අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍රයේ, චිප් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවය තීරණය කරන මූලික උපකරණ ලෙස, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ අභ්‍යන්තර පරිසරයේ ස්ථායිතාව ඉතා වැදගත් වේ. ආන්තික පාරජම්බුල ආලෝක ප්‍රභවයේ උද්දීපනයේ සිට නැනෝ පරිමාණ නිරවද්‍යතා චලන වේදිකාවේ ක්‍රියාකාරිත්වය දක්වා, සෑම සබැඳියකම සුළු අපගමනයක් තිබිය නොහැක. අද්විතීය ගුණාංග මාලාවක් සහිත ග්‍රැනයිට් භෂ්ම, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල ස්ථායී ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීමේදී සහ ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු කිරීමේදී අසමසම වාසි පෙන්නුම් කරයි.
විශිෂ්ට විද්‍යුත් චුම්භක ආවරණ කාර්ය සාධනය
ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයක අභ්‍යන්තරය සංකීර්ණ විද්‍යුත් චුම්භක පරිසරයකින් පිරී ඇත. ආන්තික පාරජම්බුල ආලෝක ප්‍රභවයන්, ඩ්‍රයිව් මෝටර සහ අධි-සංඛ්‍යාත බල සැපයුම් වැනි සංරචක මගින් ජනනය වන විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් (EMI) ඵලදායී ලෙස පාලනය නොකළහොත්, උපකරණ තුළ නිරවද්‍ය ඉලෙක්ට්‍රොනික සංරචක සහ දෘශ්‍ය පද්ධතිවල ක්‍රියාකාරිත්වයට බරපතල ලෙස බලපානු ඇත. නිදසුනක් ලෙස, ඇඟිලි ගැසීම් ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි රටා වල සුළු අපගමනයන්ට හේතු විය හැක. දියුණු නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හිදී, චිපයේ වැරදි ට්‍රාන්සිස්ටර සම්බන්ධතා ඇති කිරීමට මෙය ප්‍රමාණවත් වන අතර එමඟින් චිප අස්වැන්න සැලකිය යුතු ලෙස අඩු වේ.
ග්‍රැනයිට් යනු ලෝහමය නොවන ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය තනිවම විදුලිය සන්නයනය නොකරයි. ලෝහමය ද්‍රව්‍යවල මෙන් ඇතුළත නිදහස් ඉලෙක්ට්‍රෝන චලනය නිසා ඇතිවන විද්‍යුත් චුම්භක ප්‍රේරණ සංසිද්ධියක් නොමැත. මෙම ලක්ෂණය එය ස්වාභාවික විද්‍යුත් චුම්භක ආවරණ ශරීරයක් බවට පත් කරයි, එමඟින් අභ්‍යන්තර විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම්වල සම්ප්‍රේෂණ මාර්ගය ඵලදායී ලෙස අවහිර කළ හැකිය. බාහිර විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් ප්‍රභවයෙන් ජනනය වන ප්‍රත්‍යාවර්ත චුම්භක ක්ෂේත්‍රය ග්‍රැනයිට් පාදයට ප්‍රචාරණය වන විට, ග්‍රැනයිට් චුම්භක නොවන අතර චුම්භකකරණය කළ නොහැකි බැවින්, ප්‍රත්‍යාවර්ත චුම්භක ක්ෂේත්‍රය විනිවිද යාමට අපහසු වන අතර එමඟින් නිරවද්‍යතා සංවේදක සහ දෘශ්‍ය කාච ගැලපුම් උපාංග වැනි පාදමේ ස්ථාපනය කර ඇති ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ මූලික සංරචක විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීමේ බලපෑමෙන් ආරක්ෂා කරන අතර ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේදී රටා හුවමාරුවේ නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි.
විශිෂ්ට රික්ත අනුකූලතාව
අධික පාරජම්බුල කිරණ (EUV) වාතය ඇතුළු සියලුම ද්‍රව්‍ය මගින් පහසුවෙන් අවශෝෂණය කර ගන්නා බැවින්, EUV ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර රික්තක පරිසරයක ක්‍රියාත්මක විය යුතුය. මෙම අවස්ථාවේදී, රික්තක පරිසරය සමඟ උපකරණ සංරචකවල ගැළපුම විශේෂයෙන් තීරණාත්මක වේ. රික්තයක් තුළ, ද්‍රව්‍ය වායුව විසුරුවා හැරීමට, අවශෝෂණය කර මුදා හැරීමට හැකිය. මුදා හරින ලද වායුව EUV ආලෝකය අවශෝෂණය කරනවා පමණක් නොව, ආලෝකයේ තීව්‍රතාවය සහ සම්ප්‍රේෂණ කාර්යක්ෂමතාව අඩු කරයි, නමුත් දෘශ්‍ය කාච දූෂණය කළ හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, ජල වාෂ්ප කාච ඔක්සිකරණය කළ හැකි අතර, හයිඩ්‍රොකාබන මගින් කාච මත කාබන් ස්ථර තැන්පත් කළ හැකි අතර, එය ලිතෝග්‍රැෆි වල ගුණාත්මක භාවයට බරපතල ලෙස බලපායි.
