ඔබේ උප-ක්ෂුද්‍ර පරීක්ෂණ ක්‍රියාවලියේ නැතිවූ සබැඳිය සෙරමික් සෘජු දාරයක් විය හැකිද?

ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් නිෂ්පාදන ලෝකයේ - ඉවසීම් මයික්‍රෝන 5 ට වඩා අඩු වන අතර මතුපිට නිමාවන් දෘශ්‍ය ගුණාත්මක භාවයට ළඟා වන විට - අප විශ්වාසය තබන මෙවලම් සම්ප්‍රදායෙන් ඔබ්බට පරිණාමය විය යුතුය. දශක ගණනාවක් තිස්සේ වානේ සහ ග්‍රැනයිට් මිනුම් විද්‍යා බංකුව පාලනය කළේය. නමුත් අර්ධ සන්නායක උපකරණ, අභ්‍යවකාශ දෘෂ්ටි විද්‍යාව සහ වෛද්‍ය ක්ෂුද්‍ර උපාංග වැනි කර්මාන්ත තාප ප්ලාවිතය හෝ අන්වීක්ෂීය ඇඳුම් පවා පිළිගත නොහැකි දෝෂයක් හඳුන්වා දෙන ක්ෂේත්‍රවලට තල්ලු වන විට, නව යොමු මෙවලම් පන්තියක් මතුවෙමින් තිබේ: ලෝහ හෝ ගල් වලින් නොව, උසස් තාක්ෂණික පිඟන් මැටි වලින් නිර්මාණය කරන ලද ඒවා.

ZHHIMG හිදී, අපි හුදෙක් පිරිනැමීමෙන් ඔබ්බට ගොස් ඇතසෙරමික් සෘජු පාලකයාහෝ සෙරමික් චතුරස්‍ර පාලක නිෂ්පාදන. අපි සෘජු දාරයක් යනු කුමක්දැයි නැවත අර්ථ දක්වන්නෙමු - අති ස්ථායී සෙරමික් ද්‍රව්‍ය අති නවීන මෝස්තර සමඟ ඒකාබද්ධ කිරීමෙන්, නැනෝමීටර මට්ටමේ පුනරාවර්තන හැකියාව ලබා දෙන අතරම යාන්ත්‍රික සම්බන්ධතා සම්පූර්ණයෙන්ම ඉවත් කරන විසඳුමක් වන අපගේ නවෝත්පාදක අභිරුචි සෙරමික් වායු පාවෙන පාලකය ඇතුළුව.

සෙරමික් ඇයි? පිළිතුර අණුක මට්ටමින් ආරම්භ වේ. උෂ්ණත්වය සමඟ සැලකිය යුතු ලෙස ප්‍රසාරණය වන වානේ මෙන් නොව - හෝ ග්‍රැනයිට් - එහි ස්ථායිතාව තිබියදීත්, සිදුරු සහිත සහ විෂමජාතීය ලෙස පවතී - සර්කෝනියා-තද කළ ඇලුමිනා (ZTA) සහ සිලිකන් නයිට්‍රයිඩ් වැනි ඉංජිනේරු සෙරමික් ශුන්‍යයට ආසන්න සිදුරු, සුවිශේෂී දෘඪතාව (1400–1800 HV) සහ 3–4 µm/m·°C තරම් අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණක ලබා දෙයි. මෙයින් අදහස් කරන්නේ ZHHIMG වෙතින් සෙරමික් සෘජු දාරයක් සාම්ප්‍රදායික මෙවලම් මයික්‍රෝන කිහිපයකින් විකෘති කරන උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් හරහා එහි ජ්‍යාමිතිය පවත්වා ගෙන යන බවයි.

නමුත් ද්‍රව්‍ය පමණක් ප්‍රමාණවත් නොවේ. අපගේ සෙරමික් රූලර් සැබවින්ම වෙන්කර හඳුනා ගන්නේ ඒවායේ නිෂ්පාදනයේ නිරවද්‍යතාවයයි. ISO 5 පන්තියේ පිරිසිදු කාමරවල දියමන්ති ඇඹරීම, උප-විවර ඔප දැමීම සහ ලේසර් අන්තර්-මිතික වලංගුකරණය භාවිතා කරමින්, අපි 500 mm ට වඩා 0.8 µm ට වඩා සෘජු බව ඉවසීම ලබා ගනිමු - බෙදා හැරීමේදී පමණක් නොව, NIST සහ PTB ප්‍රමිතීන්ට අනුව සොයාගත හැකි සම්පූර්ණ ක්‍රමාංකන වාර්තාවල ලේඛනගත කර ඇත. සෑමසෙරමික් හතරැස් පාලකයාඉලෙක්ට්‍රොනික ස්වයංක්‍රීය ගැටීම හරහා ලම්බකතා පරීක්ෂණයට භාජනය වන අතර, කෝණ 1 චාප-තත්පරයක් තුළ රඳවා තබා ගැනීම සහතික කරයි (මි.මී. 100 දී ≈0.5 µm අපගමනය).

