ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍ය වේදිකා වල සමතලා බව හඳුනාගැනීමේ ක්‍රම.

නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන සහ විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ ක්ෂේත්‍රවලදී, ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා වේදිකා වල සමතලා බව උපකරණවල නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා ප්‍රධාන දර්ශකයකි. පහත දැක්වෙන්නේ ඔබ වෙනුවෙන් ප්‍රධාන ධාරාවේ හඳුනාගැනීමේ ක්‍රම කිහිපයක් සහ ඒවායේ මෙහෙයුම් ක්‍රියා පටිපාටි පිළිබඳ සවිස්තරාත්මක හැඳින්වීමකි.
I. ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටර හඳුනාගැනීමේ ක්‍රමය
ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් පැතලි බව හඳුනා ගැනීම සඳහා වඩාත් සුදුසු මෙවලමකි. උදාහරණයක් ලෙස ZYGO GPI XP ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරය ගන්න, එහි විභේදනය 0.1nm දක්වා ළඟා විය හැකිය. හඳුනාගැනීම සිදු කරන විට, පළමුව ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරයේ ආලෝක ප්‍රභවය වේදිකාව සමඟ පෙළගස්වා වේදිකා මතුපිට 50mm×50mm ජාලක ප්‍රදේශවලට බෙදන්න. පසුව, ඇඟිලි ගැසීම් ෆ්‍රින්ජ් දත්ත ලක්ෂ්‍යයෙන් ලක්ෂ්‍යයට එකතු කරන ලද අතර, පැතලි බව දෝෂය ලබා ගැනීම සඳහා Zernike බහුපද භාවිතයෙන් දත්ත සවි කර විශ්ලේෂණය කරන ලදී. මෙම ක්‍රමය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් වේදිකා සඳහා අදාළ වන අතර ≤0.5μm/m² හි පැතලි බව දෝෂ හඳුනාගත හැකිය. එය ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර සහ ඉහළ මට්ටමේ ත්‍රි-ඛණ්ඩාංක මිනුම් යන්ත්‍ර වේදිකා හඳුනාගැනීමේදී බහුලව භාවිතා වේ. ​
Ii. ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම් අරා ක්‍රමය
ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම් අරා හඳුනාගැනීම ක්‍රියාත්මක කිරීමට සරල සහ ඉතා කාර්යක්ෂම වේ. TESA A2 ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම (0.01μm/m විභේදනයක් සහිත) තෝරාගෙන වේදිකාවේ X/Y අක්ෂ දිශාව ඔස්සේ 9×9 අරාවකට සකස් කරන ලදී. එක් එක් මට්ටමේ නැඹුරු දත්ත සමමුහුර්තව රැස් කිරීමෙන් සහ ගණනය කිරීම සඳහා අවම වර්ග ක්‍රමය භාවිතා කිරීමෙන්, පැතලි බව අගය නිවැරදිව ලබා ගත හැකිය. මෙම ක්‍රමය මඟින් වේදිකාවේ දේශීය අවතල සහ උත්තල තත්ත්වයන් ඵලදායී ලෙස හඳුනාගත හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, 50mm පරාසයක් තුළ 0.2μm උච්චාවචනයක් ද අනාවරණය කර ගත හැකි අතර, එය මහා පරිමාණ නිෂ්පාදනයේදී වේගවත් අනාවරණය සඳහා සුදුසු වේ. ​
Iii. දෘශ්‍ය පැතලි ස්ඵටික ක්‍රමය
කුඩා ප්‍රදේශ වේදිකා හඳුනා ගැනීම සඳහා දෘශ්‍ය පැතලි ස්ඵටික ක්‍රමය සුදුසු වේ. වේදිකාව මත පරීක්ෂා කිරීම සඳහා දෘශ්‍ය පැතලි ස්ඵටිකය මතුපිටට තදින් සවි කර ඒකවර්ණ ආලෝක ප්‍රභවයක (සෝඩියම් ලාම්පුවක් වැනි) ආලෝකය යටතේ ඒවා අතර ඇති වන බාධා මායිම් නිරීක්ෂණය කරන්න. ඉරි සමාන්තර සෘජු ඉරි නම්, එය හොඳ සමතලා බවක් පෙන්නුම් කරයි. වක්‍ර ඉරි දිස්වන්නේ නම්, ඉරි වක්‍රතාවයේ මට්ටම මත පදනම්ව සමතලා දෝෂය ගණනය කරන්න. සෑම වක්‍ර ඉරි 0.316μm උස වෙනසක් නියෝජනය කරන අතර, සමතලාතා දත්ත සරල පරිවර්තනයක් හරහා ලබා ගත හැකිය. ​
හතර. ත්‍රි-ඛණ්ඩාංක මිනුම් යන්ත්‍ර පරීක්ෂණ ක්‍රමය
ත්‍රි-ඛණ්ඩාංක මිනුම් යන්ත්‍රයට ත්‍රිමාණ අවකාශය තුළ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් මිනුම් ලබා ගත හැකිය. මිනුම් යන්ත්‍රයේ වැඩ මේසය මත ග්‍රැනයිට් වේදිකාව තබා වේදිකාවේ මතුපිට බහු මිනුම් ලක්ෂ්‍යවලින් දත්ත ඒකාකාරව රැස් කිරීමට පරීක්ෂණය භාවිතා කරන්න. මිනුම් යන්ත්‍ර පද්ධතිය වේදිකාවේ සමතලාතා වාර්තාවක් ජනනය කිරීම සඳහා මෙම දත්ත සකස් කර විශ්ලේෂණය කරයි. මෙම ක්‍රමයට සමතලා බව හඳුනා ගැනීමට පමණක් නොව, වේදිකාවේ අනෙකුත් ජ්‍යාමිතික පරාමිතීන් එකවර ලබා ගත හැකි අතර, විශාල ග්‍රැනයිට් වේදිකා පුළුල් ලෙස හඳුනා ගැනීම සඳහා සුදුසු වේ.
මෙම හඳුනාගැනීමේ ක්‍රම ප්‍රගුණ කිරීමෙන් ඔබට ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා වේදිකාවේ සමතලා බව නිවැරදිව තක්සේරු කිරීමට සහ නිරවද්‍ය උපකරණවල ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා විශ්වාසදායක සහතිකයක් ලබා දිය හැකිය.