ග්‍රැනයිට් වලට ස්ථායී රසායනික ගුණ ඇති අතර රික්තක පරිසරයක වායුව නිකුත් කිරීම අපහසුය. වෘත්තීය පරීක්ෂණවලට අනුව, අනුකරණය කරන ලද ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර රික්ත පරිසරයක (ප්‍රධාන කුටියේ ආලෝකකරණ දෘශ්‍ය පද්ධතිය සහ රූපකරණ දෘශ්‍ය පද්ධතිය පිහිටා ඇති අතිශය පිරිසිදු රික්ත පරිසරය වැනි, H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa අවශ්‍ය වේ), ග්‍රැනයිට් පාදයේ වායු පිටවීමේ අනුපාතය අතිශයින් අඩු වන අතර එය ලෝහ වැනි අනෙකුත් ද්‍රව්‍යවලට වඩා බෙහෙවින් අඩුය. මෙය ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ අභ්‍යන්තරය දිගු කාලයක් ඉහළ රික්ත උපාධියක් සහ පිරිසිදුකමක් පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි, සම්ප්‍රේෂණය අතරතුර EUV ආලෝකයේ ඉහළ සම්ප්‍රේෂණය සහ දෘශ්‍ය කාච සඳහා අතිශය පිරිසිදු භාවිත පරිසරයක් සහතික කරයි, දෘශ්‍ය පද්ධතියේ සේවා කාලය දීර්ඝ කරයි, සහ ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ සමස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කරයි.
ශක්තිමත් කම්පන ප්‍රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායිතාව
ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේදී, නැනෝමීටර මට්ටමේ නිරවද්‍යතාවයට අවශ්‍ය වන්නේ ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයට සුළු කම්පනයක් හෝ තාප විරූපණයක් නොතිබිය යුතු බවයි. වැඩමුළුවේ අනෙකුත් උපකරණ සහ පිරිස් චලනයන් ක්‍රියාත්මක වීමෙන් ජනනය වන පාරිසරික කම්පන මෙන්ම ක්‍රියාත්මක වන අතරතුර ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රය විසින්ම නිපදවන තාපය යන සියල්ලම ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි නිරවද්‍යතාවයට බාධා කළ හැකිය. ග්‍රැනයිට් ඉහළ ඝනත්වයක් සහ දෘඩ වයනයක් ඇති අතර එයට විශිෂ්ට කම්පන ප්‍රතිරෝධයක් ඇත. එහි අභ්‍යන්තර ඛනිජ ස්ඵටික ව්‍යුහය සංයුක්ත වන අතර එමඟින් කම්පන ශක්තිය ඵලදායී ලෙස අඩු කර කම්පන ප්‍රචාරණය වේගයෙන් මර්දනය කළ හැකිය. පර්යේෂණාත්මක දත්ත පෙන්වා දෙන්නේ එකම කම්පන ප්‍රභවය යටතේ, ග්‍රැනයිට් පාදයට තත්පර 0.5 ක් ඇතුළත කම්පන විස්තාරය 90% කට වඩා අඩු කළ හැකි බවයි. ලෝහ පාදය හා සසඳන විට, එය උපකරණ ඉක්මනින් ස්ථායිතාවයට යථා තත්වයට පත් කළ හැකි අතර, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි කාචය සහ වේෆරය අතර නිශ්චිත සාපේක්ෂ පිහිටීම සහතික කරන අතර, කම්පනය නිසා ඇතිවන රටා බොඳවීම හෝ වැරදි ලෙස පෙළගැස්වීම වළක්වා ගත හැකිය.
මේ අතර, ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අතිශයින් අඩුය, ආසන්න වශයෙන් (4-8) ×10⁻⁶/℃, එය ලෝහමය ද්‍රව්‍යවලට වඩා බෙහෙවින් අඩුය. ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ක්‍රියාකාරිත්වය අතරතුර, ආලෝක ප්‍රභවයෙන් තාප උත්පාදනය සහ යාන්ත්‍රික සංරචක වලින් ඝර්ෂණය වැනි සාධක හේතුවෙන් අභ්‍යන්තර උෂ්ණත්වය උච්චාවචනය වුවද, ග්‍රැනයිට් පාදයට මාන ස්ථායිතාව පවත්වා ගත හැකි අතර තාප ප්‍රසාරණය සහ හැකිලීම හේතුවෙන් සැලකිය යුතු විරූපණයකට ලක් නොවේ. එය දෘශ්‍ය පද්ධතියට සහ නිරවද්‍ය චලන වේදිකාවට ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක සහායක් සපයන අතර, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි නිරවද්‍යතාවයේ අනුකූලතාව පවත්වා ගනී.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-20-2025