අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍රය තුළ, වේෆර් කැපීම යනු උපරිම නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වන වැදගත් ක්‍රියාවලියකි. උපකරණ පදනම සඳහා ද්‍රව්‍ය තෝරා ගැනීම කාර්ය සාධනයට සැලකිය යුතු ලෙස බලපායි. වේෆර් කැපුම් උපකරණ සඳහා එය බොහෝ විට ඉහළින්ම පැමිණෙන්නේ මන්දැයි බැලීමට ග්‍රැනයිට් අනෙකුත් පොදු ද්‍රව්‍ය සමඟ සංසන්දනය කරමු.
ග්‍රැනයිට්: ඉතිරි කොටසට ඉහළින් කැපුමක්
ස්ථායිතාව: ZHHIMG® හි පිරිනැමීම මෙන් 3100 kg/m³ පමණ ඝනත්වයක් සහිත ග්‍රැනයිට්, සුවිශේෂී ස්ථායිතාවයක් සපයයි. එහි ස්ථායී ව්‍යුහය වේෆර් කැපීමේ ක්‍රියාවලියේදී කම්පන අවම කරයි. ඊට වෙනස්ව, ඇලුමිනියම් වැනි ද්‍රව්‍ය අධිවේගී කැපුම් මෙහෙයුම්වල ආතතිය යටතේ චලනය වීමට වැඩි ප්‍රවණතාවක් තිබිය හැකිය. මෙම ස්ථායිතාව කැපුම් මෙවලම නිශ්චිතව ස්ථානගත කර ඇති බව සහතික කරයි, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස නිවැරදි කැපුම් සහ උසස් තත්ත්වයේ වේෆර් ලැබේ.
තාප ප්‍රතිරෝධය: ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අඩුය. වේෆර් කැපීමේදී, කැපුම් ක්‍රියාවලිය හෝ නිෂ්පාදන පරිසරය මගින් ජනනය වන තාපය හේතුවෙන් උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් සිදුවිය හැකි විට, ග්‍රැනයිට් වල තාප ස්ථායීතාවය ආශිර්වාදයකි. එය උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් සමඟ සැලකිය යුතු ලෙස ප්‍රසාරණය නොවේ හෝ හැකිලෙන්නේ නැත, කැපුම් උපකරණවල පෙළගැස්ම පවත්වා ගනී. අනෙක් අතට, වානේ වැනි ලෝහවලට වඩා සැලකිය යුතු තාප ප්‍රසාරණයක් අත්විඳිය හැකි අතර, එය වැරදි පෙළගැස්මකට සහ සාවද්‍ය කැපුම්වලට හේතු විය හැක.
කම්පන තෙතමනය අඩු කිරීම: ග්‍රැනයිට් වල ස්වාභාවික කම්පන තෙතමනය අඩු කිරීමේ ගුණාංග විශිෂ්ටයි. වේෆර් කැපීමේදී, කම්පන නිසා කැපුම් මෙවලම එහි අපේක්ෂිත මාර්ගයෙන් බැහැර විය හැකි අතර, එය චිපින් හෝ අසමාන කැපුම් වලට තුඩු දෙයි. ග්‍රැනයිට් මෙම කම්පන ඵලදායී ලෙස අවශෝෂණය කර විසුරුවා හරින අතර, සුමට කැපුම් මෙහෙයුමක් නිර්මාණය කරයි. ප්ලාස්ටික් මත පදනම් වූ සංයුක්ත වැනි ද්‍රව්‍යවලට මෙම ආවේණික කම්පන තෙතමනය අඩු කිරීමේ හැකියාව නොමැති අතර, ඒවා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් වේෆර් කැපීම සඳහා අඩු සුදුසුකමක් බවට පත් කරයි.
වාත්තු යකඩ සමඟ සංසන්දනය කිරීම
යන්ත්‍ර පාදක සඳහා සාම්ප්‍රදායික තේරීමක් වී ඇත්තේ වාත්තු යකඩයි. කෙසේ වෙතත්, ග්‍රැනයිට් හා සසඳන විට එයට එහි සීමාවන් ඇත. වාත්තු යකඩ යම් ස්ථාවරත්වයක් ලබා දෙන අතර, එහි ශක්තියට සාපේක්ෂව එය ග්‍රැනයිට් වලට වඩා බරයි. මෙම අමතර බර උපකරණ ස්ථාපනය කිරීමේදී සහ චලනය කිරීමේදී අභියෝග ඇති කළ හැකිය. මීට අමතරව, වාත්තු යකඩ කාලයත් සමඟ විඛාදනයට ගොදුරු වීමේ වැඩි අවදානමක් ඇත, විශේෂයෙන් රසායනික ද්‍රව්‍ය තිබිය හැකි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පරිසරවල. රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය ග්‍රැනයිට් මෙම ගැටලුවෙන් පීඩා විඳින්නේ නැත, දිගුකාලීන කල්පැවැත්ම සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කරයි.
කිරිගරුඬට එරෙහි නඩුව
සමහරු කිරිගරුඬ විකල්පයක් ලෙස සැලකිය හැකි නමුත්, වේෆර් කැපුම් උපකරණ සඳහා එය බොහෝ අංශවලින් දුර්වල වේ. කිරිගරුඬ අඩු ඝනත්වයක් ඇති අතර සාමාන්‍යයෙන් ග්‍රැනයිට් වලට වඩා අඩු ස්ථායී වේ. එය වඩාත් සිදුරු සහිත වන අතර, එමඟින් නිෂ්පාදන පරිසරයේ තෙතමනය හා රසායනික ද්‍රව්‍ය වලින් සිදුවන හානිවලට ගොදුරු විය හැකිය. නිරවද්‍යතාවය සහ කල්පැවැත්ම ඉතා වැදගත් වන වේෆර් කැපීමේදී, කිරිගරුඬෙහි භෞතික ගුණාංග ග්‍රැනයිට් මෙන් අවශ්‍යතාවලට නොගැලපේ.
අවසාන වශයෙන්, වේෆර් කැපුම් උපකරණ පාදක සඳහා ද්‍රව්‍යයක් තෝරා ගැනීමේදී, ග්‍රැනයිට්, විශේෂයෙන් ZHHIMG® විසින් පිරිනමනු ලබන උසස් තත්ත්වයේ ග්‍රැනයිට්, කැපී පෙනේ. එහි ස්ථායිතාව, තාප ප්‍රතිරෝධය සහ කම්පන-තෙත් කිරීමේ හැකියාවන් අර්ධ සන්නායක වේෆර් කැපීමේදී අවශ්‍ය ඉහළ නිරවද්‍යතාවය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා ප්‍රශස්ත තේරීමක් කරයි. ලබා ගත හැකි වෙනත් ද්‍රව්‍ය තිබුණද, ග්‍රැනයිට් වල අද්විතීය ගුණාංග සංයෝජනය මෙම ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම තුළ එයට පැහැදිලි වාසියක් ලබා දෙයි.
පළ කිරීමේ කාලය: ජූනි-03-2025