අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ නිරවද්‍ය විප්ලවය: ග්‍රැනයිට් මයික්‍රෝන තාක්ෂණය හමුවන විට
1.1 ද්‍රව්‍ය විද්‍යාවේ අනපේක්ෂිත සොයාගැනීම්
2023 SEMI ජාත්‍යන්තර අර්ධ සන්නායක සංගමයේ වාර්තාවට අනුව, ලෝකයේ දියුණු ෆැබ් වලින් 63% ක් සාම්ප්‍රදායික ලෝහ වේදිකා වෙනුවට ග්‍රැනයිට් පාදක භාවිතා කිරීමට පටන් ගෙන තිබේ. පෘථිවියේ ගැඹුරින් මැග්මා ඝනීභවනයෙන් ආරම්භ වන මෙම ස්වාභාවික ගල, එහි අද්විතීය භෞතික ගුණාංග නිසා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ඉතිහාසය නැවත ලියයි:
තාප අවස්ථිති වාසිය: ග්‍රැනයිට් 4.5×10⁻⁶/℃ හි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය මල නොබැඳෙන වානේ වලින් 1/5 ක් පමණක් වන අතර, ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වයේදී ±0.001mm හි මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගනී.
කම්පන තෙතමනය අඩු කිරීමේ ලක්ෂණ: අභ්‍යන්තර ඝර්ෂණ සංගුණකය වාත්තු යකඩවලට වඩා 15 ගුණයකින් වැඩි වන අතර, උපකරණ ක්ෂුද්‍ර කම්පනය ඵලදායී ලෙස අවශෝෂණය කරයි.
ශුන්‍ය චුම්භකකරණ ස්වභාවය: ලේසර් මිනුම්වල චුම්භක දෝෂය සම්පූර්ණයෙන්ම ඉවත් කරන්න.
1.2 මගේ සිට ෆැබ් දක්වා පරිවෘත්තීය ගමන
ෂැන්ඩොං හි ZHHIMG හි බුද්ධිමත් නිෂ්පාදන පදනම උදාහරණයක් ලෙස ගත් විට, අමු ග්‍රැනයිට් කැබැල්ලකට පහත දේ කළ යුතුය:
අතිශය නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ: පැය 200 ක අඛණ්ඩ ඇඹරීම සඳහා පස්-අක්ෂ සම්බන්ධක යන්ත්‍රෝපකරණ මධ්‍යස්ථානය, Ra0.008μm දක්වා මතුපිට රළුබව
කෘතිම වයසට යාමේ ප්‍රතිකාරය: නියත උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතා වැඩමුළුව තුළ පැය 48 ක ස්වාභාවික ආතතිය මුදා හැරීම, නිෂ්පාදනයේ ස්ථායිතාව 40% කින් වැඩි දියුණු කරයි.
දෙවනුව, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ "පාෂාණ ද්‍රාවණය" පිළිබඳ නිරවද්‍යතා ගැටළු හය විසඳන්න.
2.1 වේෆර් ඛණ්ඩනය කිරීමේ අනුපාත අඩු කිරීමේ යෝජනා ක්‍රමය
සිද්ධි නිරූපණය: ජර්මනියේ චිප් වාත්තු කර්මාන්ත ශාලාවක් අපගේ ගෑස් පාවෙන ග්‍රැනයිට් වේදිකාව භාවිතා කිරීමෙන් පසු:
| වේෆර් විෂ්කම්භය | චිප් අනුපාත අඩු කිරීම | සමතලා බව වැඩි දියුණු කිරීම |
| අඟල් 12 | 67% | ≤0.001මි.මී. |
| අඟල් 18 | 82% | ≤0.0005 මි.මී. |
2.2 ලිතෝග්‍රැෆික් පෙළගැස්මේ නිරවද්‍යතා ඉදිරි ගමන යෝජනා ක්‍රමය
උෂ්ණත්ව වන්දි පද්ධතිය: කාවැද්දූ සෙරමික් සංවේදකය තත්‍ය කාලීනව හැඩ විචල්‍යය නිරීක්ෂණය කර වේදිකා නැඹුරුව ස්වයංක්‍රීයව සකස් කරයි.
මනින ලද දත්ත: 28℃±5℃ උච්චාවචනය යටතේ, කාවැද්දීමේ නිරවද්‍යතාවය 0.12μm ට වඩා අඩුවෙන් උච්චාවචනය වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 මාර්තු-24