වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම එකලස් කිරීම, පරීක්ෂා කිරීම සහ ක්‍රමාංකනය කරන්නේ කෙසේද?

ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ, විශේෂයෙන් වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වේ. එය වේෆර් කාර්යක්ෂමව හා නිවැරදිව සැකසීම සඳහා යන්ත්‍රෝපකරණවල අත්‍යවශ්‍ය අංගයකි. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් එකලස් කිරීම, පරීක්ෂා කිරීම සහ ක්‍රමාංකනය කිරීම සඳහා විස්තර සහ විශේෂඥතාව කෙරෙහි අවධානය යොමු කිරීම අවශ්‍ය වේ. මෙම ලිපියෙන්, වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් එකලස් කිරීම, පරීක්ෂා කිරීම සහ ක්‍රමාංකනය කිරීම සඳහා පියවරෙන් පියවර මාර්ගෝපදේශය අපි විස්තර කරන්නෙමු.

1. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම එකලස් කිරීම

ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් එකලස් කිරීමේ පළමු පියවර වන්නේ අවශ්‍ය සියලුම සංරචක සකස් කර ඒවායේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීමයි. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් සඳහා වන සංරචකවලට ග්‍රැනයිට් ස්ලැබ් එකක්, ඇලුමිනියම් රාමුවක්, මට්ටම් පෑඩ් සහ බෝල්ට් ඇතුළත් විය හැකිය. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් එකලස් කිරීමේ පියවර මෙන්න:

පියවර 1 - කළුගල් ස්ලැබ් එක පැතලි හා පිරිසිදු මතුපිටක් මත තබන්න.

පියවර 2 - බෝල්ට් භාවිතයෙන් ග්‍රැනයිට් ස්ලැබ් එක වටා ඇලුමිනියම් රාමුව සවි කර රාමුව ග්‍රැනයිට් වල දාර සමඟ සමපාත වන බවට වග බලා ගන්න.

පියවර 3 - යන්ත්‍ර පාදය සමතලා බව සහතික කිරීම සඳහා ඇලුමිනියම් රාමුවේ පහළ පැත්තේ මට්ටම් පෑඩ් සවි කරන්න.

පියවර 4 - සියලුම බෝල්ට් තද කර ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදය ශක්තිමත් සහ ස්ථාවර බවට වග බලා ගන්න.

2. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම පරීක්ෂා කිරීම

ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම එකලස් කිරීමෙන් පසු, එය නිවැරදිව ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම සඳහා එය පරීක්ෂා කළ යුතුය. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම පරීක්ෂා කිරීම යනු එහි මට්ටම් බව, පැතලි බව සහ ස්ථායිතාව පරීක්ෂා කිරීමයි. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම පරීක්ෂා කිරීමට පියවර මෙන්න:

පියවර 1 - ග්‍රැනයිට් ස්ලැබ් එකේ විවිධ ස්ථාන මත තැබීමෙන් යන්ත්‍ර පාදයේ මට්ටම් බව පරීක්ෂා කිරීමට නිරවද්‍ය මට්ටමක් භාවිතා කරන්න.

පියවර 2 - ග්‍රැනයිට් ස්ලැබ් එකේ විවිධ ස්ථාන මත තැබීමෙන් යන්ත්‍ර පාදයේ සමතලා බව පරීක්ෂා කිරීමට සෘජු දාරයක් හෝ මතුපිට තහඩුවක් භාවිතා කරන්න. සමතලා බව ඉවසීම 0.025mm ට වඩා අඩු විය යුතුය.

පියවර 3 - යන්ත්‍ර පාදයේ ස්ථායිතාව පරීක්ෂා කිරීම සඳහා බරක් යොදන්න. බර යන්ත්‍ර පාදයේ කිසිදු විරූපණයක් හෝ චලනයක් ඇති නොකළ යුතුය.

3. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම ක්‍රමාංකනය කිරීම

ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම ක්‍රමාංකනය කිරීම යනු යන්ත්‍රයේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය සකස් කිරීම සහ හොඳම ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා අනෙකුත් යන්ත්‍ර සංරචක සමඟ එය පෙළගැස්වීමයි. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම ක්‍රමාංකනය කිරීමේ පියවර මෙන්න:

පියවර 1 - ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදය මත දෘශ්‍ය වේදිකාවක් හෝ ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටර පද්ධතියක් වැනි මිනුම් උපකරණ ස්ථාපනය කරන්න.

පියවර 2 - යන්ත්‍රයේ ස්ථානගත කිරීමේ දෝෂ සහ අපගමනයන් තීරණය කිරීම සඳහා පරීක්ෂණ සහ මිනුම් මාලාවක් සිදු කරන්න.

පියවර 3 - දෝෂ සහ අපගමනයන් අවම කිරීම සඳහා යන්ත්‍රයේ ස්ථානගත කිරීමේ පරාමිතීන් සකසන්න.

පියවර 4 - යන්ත්‍ර පාදම නිවැරදිව ක්‍රමාංකනය කර ඇති බවත්, මිනුම්වල දෝෂයක් හෝ අපගමනයක් නොමැති බවත් සහතික කර ගැනීම සඳහා අවසාන පරීක්ෂාවක් කරන්න.

නිගමනය

නිගමනයක් ලෙස, වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් එකලස් කිරීම, පරීක්ෂා කිරීම සහ ක්‍රමාංකනය කිරීම නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් ලබා ගැනීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. අවශ්‍ය සංරචක, මෙවලම් සහ විශේෂඥතාව සමඟින්, ඉහත විස්තර කර ඇති පියවර අනුගමනය කිරීමෙන් ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම නිවැරදිව එකලස් කර, පරීක්ෂා කර, ක්‍රමාංකනය කර ඇති බව සහතික කෙරේ. හොඳින් ඉදිකරන ලද සහ ක්‍රමාංකනය කරන ලද ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදනවල කාර්යක්ෂම හා නිවැරදි ප්‍රතිඵල ලබා දෙනු ඇත.