ඉතා නිරවද්ය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්ෂේත්රය තුළ, සුළු කම්පනයක් පවා වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රවල ක්රියාකාරිත්වයට සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑ හැකි අතර, එය දෝෂ සහ අස්වැන්න පාඩු වලට හේතු වේ. වේෆර් සැකසීමේ අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා අත්යවශ්ය වන අසමසම කම්පන-අඩු කිරීමේ හැකියාවන් ලබා දෙමින්, ග්රැනයිට් යන්ත්ර පදනම් ක්රීඩාව වෙනස් කරන විසඳුමක් ලෙස මතු වී ඇත.
කම්පන මර්දනය සඳහා ඉහළ ඝනත්වය සහ අවස්ථිති බව
ග්රැනයිට් වල ඉහළ ඝනත්වය, සාමාන්යයෙන් 2,600 සිට 3,100 kg/m³ දක්වා පරාසයක පවතින අතර, සැලකිය යුතු අවස්ථිති බවක් ලබා දෙයි. වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රවලට ඒකාබද්ධ කළ විට, මෙම ලක්ෂණය බාහිර කම්පන ඵලදායී ලෙස ප්රතිරෝධය දක්වයි. නිදසුනක් වශයෙන්, කාර්යබහුල අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තශාලා තට්ටුවක, අවට යන්ත්රෝපකරණ සහ පාද ගමනාගමනය මගින් පරිසර කම්පන ජනනය කළ හැකිය. එහි අධික ස්කන්ධයක් සහිත ග්රැනයිට් යන්ත්ර පදනමක් ස්ථාවර පදනමක් ලෙස ක්රියා කරයි, මෙම කම්පන ස්ලොටින් යන්ත්රයේ සියුම් සංරචක වෙත සම්ප්රේෂණය වීම අවම කරයි. එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස, කැපුම් මෙවලම් නිශ්චිතව ස්ථානගත කර ඇති අතර, ඉලක්කයෙන් පිටත කැපීමේ අවදානම අඩු කරන අතර ස්ලොටින් වේෆර්වල සමස්ත ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරයි.
ස්වාභාවික කම්පනය - තෙතමනය අඩු කිරීමේ ගුණාංග
අන්තර් සම්බන්ධිත ඛනිජ ධාන්ය වලින් සමන්විත ග්රැනයිට් වල අද්විතීය අභ්යන්තර ව්යුහය එයට විශිෂ්ට කම්පන-තෙත් කිරීමේ හැකියාවන් ලබා දෙයි. වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රය ක්රියාත්මක වන විට, කැපුම් මෙවලම්වල අධිවේගී භ්රමණය සහ ඊට සම්බන්ධ යාන්ත්රික බලවේග අභ්යන්තර කම්පන ජනනය කළ හැකිය. ග්රැනයිට් මෙම කම්පන ශක්තිය අවශෝෂණය කර විසුරුවා හරින අතර එමඟින් යන්ත්ර ව්යුහය හරහා අනුනාද වීම වළක්වයි. කම්පන විස්තාරණය කළ හැකි ලෝහ භෂ්ම මෙන් නොව, ග්රැනයිට් වල ස්වාභාවික තෙතමනය කිරීමේ බලපෑම යන්ත්රය සුමටව ක්රියාත්මක වන බව සහතික කරයි. ග්රැනයිට් භෂ්ම භාවිතා කිරීමෙන් කම්පන විස්තාරය 70% දක්වා අඩු කළ හැකි බවත්, කැපුම් ක්රියාවලියේදී ස්ලොටින් යන්ත්රයට ඉහළ මට්ටමේ නිරවද්යතාවයක් පවත්වා ගැනීමට හැකි වන බවත් පර්යේෂණවලින් පෙනී යයි.
