ග්‍රැනයිට් පාදය: වේෆර් කට්ට කැපීමේ "සැඟවුණු ශූරයා"! මධ්‍යම ස්ථානයේ රැඳී සිටිය යුත්තේ ඇයි?

අර්ධ සන්නායක වේෆර් කට්ට සෑදීමේ ක්ෂේත්‍රයේ, නිරවද්‍යතාවය ජීවන රේඛාවයි. කැපී පෙනෙන ග්‍රැනයිට් පදනමක් කට්ට සෑදීමේ උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වයේ ගුණාත්මක පිම්මක් ඇති කළ හැකිය! එය සැබවින්ම සඟවන "සුපිරි බලවතුන්" මොනවාද? නිවැරදි ග්‍රැනයිට් පදනම තෝරා ගැනීමෙන් අදහස් කරන්නේ ඔබ අඩක් සාර්ථක වී ඇති බව පවසන්නේ ඇයි? අද, අපි එය ගැඹුරින් හෙළි කිරීමට ඔබව රැගෙන යන්නෙමු!

I. ආවේණික ශක්තිය: ග්‍රැනයිට් වල "ආවේණික වාසි" තුන
භූ කම්පන ප්‍රතිරෝධය තායි කන්ද තරම් ස්ථායී වේ.
ග්‍රැනයිට් වල ඝනත්වය 2,800-3,100 kg/m³ තරම් ඉහළ වන අතර, එහි ව්‍යුහය "ගල් බලකොටුවක්" තරම් ඝනයි. වේෆර් කට්ට වල අධි-සංඛ්‍යාත කම්පන පරිසරය තුළ (උපකරණ විනාඩියකට 100 වතාවකට වඩා කට්ට), එය කම්පන ශක්තියෙන් 90% කට වඩා අවශෝෂණය කර ගත හැකිය, හරියට උපකරණ "කම්පන අවශෝෂක කළු තාක්‍ෂණයෙන්" සන්නද්ධ කරනවා වගේ! එක්තරා චිප් කර්මාන්ත ශාලාවකින් මනින ලද දත්තවලින් පෙනී යන්නේ ග්‍රැනයිට් පදනම භාවිතා කිරීමෙන් පසු, කට්ට කපන හිසෙහි ජිටර් විස්තාරය 15μm සිට 3μm දක්වා අඩු වී ඇති බවත්, කැටයම් කරන ලද ක්ෂුද්‍ර කට්ට වල දාර කැඩපතක් මෙන් සුමට බවත්ය.
2. "තාප-ප්‍රතිරෝධී ව්‍යුහය" උෂ්ණත්ව වෙනස්කම් වලට බිය නැත
සාමාන්‍ය ද්‍රව්‍ය රත් වූ විට "ප්‍රසාරණය වී විකෘති වේ", සිසිල් වූ විට "සංකෝචනය වී විකෘති වේ", නමුත් ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය 4-8×10⁻⁶/℃ තරම් අඩු වන අතර එය ලෝහවල උෂ්ණත්වයෙන් 1/5 ක් පමණි! වැඩමුළුවේ උෂ්ණත්වය පැය 24ක් ඇතුළත 10℃ කින් තියුණු ලෙස උච්චාවචනය වුවද, එහි විරූපණය 0.01mm ට වඩා අඩු වන අතර එය නොසලකා හැරිය හැක. මෙයින් අදහස් කරන්නේ දිවා රාත්‍රී මාරුවීම හෝ උපකරණවල දිගුකාලීන ක්‍රියාකාරිත්වය සහ තාප උත්පාදනය නොසලකා, ග්‍රැනයිට් පාදයට ස්ලට් ස්ථානය "චලනය නොවී" තබා ගත හැකි බවයි.
3. විනාශ කළ නොහැකි ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය
ග්‍රැනයිට් වල Mohs දෘඪතාව ක්වාර්ට්ස් ගලට සාපේක්ෂව 6 සිට 7 දක්වා ළඟා වන අතර එහි ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සාමාන්‍ය වානේවලට වඩා තුන් ගුණයකි! වේෆර් කට්ටයේ දිගුකාලීන අධි-සංඛ්‍යාත ඝර්ෂණය යටතේ, පාදයේ මතුපිට කිසිසේත්ම ගෙවී යන්නේ නැත. යම් අත්තිවාරමක් වසර පහක් තිස්සේ ග්‍රැනයිට් පාද භාවිතා කිරීමෙන් පසුව, පරීක්ෂා කිරීමේදී සමතලා බව තවමත් ±0.5μm/m තුළ පවත්වා ගෙන ගිය අතර, කට්ට නිරවද්‍යතාවය ස්ථාවරව පැවතුන අතර, උපකරණ ක්‍රමාංකනය සහ ප්‍රතිස්ථාපන පිරිවැය සැලකිය යුතු ලෙස ඉතිරි විය.
Ii. නිරවද්‍ය අනුවර්තනය: ග්‍රැනයිට් විවිධ කට්ට අවශ්‍යතා සපුරාලන්නේ කෙසේද?
