සහතික මගින් පිටුබලය ලබන අපගේ නිෂ්පාදන ලොව පුරා ප්‍රමුඛ පෙළේ තාක්ෂණික ව්‍යවසායන් විසින් විශ්වාස කරනු ලැබේ. අපගේ උසස් මිනුම් විද්‍යා කළඹ ගවේෂණය කරන්නwww.zhhimg.com.