කම්පනය වැළැක්වීම සඳහා තාප ස්ථායිතාව - ප්රේරිත දෝෂ
නිෂ්පාදන පරිසරයේ උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් ද්රව්ය ප්රසාරණය වීමට හෝ හැකිලීමට හේතු විය හැකි අතර, එමඟින් වැරදි පෙළගැස්මක් සහ පසුව කම්පන ඇති විය හැක. ග්රැනයිට් තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකයක් ඇත, එනම් එය වෙනස් වන උෂ්ණත්ව යටතේ වුවද එහි හැඩය සහ මානයන් පවත්වා ගනී. වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රයක, මෙම තාප ස්ථායිතාව ඉතා වැදගත් වේ. උදාහරණයක් ලෙස, දීර්ඝ නිෂ්පාදන ධාවනය අතරතුර, අඛණ්ඩ ක්රියාකාරිත්වය හේතුවෙන් යන්ත්රය රත් විය හැක. ග්රැනයිට් පදනමක් මඟින් යන්ත්රයේ සංරචක නිරවද්ය පෙළගැස්මක පවතින බව සහතික කරයි, වේෆර් ස්ලොටින් කිරීමේ නිරවද්යතාවයට බලපෑ හැකි තාප ප්රේරිත කම්පන හෝ මාන වෙනස්කම් වළක්වා ගනී. මෙම ස්ථායිතාව සියලුම සැකසූ වේෆර් හරහා ස්ථාවර ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීමට උපකාරී වේ.
නිරවද්යතාවය සඳහා දැඩි සහ ස්ථාවර පදනමක්
කම්පනය අඩු කිරීමේ තවත් ප්රධාන සාධකයක් වන්නේ ග්රැනයිට් වල දෘඪතාවයි. එහි ඝන ව්යුහය වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රය සඳහා ස්ථාවර පදනමක් සපයන අතර එමඟින් අනවශ්ය චලනයන් හෝ නැමීම් වළක්වයි. ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදයක නිරවද්යතාවය - බිම් මතුපිට යන්ත්ර සංරචක නිවැරදිව ස්ථාපනය කිරීමට ඉඩ සලසයි, එමඟින් ස්ථායිතාව තවදුරටත් වැඩි දියුණු වේ. යන්ත්රය ග්රැනයිට් පාදයක් මත ස්ථිරව සවි කර ඇති විට, එය අවම කම්පන සහිතව ඉහළ වේගයකින් ක්රියා කළ හැකි අතර, නිරවද්යතාවය කැප නොකර වේගවත් සැකසුම් කාලයන් සක්රීය කරයි.
සැබෑ - ලෝක සාර්ථක කතා
ප්රමුඛ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පහසුකමක, වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රවල ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදක භාවිතා කිරීම නිෂ්පාදන ගුණාත්මක භාවයේ කැපී පෙනෙන දියුණුවකට හේතු විය. ග්රැනයිට් වල කම්පන-අඩු කිරීමේ ගුණාංග ස්ලොට් කරන ලද වේෆර්වල ක්ෂුද්ර අස්ථි බිඳීම් ඇතිවීම අඩු කළ අතර, අස්වැන්න අනුපාතය 85% සිට 93% දක්වා වැඩි කළේය. ඊට අමතරව, වැඩිදියුණු කළ ස්ථායිතාව යන්ත්රයේ මෙහෙයුම් වේගය 20% කින් වැඩි කිරීමට ඉඩ සලසන අතර එමඟින් සමස්ත ඵලදායිතාව ඉහළ නැංවීය.
නිගමනයක් ලෙස, වේෆර් ස්ලොටින් යන්ත්රවල කම්පනය අඩු කිරීම සඳහා ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදක වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවායේ ඉහළ ඝනත්වය, කම්පන-තෙත් කිරීමේ ගුණාංග, තාප ස්ථායිතාව සහ දෘඩතාව ඒකාබද්ධ වී ස්ථාවර හා නිරවද්ය මෙහෙයුම් පරිසරයක් නිර්මාණය කරයි. ඔවුන්ගේ වේෆර් සැකසීමේ ගුණාත්මකභාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කිරීම අරමුණු කරගත් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා, ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදකවල ආයෝජනය කිරීම ඔප්පු කරන ලද සහ ඵලදායී විසඳුමකි.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 ජූනි-12