අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන දාමයේ නිරවද්‍යතාවය තුළ, වේෆර් හුවමාරු පද්ධතිය "චිප් නිෂ්පාදන රේඛාවේ ජීවන රේඛාව" වැනි වන අතර, එහි ස්ථායිතාව සහ නිරවද්‍යතාවය චිප්ස් වල අස්වැන්න අනුපාතය කෙලින්ම තීරණය කරයි. නව පරම්පරාවේ වේෆර් හුවමාරු පද්ධති විප්ලවීය ලෙස රේඛීය මෝටර ග්‍රැනයිට් පාද සමඟ ඒකාබද්ධ කරන අතර, ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍යවල අද්විතීය වාසි වන්නේ ඉහළ කාර්ය සාධන සම්ප්‍රේෂණය අගුළු ඇරීමට නිශ්චිතවම මූලික කේතයයි.
ග්‍රැනයිට් පාදම: ස්ථාවර සම්ප්‍රේෂණය සඳහා "පාෂාණමය-ඝන අත්තිවාරමක්" ගොඩනැගීම.
වසර මිලියන සිය ගණනක භූ විද්‍යාත්මක පිරිපහදුවකට භාජනය වූ ග්‍රැනයිට්, ඝන සහ ඒකාකාර අභ්‍යන්තර ඛනිජ ස්ඵටිකීකරණයක් දක්වයි. මෙම ස්වාභාවික ලක්ෂණය එය වේෆර් හුවමාරු පද්ධති සඳහා කදිම පාදක ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි. අර්ධ සන්නායක පිරිසිදු කාමරවල සංකීර්ණ පරිසරය තුළ, එහි අතිශය අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (5-7 × 10⁻⁶/℃ පමණි) සහිත ග්‍රැනයිට්, උපකරණ ක්‍රියාකාරිත්වය අතරතුර ජනනය වන තාපයට සහ පාරිසරික උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම්වල බලපෑමට ප්‍රතිරෝධය දැක්විය හැකි අතර, පාදක ප්‍රමාණයේ ස්ථායිතාව සහතික කරන අතර තාප විරූපණය නිසා ඇතිවන සම්ප්‍රේෂණ මාර්ග අපගමනය වළක්වයි. එහි කැපී පෙනෙන කම්පන තෙතමනය කිරීමේ ක්‍රියාකාරිත්වය මඟින් රේඛීය මෝටර ආරම්භ කිරීම, වසා දැමීම සහ ත්වරණය කිරීමේදී ජනනය වන යාන්ත්‍රික කම්පන මෙන්ම වැඩමුළුවේ අනෙකුත් උපකරණ ක්‍රියාත්මක වීමෙන් ගෙන එන බාහිර බාධා ඉක්මනින් අවශෝෂණය කර ගත හැකි අතර, වේෆර් සම්ප්‍රේෂණය සඳහා "ශුන්‍ය සෙලවීම" සහිත ස්ථාවර වේදිකාවක් සපයයි.
මේ අතර, ග්‍රැනයිට් වල රසායනික ස්ථායිතාව, අම්ල සහ ක්ෂාර ප්‍රතික්‍රියාකාරක වාෂ්පශීලී වන අතර ඉහළ පිරිසිදුකමක් අවශ්‍ය වන අර්ධ සන්නායක වැඩමුළු වලදී එය විඛාදනයට හෝ මලකඩ නොයන බව සහතික කරයි, එමඟින් ද්‍රව්‍ය වයසට යාම හෝ දූෂක අවශෝෂණය හේතුවෙන් සම්ප්‍රේෂණ නිරවද්‍යතාවයට ඇති බලපෑම වළක්වයි. සුමට හා ඝන මතුපිට ලක්ෂණ දූවිලි ඇලවීම වඩාත් ඵලදායී ලෙස අඩු කළ හැකි අතර, පිරිසිදු කාමරවල දැඩි දූවිලි-නිදහස් ප්‍රමිතීන් සපුරාලන අතර මූලයෙන් වේෆර් දූෂණය වීමේ අවදානම ඉවත් කරයි.
