අර්ධ සන්නායක චිප් නිෂ්පාදනය සහ නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය පරීක්ෂාව වැනි අති නවීන ක්ෂේත්‍රවල, අධි-නිරවද්‍යතා සංවේදක යනු ප්‍රධාන දත්ත ලබා ගැනීම සඳහා මූලික උපාංග වේ. කෙසේ වෙතත්, සංකීර්ණ විද්‍යුත් චුම්භක පරිසරයන් සහ අස්ථායී භෞතික තත්වයන් බොහෝ විට සාවද්‍ය මිනුම් දත්ත වලට හේතු වේ. ග්‍රැනයිට් පදනම, එහි චුම්භක නොවන, ආරක්ෂිත ගුණාංග සහ විශිෂ්ට භෞතික ස්ථායිතාව සමඟ, සංවේදකය සඳහා විශ්වාසදායක මිනුම් පරිසරයක් ගොඩනඟයි.
චුම්භක නොවන ස්වභාවය ඇඟිලි ගැසීමේ ප්‍රභවය කපා දමයි.
ප්‍රේරක විස්ථාපන සංවේදක සහ චුම්භක පරිමාණ පරිමාණයන් වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතා සංවේදක චුම්භක ක්ෂේත්‍රයේ වෙනස්කම් වලට අතිශයින් සංවේදී වේ. සාම්ප්‍රදායික ලෝහ භෂ්මවල (වානේ සහ ඇලුමිනියම් මිශ්‍ර ලෝහ වැනි) ආවේණික චුම්භකත්වය සංවේදකය වටා බාධාකාරී චුම්භක ක්ෂේත්‍රයක් නිර්මාණය කළ හැකිය. සංවේදකය ක්‍රියාත්මක වන විට, බාහිර බාධාකාරී චුම්භක ක්ෂේත්‍රය අභ්‍යන්තර චුම්භක ක්ෂේත්‍රය සමඟ අන්තර්ක්‍රියා කරන අතර එමඟින් මිනුම් දත්ත අපගමනයන් පහසුවෙන් ඇති විය හැකිය.
ස්වාභාවික ආග්නේය පාෂාණයක් ලෙස ග්‍රැනයිට්, ක්වාර්ට්ස්, ෆෙල්ඩ්ස්පාර් සහ මයිකා වැනි ඛනිජ වලින් සමන්විත වේ. එහි අභ්‍යන්තර ව්‍යුහය තීරණය කරන්නේ එයට කිසිසේත්ම චුම්භකත්වයක් නොමැති බවයි. මූලයෙන් පාදයේ චුම්භක මැදිහත්වීම ඉවත් කිරීම සඳහා සංවේදකය ග්‍රැනයිට් පාදයේ ස්ථාපනය කරන්න. ඉලෙක්ට්‍රෝන අන්වීක්ෂ සහ න්‍යෂ්ටික චුම්භක අනුනාදය වැනි නිරවද්‍ය උපකරණවල, ග්‍රැනයිට් පාදය මඟින් සංවේදකය ඉලක්ක වස්තුවේ සියුම් වෙනස්කම් නිවැරදිව ග්‍රහණය කර ගන්නා බව සහතික කරයි, චුම්භක මැදිහත්වීම් නිසා ඇතිවන මිනුම් දෝෂ වළක්වයි.
ව්‍යුහාත්මක ලක්ෂණ විද්‍යුත් චුම්භක ආවරණය සමඟ සම්බන්ධීකරණය කර ඇත.
ග්‍රැනයිට් වලට ලෝහ මෙන් සන්නායක ආවරණ හැකියාව නොතිබුණද, එහි අද්විතීය භෞතික ව්‍යුහය විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් දුර්වල කළ හැකිය. ග්‍රැනයිට් වයනය අනුව දැඩි වන අතර ව්‍යුහයෙන් ඝන වේ. ඛනිජ ස්ඵටිකවල අන්තර් සම්බන්ධිත සැකැස්ම භෞතික බාධකයක් සාදයි. බාහිර විද්‍යුත් චුම්භක තරංග පාදයට ප්‍රචාරණය වන විට, ශක්තියෙන් කොටසක් ස්ඵටිකයෙන් අවශෝෂණය කර තාප ශක්තිය බවට පරිවර්තනය වන අතර, කොටසක් ස්ඵටික මතුපිට පරාවර්තනය වී විසිරී යන අතර එමඟින් සංවේදකයට ළඟා වන විද්‍යුත් චුම්භක තරංගවල තීව්‍රතාවය අඩු වේ.
