ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම එහි අද්විතීය ගුණාංග නිසා වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා කිරීමට කදිම ද්‍රව්‍යයකි. ග්‍රැනයිට් යනු ඉතා ඉහළ ඝනත්වයක් ඇති ස්වාභාවික ගලක් වන අතර එය කම්පන සහ කම්පන වලට අතිශයින් ශක්තිමත් සහ ප්‍රතිරෝධී වේ. ග්‍රැනයිට් විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාවයක් ද ඇති අතර, එය වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා ඉතා වැදගත් වේ, මන්ද ඉහළ උෂ්ණත්වයන් යන්ත්‍රෝපකරණ විකෘති කිරීමට හෝ විරූපණයට හේතු විය හැක.
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම භාවිතා කිරීමේදී, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය වැදගත් සලකා බැලීමකි. ග්‍රැනයිට් පාදම නිසි ලෙස මට්ටම් කර ඇති බවත් මානයන් අනුව ස්ථාවර බවත් සහතික කිරීම සඳහා නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ ශිල්පීය ක්‍රම තිබීම ඉතා වැදගත් වේ. තවද, පාදමේ ආවේණික නැමීමක් හෝ විරූපණයක් නොමැති බව සහතික කිරීම සඳහා සූක්ෂම පරීක්ෂණ ක්‍රියාවලියක් අවශ්‍ය වේ.
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් භාවිතා කිරීමෙන් වාසි කිහිපයක් තිබේ. පළමුව, ඉහළ ඝනත්ව වේශ නිරූපණය විශිෂ්ට ස්ථාවරත්වයක් ලබා දෙන අතර වේෆර් සැකසීමේදී බාධා ඇති කළ හැකි කම්පන අඩු කරයි. වේෆර් සකසන විට, සුළු කම්පන පවා දෝෂ ඇති කළ හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස සැලකිය යුතු නාස්තියක් සහ උප-ප්‍රශස්ත ප්‍රතිදානයක් ඇති වේ. ග්‍රැනයිට් පදනම මෙම ගැටළු සඳහා කදිම විසඳුමක් ලබා දෙයි.
දෙවනුව, ග්‍රැනයිට් වල තාප ස්ථායිතාව වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල විශාල වාසියකි. එමඟින් යන්ත්‍රෝපකරණ ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ගෙන් හෝ වේෆර් හැසිරවීමේදී සිදුවන ඕනෑම වෙනස්කමකින් බලපෑමට ලක් නොවන බව හෝ වෙනස් නොවන බව සහතික කරයි. පුළුල් උෂ්ණත්ව පරාසය යන්ත්‍රෝපකරණ ස්ථාවරව හා නිරවද්‍යව තබා ගැනීමට උපකාරී වන අතර එය අත්‍යවශ්‍ය වේ.
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම භාවිතා කිරීමේ තවත් වාසියක් වන්නේ සීරීම්, විඛාදනයට සහ සීරීම් වලට එහි ප්‍රතිරෝධයයි. ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම විඛාදනයට ලක් නොවන අතර වේෆර් සැකසීමේදී පවතින කටුක රසායනික පරිසරයන්ට ඔරොත්තු දිය හැකිය. මලකඩ අවදානමක් නොමැති අතර, එහි කල්පැවැත්ම දිගුකාලීන භාවිතය සහතික කරයි.
අවසාන වශයෙන්, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් විශිෂ්ට නිරවද්‍යතාවයක් ලබා දෙන අතර එය වේෆර් සැකසීමේදී වැදගත් වේ. ද්‍රව්‍යයේ ඉහළ ඝනත්වය යනු එය විරූපණයට ඉහළ ප්‍රතිරෝධයක් ඇති බවයි, එමඟින් උපකරණ සැකසීමේදී නැමෙන්නේ හෝ චලනය නොවන බව සහතික කරයි. යන්ත්‍රෝපකරණවල වැඩි ස්ථායිතාව දෝෂ කිහිපයක් සහිත වඩාත් නිරවද්‍ය කොටස් බවට පරිවර්තනය වන අතර එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස උසස් තත්ත්වයේ අවසාන නිෂ්පාදනයක් ලැබේ.
අවසාන වශයෙන්, වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම භාවිතා කිරීම ප්‍රතිදානය වැඩි දියුණු කිරීමට, නාස්තිය අවම කිරීමට, දිගුකාලීන කල්පැවැත්ම සහතික කිරීමට, විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධය දැක්වීමට සහ නිරවද්‍යතාවය සැපයීමට උපකාරී වේ. මෙම විශේෂාංගවල සංයෝජනය වේෆර් කාර්යක්ෂමව සැකසීමට සහ සමස්ත නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය සුමටව ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීමට අත්‍යවශ්‍ය වේ. එබැවින්, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා විශිෂ්ට ද්‍රව්‍ය තේරීමක් වන අතර, ඵලදායිතාව සහතික කරන අතර වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල විභවය උපරිම කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-28-2023