මේවා න්‍යායාත්මක පිරිවිතර නොවේ. ඒවා තවදුරටත් සම්මුතියක් දැරිය නොහැකි සේවාදායකයින් සඳහා මෙහෙයුම් යථාර්ථයන් වේ. ප්‍රමුඛ පෙළේ EUV ලිතෝග්‍රැෆි සංරචක සැපයුම්කරුවෙකු දැන් දර්පණ ආධාරක රාමු පෙළගැස්වීම සඳහා අපගේ සෙරමික් සෘජු පාලකය භාවිතා කරයි. “දිගු නිරාවරණ චක්‍රවලදී වානේ පාලකයන් විකෘති වී ඇත,” ඔවුන්ගේ ඊයම් මිනුම් විද්‍යාඥයා අපට පැවසීය. “ග්‍රැනයිට් අංශු ලබා ගත්තා. සෙරමික් අනුවාදය? එය මාස 18 ක් ස්ථාවරයි - නැවත ක්‍රමාංකනය කිරීම අවශ්‍ය නොවේ.”

එහෙත් පරිපූර්ණ ජ්‍යාමිතිය පවා ස්පර්ශය මගින් අවදානමට ලක් කළ හැකිය. මතුපිටක් හරහා පාලකයෙකු ඇදගෙන යන්න, එවිට ඔබට ක්ෂුද්‍ර සීරීම්, තෙල් පටල මැදිහත්වීම් හෝ ප්‍රත්‍යාස්ථ විරූපණය අවදානමට ලක් වේ - විශේෂයෙන් මෘදු ලෝහ හෝ ඔප දැමූ දෘෂ්ටි විද්‍යාව මත. අභිරුචි සෙරමික් වායු පාවෙන පාලකය සමඟ ZHHIMG හි නවෝත්පාදනය ඉදිරියට පැනෙන්නේ එතැනිනි.

මෙය සිදුරු විදින ලද සෙරමික් සෘජු දාරයක් පමණක් නොවේ. එය සම්පූර්ණයෙන්ම ඉංජිනේරු කරන ලද වායු ස්ථායී පද්ධතියකි, පාලකයේ මුළු දිග පුරා ඒකාකාර, ලැමිනාර් වායු ප්‍රවාහයක් ලබා දීම සඳහා පරිගණක තරල ගතිකය භාවිතයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. පිරිසිදු, වියළි වාතය (හෝ සංවේදී පරිසරවල නයිට්‍රජන්) සමඟ පීඩනයට ලක් කළ විට, පාලකය වැඩ කොටසට ඉහළින් මයික්‍රෝන 5-10 ක් පාවෙයි - පරිපූර්ණ පෙළගැස්මක් පවත්වා ගනිමින් භෞතික සම්බන්ධතා ඉවත් කරයි. ප්‍රතිඵලය? ±0.2 µm දක්වා පුනරාවර්තන හැකියාව සමඟ, පැතලි බව, සෘජු බව හෝ පියවර උස සත්‍යාපනය සඳහා සැබෑ ස්පර්ශ නොවන මිනුම.

ස්විට්සර්ලන්තයේ ක්වොන්ටම් පරිගණක විද්‍යාගාරයක් දැන් සුපිරි සන්නායක චිප වාහක පරීක්ෂා කිරීම සඳහා 600-mm අභිරුචි සෙරමික් වායු පාවෙන පාලකයක් භාවිතා කරයි. “ඕනෑම ස්පර්ශයක් - මෘදු ස්ටයිලස් සමඟ වුවද - කියුබිට් ක්‍රියාකාරිත්වය වෙනස් කරන ආතතිය හඳුන්වා දෙයි,” ඔවුන්ගේ ක්‍රියාවලි ඉංජිනේරුවරයා පැහැදිලි කළේය. “වායු පාවෙන සෙරමික් පාලකය අපට අවශ්‍ය යොමුව ලබා දෙන්නේ කොටස ස්පර්ශ නොකර ය. එය මෙහෙවර-තීරණාත්මක වී ඇත.”