ප්‍රායෝගික යෙදීම් වලදී, ග්‍රැනයිට් පාද බොහෝ විට ලෝහ ආවරණ දැල් සමඟ ඒකාබද්ධ කර සංයුක්ත ව්‍යුහයන් සාදයි. ලෝහ දැල අධි-සංඛ්‍යාත විද්‍යුත් චුම්භක තරංග අවහිර කරන අතර, ග්‍රැනයිට් ස්ථායී ආධාරකයක් සපයන අතරම අවශේෂ මැදිහත්වීම තවදුරටත් දුර්වල කරයි. සංඛ්‍යාත පරිවර්තක සහ මෝටර වලින් පිරුණු කාර්මික වැඩමුළු වලදී, මෙම සංයෝජනය මඟින් ප්‍රබල විද්‍යුත් චුම්භක පරිසරයක පවා සංවේදක ස්ථායීව ක්‍රියා කිරීමට හැකියාව ලැබේ.
භෞතික ගුණාංග ස්ථාවර කිරීම සහ මිනුම් විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීම
ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අතිශයින් අඩුය ((4-8) ×10⁻⁶/℃ පමණි), සහ උෂ්ණත්වය උච්චාවචනය වන විට එහි ප්‍රමාණය ඉතා සුළු වශයෙන් වෙනස් වන අතර, සංවේදක ස්ථාපන ස්ථානයේ ස්ථායිතාව සහතික කරයි. එහි විශිෂ්ට තෙතමනය කිරීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය මඟින් පාරිසරික කම්පන ඉක්මනින් අවශෝෂණය කර මිනුම් මත යාන්ත්‍රික බාධාවන්ගේ බලපෑම අඩු කළ හැකිය. නිරවද්‍ය දෘශ්‍ය මිනුමේදී, ග්‍රැනයිට් පාදයට තාප විරූපණය සහ කම්පනය නිසා ඇතිවන දෘශ්‍ය මාර්ග ඕෆ්සෙට් වළක්වා ගත හැකි අතර, මිනුම් දත්තවල නිරවද්‍යතාවය සහ පුනරාවර්තන හැකියාව සහතික කරයි.
අර්ධ සන්නායක වේෆර් ඝණකම හඳුනාගැනීමේ අවස්ථාවෙහිදී, යම් ව්‍යවසායක් ග්‍රැනයිට් පදනම භාවිතා කිරීමෙන් පසු, මිනුම් දෝෂය ±5μm සිට ±1μm දක්වා අඩු විය. අභ්‍යවකාශ සංරචකවල ස්වරූපය සහ ස්ථාන ඉවසීම පරීක්ෂා කිරීමේදී, ග්‍රැනයිට් පදනමක් භාවිතා කරන මිනුම් පද්ධතිය දත්ත පුනරාවර්තන හැකියාව 30% ට වඩා වැඩි දියුණු කර ඇත. මෙම අවස්ථා සම්පූර්ණයෙන්ම පෙන්නුම් කරන්නේ ග්‍රැනයිට් පදනම විද්‍යුත් චුම්භක මැදිහත්වීම් ඉවත් කිරීමෙන් සහ භෞතික පරිසරය ස්ථාවර කිරීමෙන් ඉහළ නිරවද්‍යතා සංවේදකවල මිනුම් විශ්වසනීයත්වය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරන බවත්, එය නවීන නිරවද්‍යතා මිනුම් ක්ෂේත්‍රයේ අත්‍යවශ්‍ය ප්‍රධාන අංගයක් බවට පත් කරන බවත්ය.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-20-2025