දර්ශනය 1: අතිශය සියුම් කට්ට (10μm ට අඩු ක්ෂුද්‍ර කට්ට)
අවශ්‍යතාවය: අවසාන පැතලි බව
ග්‍රැනයිට් වාසි: අක්ෂ පහක සම්බන්ධක අධි-නිරවද්‍ය සැකසුම් හරහා, සමතලා බව ±0.5μm/m තුළ පාලනය කළ හැකිය, එනම් මීටර් 1 ක දිගකින්, උස දෝෂය මිනිස් හිසකෙස් වලට වඩා 200 ගුණයකින් තුනී වේ! කට්ට කපන හිස සහ වේෆරය අතර දුර සෑම විටම නිරවද්‍ය බවත්, කැටයම් කරන ලද ක්ෂුද්‍ර කට්ට වල පළල දෝෂය ±0.1μm නොඉක්මවන බවත් සහතික කර ගන්න.
දර්ශනය 2: අධිවේගී මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන කට්ට කැපීම
අවශ්‍යතාවය: සුපිරි කම්පන අවශෝෂණ කාර්ය සාධනය
ග්‍රැනයිට් වල වාසි: ඇතුළත එහි ස්වභාවික තෙතමනය අඩු කිරීමේ ගුණාංග උපකරණ කම්පනය ඉක්මනින් දුර්වල කළ හැකිය. යම් පැනල් කර්මාන්ත ශාලාවක් ග්‍රැනයිට් පාදම හඳුන්වා දීමෙන් පසු, කට්ට දැමීමේ වේගය 40% කින් වැඩි වූ අතර, අස්වැන්න අනුපාතය 85% සිට 96% දක්වා ඉහළ ගොස් නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ ගුණාත්මකභාවය පිළිබඳ ද්විත්ව අස්වැන්නක් ලබා ගත්තේය!
දර්ශනය 3: සංකීර්ණ පාරිසරික කට්ට (ඉහළ උෂ්ණත්වය/විඛාදනය)
අවශ්‍යතා: ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්‍රතිරෝධය සහ විඛාදන ප්‍රතිරෝධය
ග්‍රැනයිට් වල වාසි: අතිශයින්ම ශක්තිමත් රසායනික ස්ථායිතාව, අම්ල සහ ක්ෂාර විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වේ; එය තාප ප්‍රසාරණයේ අඩු සංගුණකයක් ඇති අතර ලේසර් කට්ට කැපීමේදී දේශීය ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී (150℃) පවා විරූපණය නොවේ. විඛාදන කට්ට කැපීමේ ද්‍රාවණයක් සහිත යම් රසායනාගාරයක භාවිතා කරන ග්‍රැනයිට් පදනමක් වසර තුනක් අඛණ්ඩව භාවිතයේ පවතින අතර, පාදයේ මතුපිට නොවෙනස්ව පවතී.
Iii. "සැබෑ උසස් තත්ත්වයේ" ග්‍රැනයිට් පදනමක් තෝරා ගන්නේ කෙසේද?
ඝනත්වය දෙස බලන්න: ≥2800kg/m³ ඝනත්වයක් සහිත ග්‍රැනයිට් වඩාත් සංයුක්ත ව්‍යුහයක් ඇත.
සහතික පරීක්ෂා කරන්න: ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා ISO 9001 සහ CNAS වැනි බලයලත් සහතික හඳුනා ගැනීමට වග බලා ගන්න.
සත්‍යාපන දත්ත: නිෂ්පාදකයා තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (< 8×10⁻⁶/℃) සහ පැතලි බව (±0.5μm/m) පිළිබඳ පරීක්ෂණ වාර්තා සැපයීමට අවශ්‍ය වේ.
ස්ථානීය පරීක්ෂණය: පාදම තට්ටු කරන්න. පැහැදිලි ශබ්දයක් ඇතුළත ඉරිතැලීම් නොමැති බව පෙන්නුම් කරයි. ස්පර්ශ පෘෂ්ඨය කැඩපතක් මෙන් සුමට නම්, එය ඉහළ සැකසුම් නිරවද්‍යතාවයක් පෙන්නුම් කරයි.
නිගමනය: නිවැරදි ග්‍රැනයිට් තෝරාගෙන කට්ට කැපීමේ සටනෙන් අඩක් ජය ගන්න!
කම්පන ප්‍රතිරෝධය, තාප ප්‍රතිරෝධය සිට ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය දක්වා, එහි "ස්වාභාවික සුන්දරත්වය" සහ "දෘඪ ශක්තිය" සහිත ග්‍රැනයිට් පදනම, වේෆර් කට්ට උපකරණ සඳහා රන් සහකරු බවට පත්ව ඇත. නැනෝ පරිමාණ නිරවද්‍යතාවය අනුගමනය කරන අද අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන යුගයේ, උසස් තත්ත්වයේ ග්‍රැනයිට් පදනමක් යනු උපකරණ සඳහා ආයෝජනයක් පමණක් නොව නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සඳහා දිගුකාලීන සහතිකයක් ද වේ!