මෙය කළ හැකි වන්නේ ZHHIMG හි ද්‍රව්‍ය විද්‍යාව, නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ සහ මිනුම් විද්‍යා විශේෂඥතාවේ අද්විතීය ඒකාබද්ධතාවයයි. බොහෝ සැපයුම්කරුවන් සෙරමික් ව්‍යුහාත්මක සංරචක ලෙස සලකන අතර, අපි ඒවා මිනුම් කෞතුක වස්තු ලෙස ප්‍රශස්තිකරණය කරමු. අපගේ සෙරමික් චතුරස්‍ර පාලක සැලසුම්වලට චිපින් වැළැක්වීම සඳහා චැම්ෆර් කළ දාර, පරීක්ෂණ ආලෝකකරණය යටතේ දිලිසීම අඩු කිරීම සඳහා මැට්-නිමි පිටුපස සහ ස්වයංක්‍රීය දර්ශන පද්ධති සඳහා විකල්ප විශ්වාසනීය සලකුණු ඇතුළත් වේ. පිරිසිදු කාමර යෙදුම් සඳහා, අංශු ඇලවීම අවම කිරීම සඳහා මතුපිට Ra < 0.02 µm දක්වා ඔප දමා ඇත.

තවද සෑම යෙදුමක්ම වෙනස් බැවින්, අපි එක ප්‍රමාණයකට ගැලපෙන බව විශ්වාස නොකරමු. පරීක්ෂා කිරීමේදී තුනී වේෆර් රඳවා තබා ගැනීමට එම්බෙඩඩ් රික්ත නාලිකා සහිත සෙරමික් සෘජු දාරයක් අවශ්‍යද? අපි එය ගොඩනගා ඇත්තෙමු. අවශ්‍ය වන්නේහතරැස් රූලරයඔබේ CMM පරීක්ෂණ ඉඟියට පෙළගස්වා ඇති සිදුරු සහිතද? නිමයි. ඒකාබද්ධ පීඩන සංවේදක සහ ඩිජිටල් මට්ටම් කිරීමේ ප්‍රතිපෝෂණ සහිත අභිරුචි සෙරමික් වායු පාවෙන පාලකයක් අවශ්‍යද? එය දැනටමත් Tier-1 අභ්‍යවකාශ සේවාලාභියෙකු සමඟ බීටා පරීක්ෂණයේ පවතී.

කර්මාන්ත පිළිගැනීම අනුගමනය කර ඇත. 2025 ගෝලීය උසස් මිනුම් විද්‍යා සමාලෝචනයේදී, සම්පූර්ණ ජ්‍යාමිතික වලංගුකරණය සහ ඩිජිටල් සොයාගැනීමේ හැකියාව සහිත - පාවෙන ප්‍රභේද ඇතුළුව - සහතික කළ සෙරමික් යොමු මෙවලම් සම්පූර්ණ පවුලක් පිරිනමන එකම සමාගම ලෙස ZHHIMG සඳහන් කරන ලදී. නමුත් වඩා වැදගත් දෙය නම්, දරුකමට හදා ගැනීම වේගවත් වෙමින් පවතී: අපගේ සෙරමික් පාලක ඇණවුම් වලින් 60% කට වඩා දැන් පැමිණෙන්නේ කලින් එවැනි මෙවලම් "අධික ලෙස" සැලකූ කර්මාන්ත වලින් - ඔවුන් වෙනස මනින තුරු.

ස්නායු බද්ධ කිරීම් නිපදවන වෛද්‍ය උපකරණ ආරම්භක සමාගමක් වානේ වලින් අපගේ සෙරමික් චතුරස්‍ර පාලකයට මාරු වූ අතර ඔවුන්ගේ පළමු-පාස් අස්වැන්න 22% කින් ඉහළ ගියේය. “පැරණි චතුරස්‍රයේ ටයිටේනියම් නිවාසවල ක්ෂුද්‍ර-ගූජ් ඉතිරි විය,” ඔවුන්ගේ QA කළමනාකරු පැවසීය. “අපි මාරු වන තුරු අපට එය වැටහුණේවත් නැත. දැන්, සෑම කොටසක්ම පළමු උත්සාහයේදීම දෘශ්‍ය හා මාන පරීක්ෂාවන් සමත් වේ.”

ඉතින් ඔබ ඔබේ ඊළඟ මිනුම් විද්‍යා උත්ශ්‍රේණි කිරීම ඇගයීමට ලක් කරන විට, ඔබෙන්ම මෙසේ අසන්න: මගේ වර්තමාන සෘජු කෙළවර අවිනිශ්චිතතාව එක් කරනවාද - නැතහොත් එය ඉවත් කරනවාද?

ඔබේ ක්‍රියාවලිය හඳුනාගැනීමේ අද්දර ක්‍රියාත්මක වන්නේ නම්, පිළිතුර සෙරමික් තුළ තිබිය හැකිය - නව්‍යතාවයක් ලෙස නොව, අවශ්‍යතාවයක් ලෙස. ZHHIMG හිදී, අපි සෙරමික් සෘජු පාලකය, සෙරමික් චතුරස්‍ර පාලකය හෝ සෙරමික් සෘජු දාර මෙවලම් පමණක් නිෂ්පාදනය නොකරමු. අපි සෑම මයික්‍රෝනයකටම විශ්වාසය නිර්මාණය කරමු.