අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහ නිරවද්‍යතා මිනුම් උපකරණ වැනි ක්ෂේත්‍රවල, ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා වේදිකාවල නිරවද්‍යතාවය උපකරණවල මෙහෙයුම් ගුණාත්මකභාවය සෘජුවම තීරණය කරයි. වේදිකාවේ නිරවද්‍යතාවය ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වන බව සහතික කිරීම සඳහා, අංශ දෙකකින් උත්සාහයන් සිදු කළ යුතුය: ප්‍රධාන දර්ශක හඳුනා ගැනීම සහ සම්මත සම්මතයන්ට අනුකූල වීම.
මූලික දර්ශක හඳුනාගැනීම: නිරවද්‍යතාවය පිළිබඳ බහු-මාන පාලනය
සමතලා බව හඳුනාගැනීම: යොමු තලයේ "සමතලා බව" තීරණය කිරීම
ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා වේදිකාවල මූලික දර්ශකය වන්නේ පැතලි බව වන අතර එය සාමාන්‍යයෙන් ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටර හෝ ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම් මගින් මනිනු ලැබේ. ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරයට ලේසර් කදම්භයක් විමෝචනය කිරීමෙන් සහ ආලෝක මැදිහත්වීමේ මූලධර්මය භාවිතා කිරීමෙන් වේදිකා මතුපිට ඇති කුඩා රැළි නිවැරදිව මැනිය හැකි අතර, නිරවද්‍යතාවය උප-මයික්‍රෝන මට්ටමට ළඟා වේ. ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම කිහිප වතාවක් චලනය කිරීමෙන් මනිනු ලබන අතර දේශීය නෙරා යාමක් හෝ අවපාතයක් තිබේද යන්න අනාවරණය කර ගැනීම සඳහා වේදිකා මතුපිට ත්‍රිමාණ සමෝච්ඡ සිතියමක් අඳියි. නිදසුනක් ලෙස, අර්ධ සන්නායක ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රවල භාවිතා කරන ග්‍රැනයිට් වේදිකාවල ± 0.5μm/m පැතලි බවක් තිබිය යුතුය, එනම් මීටර් 1 ක දිගක් තුළ උස වෙනස මයික්‍රෝමීටරයෙන් අඩක් නොඉක්මවිය යුතුය. ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් හඳුනාගැනීමේ උපකරණ හරහා පමණක් මෙම දැඩි ප්‍රමිතිය සහතික කළ හැකිය.
2. සෘජු බව හඳුනාගැනීම: රේඛීය චලිතයේ "සෘජු බව" සහතික කිරීම
නිරවද්‍ය චලනය වන කොටස් රැගෙන යන වේදිකා සඳහා, සෘජු බව ඉතා වැදගත් වේ. හඳුනා ගැනීම සඳහා පොදු ක්‍රම වන්නේ වයර් ක්‍රමය හෝ ලේසර් කොලිමේටරයයි. වයර් ක්‍රමයට ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් වානේ වයර් අත්හිටුවීම සහ වේදිකා මතුපිට සහ වානේ වයර් අතර පරතරය සංසන්දනය කිරීම සෘජු බව තීරණය කිරීම ඇතුළත් වේ. වේදිකා මාර්ගෝපදේශක දුම්රියේ ස්ථාපන මතුපිට රේඛීය දෝෂය හඳුනා ගැනීම සඳහා ලේසර් කොලිමේටරය ලේසර්හි රේඛීය ප්‍රචාරණ ලක්ෂණ භාවිතා කරයි. සෘජු බව ප්‍රමිතියට අනුකූල නොවන්නේ නම්, එය චලනය අතරතුර උපකරණ මාරු කිරීමට හේතු වන අතර එය සැකසීම හෝ මිනුම් නිරවද්‍යතාවයට බලපායි.
3. මතුපිට රළුබව හඳුනාගැනීම: ස්පර්ශයේ "සියුම් බව" සහතික කිරීම
වේදිකාවේ මතුපිට රළුබව සංරචක ස්ථාපනයේ ගැළපුමට බලපායි. සාමාන්‍යයෙන්, හඳුනාගැනීම සඳහා ස්ටයිලස් රළුබව මීටරයක් හෝ දෘශ්‍ය අන්වීක්ෂයක් භාවිතා කරයි. ස්ටයිලස් වර්ගයේ උපකරණය, සියුම් පරීක්ෂණයක් සමඟ වේදිකා මතුපිට ස්පර්ශ කිරීමෙන් අන්වීක්ෂීය පැතිකඩෙහි උස වෙනස්වීම් වාර්තා කරයි. දෘශ්‍ය අන්වීක්ෂවලට මතුපිට වයනය කෙලින්ම නිරීක්ෂණය කළ හැකිය. ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් යෙදුම්වලදී, ග්‍රැනයිට් වේදිකාවල මතුපිට රළුබව Ra≤0.05μm හි පාලනය කළ යුතු අතර, එය කැඩපතක් වැනි ආචරණයකට සමාන වන අතර, ස්ථාපනය අතරතුර නිරවද්‍ය සංරචක තදින් ගැළපෙන බව සහතික කරන අතර හිඩැස් නිසා ඇතිවන කම්පනය හෝ විස්ථාපනය වළක්වයි.
නිරවද්‍යතා ප්‍රමිතීන් අනුගමනය කරන්නේ: ජාත්‍යන්තර සම්මතයන් සහ ව්‍යවසායයේ අභ්‍යන්තර පාලනය
වර්තමානයේ, ජාත්‍යන්තරව, ග්‍රැනයිට් වේදිකා වල නිරවද්‍යතාවය තීරණය කිරීම සඳහා පදනම ලෙස ISO 25178 සහ GB/T 24632 ප්‍රමිතීන් බහුලව භාවිතා වන අතර, පැතලි බව සහ සෘජු බව වැනි දර්ශක සඳහා පැහැදිලි වර්ගීකරණයන් ඇත. ඊට අමතරව, ඉහළ මට්ටමේ නිෂ්පාදන ව්‍යවසායන් බොහෝ විට වඩාත් දැඩි අභ්‍යන්තර පාලන ප්‍රමිතීන් නියම කරයි. නිදසුනක් ලෙස, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයේ ග්‍රැනයිට් වේදිකාව සඳහා පැතලි බව අවශ්‍යතාවය ජාත්‍යන්තර ප්‍රමිතියට වඩා 30% කින් වැඩි ය. පරීක්ෂණ සිදු කරන විට, මනින ලද දත්ත අනුරූප ප්‍රමිතීන් සමඟ සැසඳිය යුතුය. නිරවද්‍ය උපකරණවල ස්ථාවර කාර්ය සාධනය සහතික කළ හැක්කේ ප්‍රමිතීන්ට සම්පූර්ණයෙන්ම අනුකූල වන වේදිකාවලට පමණි.
ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා වේදිකා වල නිරවද්‍යතාවය පරීක්ෂා කිරීම ක්‍රමානුකූල ව්‍යාපෘතියකි. පැතලි බව, සෘජු බව සහ මතුපිට රළුබව වැනි මූලික දර්ශක දැඩි ලෙස පරීක්ෂා කිරීමෙන් සහ ජාත්‍යන්තර සහ ව්‍යවසාය ප්‍රමිතීන්ට අනුකූල වීමෙන් පමණක්, වේදිකාවේ ඉහළ නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කළ හැකි අතර, අර්ධ සන්නායක සහ නිරවද්‍යතා උපකරණ වැනි ඉහළ මට්ටමේ නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍ර සඳහා ශක්තිමත් පදනමක් සකසයි.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 මැයි-21