ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍ය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන්නේ ඒවායේ ඉහළ ස්ථායිතාව, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ විඛාදනයට ඉහළ ප්‍රතිරෝධය වැනි විශිෂ්ට ලක්ෂණ නිසාය. මෙම ගුණාංග වේෆර් හුවමාරු පද්ධතියක ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් සංරචක ගොඩනැගීම සඳහා ග්‍රැනයිට් කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ විවිධ අවධීන් හරහා වේෆර් ප්‍රවාහනය කිරීමේදී වේෆර් හුවමාරු පද්ධතිය තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. සුළු අපගමනයන් පවා සමස්ත ක්‍රියාවලියම අනතුරේ හෙළීමට හේතු විය හැකි බැවින් මෙම පද්ධති සඳහා නිරවද්‍යතාවය සහ නිරවද්‍යතාවය අත්‍යවශ්‍ය අවශ්‍යතා වේ. එබැවින්, වේෆර් හුවමාරු පද්ධතියේ සංරචක උසස් තත්ත්වයේ ද්‍රව්‍ය වලින් සෑදිය යුතු අතර, ග්‍රැනයිට් එම නිර්ණායක සපුරාලයි.
ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍ය වලින් සාදන ලද වේෆර් හුවමාරු පද්ධතියේ සමහර කොටස් අතරට:
1. රික්ත චක් මේසය
රික්ත චක් මේසය ක්‍රියාවලිය අතරතුර වේෆරය රඳවා තබා ගැනීම සඳහා භාවිතා කරන අතර වේෆරයට හානි නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා එයට ස්ථාවර මතුපිටක් තිබිය යුතුය. ග්‍රැනයිට් මෙම මේසය සෑදීම සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් වන්නේ එහි ඉහළ ස්ථායිතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් ලබා දෙන පැතලි, සිදුරු සහිත නොවන මතුපිටක් ඇති බැවිනි. ඊට අමතරව, ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණයේ අඩු සංගුණකයක් ඇති අතර එමඟින් වේෆරයේ මාන වෙනස්කම් ඇති කළ හැකි උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් වලට ප්‍රතිරෝධී වේ.
2. වායු දරණ අදියර
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ විවිධ අවධීන් හරහා වේෆරය ප්‍රවාහනය කිරීම සඳහා වාතය දරණ අදියර භාවිතා කරයි. ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ ස්ථාවරත්වයක් අවශ්‍ය වන ඝර්ෂණ රහිත චලනයක් සැපයීම සඳහා අදියර නිර්මාණය කර ඇත. මෙම යෙදුමේදී ග්‍රැනයිට් භාවිතා කරනුයේ එය දෘඩ හා තද ගලක් වන අතර කාලයත් සමඟ විරූපණයට හා ඇඳීමට ප්‍රතිරෝධී වන බැවිනි.
3. රේඛීය චලන මාර්ගෝපදේශ
රේඛීය චලන මාර්ගෝපදේශ වායු-දරණ අදියර මෙහෙයවීම සඳහා භාවිතා කරන අතර, දෝෂ අවම කිරීම සඳහා ඒවා නිවැරදිව ස්ථානගත කළ යුතුය. මෙම මාර්ගෝපදේශය ගොඩනැගීම සඳහා ග්‍රැනයිට් භාවිතා කරනුයේ එයට විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ස්ථාවරත්වයක් සහ ශක්තියක් ඇති බැවිනි. මෙම ද්‍රව්‍යය විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වන අතර එමඟින් මාර්ගෝපදේශ පද්ධතියේ කල්පැවැත්ම සහතික කෙරේ.
4. මිනුම් විද්‍යා උපකරණ
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆරයේ මානයන් සහ ගුණාංග මැනීම සඳහා මිනුම් විද්‍යා උපකරණ භාවිතා කරයි. ග්‍රැනයිට් මෙම උපකරණ තැනීම සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් වන්නේ එහි ඉහළ දෘඩතාව, අඩු ප්‍රසාරණය සහ බර යටතේ අවම විරූපණයක් ඇති බැවිනි. එපමණක් නොව, ග්‍රැනයිට් වල තාප ස්ථායිතාව මිනුම් විද්‍යා උපකරණ කාලයත් සමඟ ස්ථාවරව හා නිවැරදිව පවතින බව සහතික කරයි.
අවසාන වශයෙන්, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය නිරවද්‍යතාවය සහ නිරවද්‍යතාවය මත රඳා පවතින අතර, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍ය ඉතා විශ්වාසදායක සහ ස්ථායී බව ඔප්පු වී ඇත. වේෆර් හුවමාරු පද්ධතියේ බොහෝ තීරණාත්මක සංරචක සඳහා ඉහළ ස්ථායිතාව, නිරවද්‍යතාවය සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණය අවශ්‍ය වන බැවින්, ඉංජිනේරුවන් මෙම තීරණාත්මක අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍ය වෙත යොමු වී ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-19-2024