ග්‍රැනයිට් ඇඳ විවිධ අර්ධ සන්නායක උපාංගවල වැදගත් අංගයකි. ඉතා ස්ථායී සහ දෘඩ ද්‍රව්‍යයක් ලෙස, ග්‍රැනයිට් අර්ධ සන්නායක සැකසුම් උපකරණ සඳහා පදනමක් ලෙස බහුලව භාවිතා වේ. එය එහි අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය, ඉහළ මාන ස්ථායිතාව සහ විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ගුණාංග මගින් සංලක්ෂිත වේ. මෙම ගුණාංග නිසා, ග්‍රැනයිට් ඇඳ බහුලව භාවිතා වන්නේ විවිධ වර්ගයේ අර්ධ සන්නායක උපාංග තුනක ය - මිනුම් විද්‍යා උපකරණ, ලිතෝග්‍රැෆි උපකරණ සහ පරීක්ෂණ උපකරණ.
අර්ධ සන්නායක උපාංගවල තීරණාත්මක මානයන් මැනීමට සහ හඳුනා ගැනීමට මිනුම් විද්‍යා උපකරණ භාවිතා කරයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ ගුණාත්මකභාවය සහ අනුකූලතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා එය තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. මිනුම් විද්‍යා උපකරණවලට දෘශ්‍ය අන්වීක්ෂ, ඉලෙක්ට්‍රෝන අන්වීක්ෂ සහ පරමාණුක බල අන්වීක්ෂ (AFM) වැනි උපකරණ ඇතුළත් වේ. මෙම මිනුම් උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වය ඒවායේ ස්ථායිතාව, නිරවද්‍යතාවය සහ කම්පන ප්‍රතිරෝධය මත රඳා පවතින බැවින්, ග්‍රැනයිට් ඒවායේ ඇඳ ද්‍රව්‍ය සඳහා කදිම තේරීම වේ. ග්‍රැනයිට් ඇඳෙහි ඒකාකාරිත්වය සහ ස්ථායිතාව උපකරණ සඳහා ස්ථාවර වේදිකාවක් සපයන අතර එමඟින් ඒවායේ නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු වේ.
වේෆරයේ මයික්‍රොචිප් රටා සෑදීම සඳහා ලිතෝග්‍රැෆි උපකරණ භාවිතා කරයි. සංකීර්ණ පරිපථ නිර්මාණය කිරීමට සහ චිප ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියට ඉහළ මට්ටමේ නිරවද්‍යතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වේ. ලිතෝග්‍රැෆි උපකරණවලට වේෆරයට රූප මාරු කිරීම සඳහා ආලෝකය භාවිතා කරන ස්ටෙපර් සහ ස්කෑනර් පද්ධති ඇතුළත් වේ. ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලිය කම්පනය සහ තාප වෙනස්වීම් වලට ඉතා සංවේදී බැවින්, ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියේ ස්ථායිතාව සහ පුනරාවර්තන හැකියාව සහතික කිරීම සඳහා උසස් තත්ත්වයේ ඇඳක් අත්‍යවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් ඇඳන් ලිතෝග්‍රැෆි පද්ධති සඳහා අවශ්‍ය ස්ථායිතාව සහ දැඩි කම්පන තෙතමනය කිරීමේ කාර්ය සාධනය සපයයි. ග්‍රැනයිට් ඇඳ ස්ටෙපර් හෝ ස්කෑනර් පද්ධතියට ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ අවසාන නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය සහතික කරමින් නිරවද්‍ය අවකාශීය සම්බන්ධතා පවත්වා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.
අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ඇති ඕනෑම දෝෂයක් හඳුනා ගැනීම සඳහා පරීක්ෂණ උපකරණ භාවිතා කරයි. පරීක්ෂණ උපකරණවලට ලේසර් ස්කෑනිං අන්වීක්ෂ, ඉලෙක්ට්‍රෝන අන්වීක්ෂ සහ දෘශ්‍ය අන්වීක්ෂ වැනි පද්ධති ඇතුළත් වේ. මෙම උපාංග ඉතා නිවැරදි, ස්ථායී සහ කම්පන-ප්‍රතිරෝධී වීමට අවශ්‍යතාවය ඇතිව, ග්‍රැනයිට් ඇඳන් පරිපූර්ණ ද්‍රව්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් වල යාන්ත්‍රික ගුණාංග සහ මාන ස්ථායිතාව කම්පන හුදකලා කිරීමට උපකාරී වන අතර එමඟින් පරීක්ෂණ උපකරණවල ප්‍රතිදානයේ නිරවද්‍යතාවය වැඩි දියුණු වේ.
අවසාන වශයෙන්, ග්‍රැනයිට් ඇඳ අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයට ඉතා වැදගත් වන අතර විවිධ වර්ගයේ උපකරණවල බහුලව භාවිතා වේ. මාන ස්ථායිතාව, අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සහ විශිෂ්ට යාන්ත්‍රික ස්ථායිතාව වැනි එහි අද්විතීය ගුණාංග නිසා අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඇඳ ද්‍රව්‍ය සඳහා ග්‍රැනයිට් කදිම තේරීමක් වේ. උසස් තත්ත්වයේ ග්‍රැනයිට් ඇඳ අර්ධ සන්නායක උපකරණ සඳහා අවශ්‍ය ස්ථායිතාව, නිරවද්‍යතාවය සහ කම්පන ප්‍රතිරෝධය සපයන බැවින්, එය අවසානයේ අවසාන නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරයි. එබැවින්, අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්‍රැනයිට් ඇඳ භාවිතය ඉදිරි වසර ගණනාව තුළ දිගටම පවතිනු ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: 2024 අප්‍රේල්-03