අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන වැඩමුළුවේදී, පාරිසරික තත්ත්වයන් සහ උපකරණ නිරවද්යතාවය සඳහා චිප් නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ අවශ්යතා අතිශයින් ඉහළ මට්ටමක පවතින අතර, ඕනෑම සුළු අපගමනයකින් චිප් අස්වැන්නෙහි සැලකිය යුතු පහත වැටීමක් සිදුවිය හැකිය. XYZT නිරවද්ය ගැන්ට්රි චලන වේදිකාව නැනෝ පරිමාණ නිරවද්යතාවයක් ලබා ගැනීම සඳහා ශක්තිමත් පදනමක් ගොඩනැගීම සඳහා වේදිකාවේ අනෙකුත් කොටස් සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කිරීමට ග්රැනයිට් සංරචක මත රඳා පවතී.
විශිෂ්ට කම්පන අවහිර කිරීමේ ගුණාංග
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන වැඩමුළුවේදී, පර්යන්ත උපකරණ සහ පිරිස් ඇවිදින විට කම්පනය ඇති විය හැක. ග්රැනයිට් සංරචකවල අභ්යන්තර ව්යුහය ඝන සහ ඒකාකාරී වන අතර, කාර්යක්ෂම කම්පන "බාධකයක්" වැනි ස්වාභාවික ඉහළ තෙතමනය කිරීමේ ලක්ෂණ ඇත. බාහිර කම්පනය XYZT වේදිකාවට සම්ප්රේෂණය වන විට, ග්රැනයිට් සංරචකයට කම්පන ශක්තියෙන් 80% කට වඩා ඵලදායී ලෙස දුර්වල කළ හැකි අතර වේදිකා චලන නිරවද්යතාවයේ කම්පන මැදිහත්වීම අඩු කළ හැකිය. ඒ සමඟම, වේදිකාව ග්රැනයිට් සංරචක සමඟ ඒකාබද්ධව ක්රියා කරන ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් වායු පාවෙන මාර්ගෝපදේශ පද්ධතියකින් සමන්විත වේ. වේදිකාවේ චලනය වන කොටස්වල ස්පර්ශ රහිත අත්හිටුවීමේ චලනය සාක්ෂාත් කර ගැනීමට සහ යාන්ත්රික ඝර්ෂණය නිසා ඇතිවන කුඩා කම්පනය අඩු කිරීමට වායු පාවෙන මාර්ගෝපදේශය අධි පීඩන වායුව මගින් සාදන ලද ස්ථායී වායු පටලය භාවිතා කරයි. චිප් ලිතෝග්රැෆි සහ කැටයම් කිරීම වැනි ප්රධාන ක්රියාවලීන්හිදී වේදිකා ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය සැමවිටම නැනෝමීටර මට්ටමින් පවත්වා ගෙන යන බව දෙකම සහතික කරන අතර කම්පනය නිසා ඇතිවන චිප් පරිපථ රටා අපගමනය වීම වළක්වයි.
විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාව
වැඩමුළුවේ උෂ්ණත්වයේ සහ ආර්ද්රතාවයේ උච්චාවචනය චිප් නිෂ්පාදන උපකරණවල නිරවද්යතාවයට විශාල බලපෑමක් ඇති කරයි. ග්රැනයිට් වල තාප ප්රසාරණ සංගුණකය ඉතා අඩුය, සාමාන්යයෙන් 5-7 ×10⁻⁶/℃, උෂ්ණත්වය වෙනස් වන විට ප්රමාණය පාහේ නොවෙනස්ව පවතී. වැඩමුළුවේ දිවා රාත්රී අතර උෂ්ණත්ව වෙනස හෝ උපකරණවල තාප නිෂ්පාදනය පරිසර උෂ්ණත්වය උච්චාවචනය වීමට හේතු වුවද, තාප ප්රසාරණය සහ හැකිලීම හේතුවෙන් වේදිකාවේ විරූපණය වැළැක්වීම සඳහා ග්රැනයිට් සංරචක ස්ථායීව පැවතිය හැකිය. ඒ සමඟම, වේදිකාවෙන් සමන්විත බුද්ධිමත් උෂ්ණත්ව පාලන පද්ධතිය තත්ය කාලීනව පරිසර උෂ්ණත්වය නිරීක්ෂණය කරයි, වායු සමීකරණ සහ තාප විසර්ජන උපකරණ ස්වයංක්රීයව සකස් කරයි, සහ වැඩමුළු උෂ්ණත්වය 20 ° C ± 1 ° C හි පවත්වා ගනී. ග්රැනයිට් තාප ස්ථායිතාවයේ වාසි සමඟ ඒකාබද්ධව, දිගු කාලීන ක්රියාකාරිත්වයේ වේදිකාව, එක් එක් අක්ෂයේ චලන නිරවද්යතාවය සෑම විටම චිප් නිෂ්පාදන නැනෝමීටර නිරවද්යතා ප්රමිතීන් සපුරාලන බවට සහතික වන්න, චිප් ලිතෝග්රැෆි රටා ප්රමාණය නිවැරදි බව සහතික කිරීම සඳහා, කැටයම් ගැඹුර ඒකාකාර වේ.
පිරිසිදු පරිසරයක අවශ්යතා සපුරාලීම
දූවිලි අංශු චිපය දූෂණය වීම වැළැක්වීම සඳහා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන සාප්පුව ඉහළ පිරිසිදුකමක් පවත්වා ගත යුතුය. ග්රැනයිට් ද්රව්යම දූවිලි නිපදවන්නේ නැත, මතුපිට සිනිඳුයි, දූවිලි අවශෝෂණය කිරීමට පහසු නැත. සමස්තයක් ලෙස වේදිකාව බාහිර දූවිලි ඇතුළුවීම අඩු කිරීම සඳහා සම්පූර්ණයෙන්ම වසා දැමූ හෝ අර්ධ වශයෙන් වසා දැමූ ව්යුහ සැලසුමක් අනුගමනය කරයි. අභ්යන්තර වායු සංසරණ පද්ධතිය වැඩමුළුවේ පිරිසිදු වායු සමීකරණ පද්ධතිය සමඟ සම්බන්ධ කර ඇති අතර එමඟින් අභ්යන්තර වායු පිරිසිදුකම චිප් නිෂ්පාදනයට අවශ්ය මට්ටමට ළඟා වන බව සහතික කෙරේ. මෙම පිරිසිදු පරිසරය තුළ, දූවිලි ඛාදනය හේතුවෙන් ග්රැනයිට් සංරචක කාර්ය සාධනයට බලපාන්නේ නැත, සහ වේදිකාවේ ඉහළ නිරවද්යතා සංවේදක සහ මෝටර වැනි ප්රධාන සංරචක ද ස්ථාවරව ක්රියා කළ හැකි අතර, චිප් නිෂ්පාදනය සඳහා අඛණ්ඩ සහ විශ්වාසදායක නැනෝ පරිමාණ නිරවද්යතා සහතිකයක් ලබා දෙන අතර අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ඉහළ ක්රියාවලි මට්ටමකට යාමට උපකාරී වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 අප්රේල්-14