ඉහළ මට්ටමේ නිෂ්පාදන සහ අති නවීන විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ ක්ෂේත්‍රයේ, වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලය එහි විශිෂ්ට නිරවද්‍යතා ක්‍රියාකාරිත්වය සමඟ සියුම් ක්‍රියාකාරිත්වය සහ මිනුම් සඳහා ප්‍රධාන උපකරණයක් බවට පත්ව ඇත.ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනම, ආධාරක හරය ලෙස, වැඩ කරන පරිසරය සඳහා දැඩි අවශ්‍යතා ඇති අතර, සුදුසු පාරිසරික තත්ත්වයන් එහි ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහ හොඳම බලපෑම සහතික කිරීම සඳහා පදනම වේ.
පළමුව, උෂ්ණත්ව පාලනය: නිරවද්‍ය "ස්ථායීකාරකය"
ග්‍රැනයිට් එහි ස්ථායිතාව සඳහා ප්‍රසිද්ධ වුවද, එය උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් වලට සම්පූර්ණයෙන්ම ප්‍රතිශක්තිකරණය නොවේ. එහි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අඩු වුවද, සාමාන්‍යයෙන් 5-7 ×10⁻⁶/℃, අතිශය නිරවද්‍ය චලන පාලන අවස්ථා වලදී, සියුම් උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් තවමත් මාන වෙනස්කම් ඇති කළ හැකි අතර මොඩියුල නිරවද්‍යතාවයට බලපායි. අර්ධ සන්නායක චිප් නිෂ්පාදන වැඩමුළුවේදී, ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියට ඩැනමි මට්ටමේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වන අතර, පරිසර උෂ්ණත්වය 1 ° C කින් උච්චාවචනය වන අතර, මීටර 1 ක පැති දිගක් සහිත ග්‍රැනයිට් පාදය මයික්‍රෝන 5-7 ක රේඛීය ප්‍රසාරණයක් හෝ හැකිලීමක් ඇති කළ හැකිය. මෙම කුඩා වෙනස සම්ප්‍රේෂණය කරනු ලබන්නේ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලය මගිනි, එය චිප් ලිතෝග්‍රැෆි රටා අපගමනය කිරීමට සහ අස්වැන්න බෙහෙවින් අඩු කිරීමට ප්‍රමාණවත් වේ. එබැවින්, වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනමකින් සමන්විත, පරමාදර්ශී වැඩ කරන පරිසර උෂ්ණත්වය 20 ° C ± 1 ° C දී පාලනය කළ යුතුය, නියත උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය වායු සමීකරණ පද්ධතිය, පරිසර උෂ්ණත්වය අඛණ්ඩව නිරීක්ෂණය කිරීම සහ ගැලපීම වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් නියත උෂ්ණත්ව උපකරණ ආධාරයෙන්, ඉතා කුඩා පරාසයක උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් සහතික කිරීම සඳහා, පාදක ප්‍රමාණයේ ස්ථායිතාව පවත්වා ගැනීම, මොඩියුලය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම සඳහා.
දෙවනුව, ආර්ද්‍රතා කළමනාකරණය: තෙතමනය-ප්‍රතිරෝධී ආරක්ෂාව "ගල්" සඳහා යතුර
ආර්ද්‍රතාවය නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට් පාදයේ ක්‍රියාකාරිත්වයට බලපාන තවත් වැදගත් සාධකයකි. ඉහළ ආර්ද්‍රතා පරිසරයකදී, ග්‍රැනයිට් ජල වාෂ්ප අවශෝෂණය කර ගැනීමට පහසු වන අතර, එය මතුපිට ඝනීභවනය වීමට හේතු විය හැක, එය ග්‍රැනයිට් වල සම්බන්ධතා ස්ථායිතාවයට සහ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයට බලපානවා පමණක් නොව, මතුපිට ඛාදනයට හේතු විය හැකි අතර දිගු කාලීනව ග්ලොස් සහ නිරවද්‍යතාවය අඩු කරයි. දෘශ්‍ය කාච ඇඹරුම් වැඩමුළුවේදී, දිගු කාලයක් ආර්ද්‍රතාවය 60% RH ට වඩා වැඩි නම්, ග්‍රැනයිට් පාදයේ මතුපිටට අවශෝෂණය කර ඇති ජල වාෂ්ප වායු පාවෙන ස්ලයිඩරයේ චලනයට බාධා කරයි, එවිට කාච ඇඹරුම් නිරවද්‍යතාවය අඩු වන අතර මතුපිට දෝෂ සහිත වේ. එබැවින්, වැඩ කරන පරිසරයේ සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 40%-60% RH අතර දැඩි ලෙස පාලනය කළ යුතු අතර, එය ඉහළ ආර්ද්‍රතාවය හේතුවෙන් ග්‍රැනයිට් පාදයට සිදුවන හානිය වළක්වා ගැනීම සඳහා විජලනය කරන්නන්, ආර්ද්‍රතා සංවේදක සහ වෙනත් උපකරණ ස්ථාපනය කිරීමෙන් තත්‍ය කාලීනව නිරීක්ෂණය කර සකස් කළ හැකි අතර වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ සුමට ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කරයි.
තෙවනුව, පිරිසිදුකම සහතික කිරීම: නිරවද්‍යතාවයේ "භාරකරු"
වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට් පාදයට දූවිලි අංශු වලින් සිදුවන හානිය අවතක්සේරු කළ නොහැක. කුඩා අංශු ගෑස් පාවෙන ස්ලයිඩරය සහ ග්‍රැනයිට් පාදය අතර ගෑස් පටල පරතරයට ඇතුළු වූ පසු, ඒවා ගෑස් පටලයේ ඒකාකාරිත්වය විනාශ කළ හැකිය, ඝර්ෂණය වැඩි කළ හැකි අතර, පාදයේ මතුපිට පවා සීරීමට ලක් කළ හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස චලනයේ නිරවද්‍යතාවය අඩු වේ. අභ්‍යවකාශ කොටස්වල අතිශය නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ වැඩමුළුවේදී, වාතයේ ඇති දූවිලි අංශු ග්‍රැනයිට් පාදයට වැටුණහොත්, යන්ත්‍රෝපකරණ මෙවලමෙහි චලන ගමන් පථය අපගමනය විය හැකි අතර, එය කොටස්වල යන්ත්‍රෝපකරණ නිරවද්‍යතාවයට බලපායි. එබැවින්, වැඩ කරන ප්‍රදේශය ඉතා පිරිසිදුව තබා ගත යුතු අතර, ඉහළ කාර්යක්ෂමතා වායු පෙරහන් (HEPA) වැනි වායු පිරිසිදු කිරීමේ උපකරණ ස්ථාපනය කිරීම හරහා, වාතයේ ඇති දූවිලි අංශු පෙරීම, ඒ සමඟම, මිනිසුන් විසින් ගෙන එන දූවිලි අඩු කිරීම සඳහා කාර්ය මණ්ඩලය දූවිලි රහිත ඇඳුම්, සපත්තු ආවරණ ආදිය පැළඳිය යුතුය. ග්‍රැනයිට් පාදයේ සහ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ ඉහළ නිරවද්‍යතා මෙහෙයුම් පරිසරයක් පවත්වා ගන්න.
හතරවනුව, කම්පන හුදකලාව: "කම්පන පෑඩ්" සුමටව ක්‍රියාත්මක වීම.
බාහිර කම්පනය වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ නිරවද්‍යතාවයේ සතුරා වේ. නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට් පාදයට යම් කම්පන අඩු කිරීමේ හැකියාවක් තිබුණද, ඉහළ ශක්ති කම්පනය තවමත් එහි බෆර සීමාව බිඳ දැමිය හැකිය. කර්මාන්ත ශාලාව වටා ඇති ගමනාගමනය සහ විශාල යාන්ත්‍රික උපකරණ ක්‍රියාත්මක වීමෙන් ජනනය වන කම්පනය බිම හරහා ග්‍රැනයිට් පාදයට සම්ප්‍රේෂණය වන අතර එමඟින් වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ චලන නිරවද්‍යතාවයට බාධා ඇති වේ. ඉහළ මට්ටමේ CMM හි, කම්පනය මිනුම් පරීක්ෂණය සහ මැනිය යුතු වැඩ කොටස අතර සම්බන්ධතාවය අස්ථායී වීමට හේතු විය හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස මිනුම් දත්ත අපගමනය වේ. මෙම ගැටළුව විසඳීම සඳහා, උපකරණ ස්ථාපන ප්‍රදේශයේ කම්පන හුදකලා පෑඩ් තැබීම, කම්පන හුදකලා අත්තිවාරම ගොඩනැගීම හෝ බාහිර කම්පනය සක්‍රීයව සමනය කිරීම සඳහා ක්‍රියාකාරී කම්පන හුදකලා පද්ධතියක් භාවිතා කිරීම සහ ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනම සහ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍යතා චලන මොඩියුලය සඳහා නිහඬ සහ ස්ථාවර වැඩ පරිසරයක් නිර්මාණය කිරීම වැනි ඵලදායී කම්පන හුදකලා පියවරයන් අනුගමනය කිරීම අවශ්‍ය වේ.
උෂ්ණත්වය, ආර්ද්‍රතාවය, පිරිසිදුකම සහ කම්පන පාලනය යන පාරිසරික අවශ්‍යතා සම්පූර්ණයෙන්ම සපුරාලීමෙන් පමණක්, වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනමට එහි කාර්ය සාධන වාසි සඳහා පූර්ණ දායකත්වයක් ලබා දිය හැකි අතර, විවිධ ක්ෂේත්‍රවල අතිශය නිරවද්‍ය මෙහෙයුම් සඳහා විශ්වාසදායක සහතිකයක් ලබා දිය හැකිය. කර්මාන්තය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් නිෂ්පාදන සහ විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ මට්ටමක් කරා ගමන් කිරීමට උපකාරී වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 අප්‍රේල්-08