රේඛීය මෝටර සහ ග්‍රැනයිට් වල "රන් හවුල්කාරිත්වයේ" බලපෑම
යාන්ත්‍රික සම්ප්‍රේෂණ නිෂ්කාශනයක් නොමැති වීම, ඉහළ ත්වරණය සහ ඉහළ ප්‍රතිචාර වේගය යන ලක්ෂණ සහිත රේඛීය මෝටර, වේෆර් සම්ප්‍රේෂණයට "වේගවත්, නිවැරදි සහ ස්ථාවර" වාසි ලබා දෙයි. ග්‍රැනයිට් පදනම ඒ සඳහා ඝන සහ විශ්වාසදායක ආධාරක වේදිකාවක් සපයයි. කාර්ය සාධනයේ පිම්මක් ලබා ගැනීම සඳහා දෙකම එකට ක්‍රියා කරයි. රේඛීය මෝටරය වේෆර් වාහකය ග්‍රැනයිට් පාදක ධාවන පථයේ ධාවනය කිරීමට ධාවනය කරන විට, පාදයේ ශක්තිමත් දෘඩතාව සහ ස්ථායිතාව මෝටර් ගාමක බලයේ කාර්යක්ෂම සම්ප්‍රේෂණය සහතික කරයි, පාදම විරූපණය නිසා ඇතිවන බලය නැතිවීම හෝ සම්ප්‍රේෂණ ප්‍රමාදය වළක්වයි.
නැනෝ පරිමාණ නිරවද්‍යතාවය සඳහා ඇති ඉල්ලුම නිසා, රේඛීය මෝටරවලට උප-මයික්‍රෝන මට්ටමේ විස්ථාපන පාලනයක් ලබා ගත හැකිය. ග්‍රැනයිට් පාදවල ඉහළ-නිරවද්‍යතා සැකසුම් ලක්ෂණ (±1μm තුළ පාලනය වන පැතලි බව පිළිබඳ දෝෂ සහිතව) රේඛීය මෝටරවල නිරවද්‍ය පාලනයට පරිපූර්ණ ලෙස ගැලපේ, වේෆර් සම්ප්‍රේෂණය අතරතුර ස්ථානගත කිරීමේ දෝෂය ±5μm ට වඩා අඩු බව ඒකාබද්ධව සහතික කරයි. එය විවිධ ක්‍රියාවලි උපකරණ අතර අධිවේගී ෂටල් කිරීම හෝ වේෆර් භාරදීම සඳහා නිශ්චිත වාහන නැවැත්වීම වේවා, රේඛීය මෝටර සහ ග්‍රැනයිට් පාදවල සංයෝජනය වේෆර් සම්ප්‍රේෂණයේදී "ශුන්‍ය අපගමනය සහ ශුන්‍ය කම්පනය" සහතික කළ හැකිය.
කර්මාන්ත පරිචය සත්‍යාපනය: කාර්යක්ෂමතාවයේ සහ අස්වැන්න අනුපාතයේ ද්විත්ව වැඩිදියුණු කිරීම
එහි වේෆර් හුවමාරු පද්ධතිය වැඩිදියුණු කිරීමෙන් පසු, ප්‍රමුඛ පෙළේ ගෝලීය අර්ධ සන්නායක ව්‍යවසායක් රේඛීය මෝටර + ග්‍රැනයිට් පාදක විසඳුමක් භාවිතා කළ අතර, එමඟින් වේෆර් හුවමාරු කාර්යක්ෂමතාව 40% කින් වැඩි කරන ලදී, මාරු කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී ගැටීම සහ ඕෆ්සෙට් කිරීම වැනි දෝෂ ඇතිවීමේ අනුපාතය 85% කින් අඩු කරන ලදී, සහ චිප්ස් වල සමස්ත අස්වැන්න අනුපාතය 6% කින් වැඩි දියුණු කරන ලදී. දත්ත පිටුපස ඇත්තේ ග්‍රැනයිට් පදනම මගින් සපයන සම්ප්‍රේෂණ ස්ථායිතාවයේ සහතිකය සහ රේඛීය මෝටරයේ අධිවේගී සහ නිරවද්‍ය සහජීවන බලපෑම වන අතර එමඟින් වේෆර් සම්ප්‍රේෂණ ක්‍රියාවලියේ අලාභය සහ දෝෂය සැලකිය යුතු ලෙස අඩු කරයි.
ද්‍රව්‍යමය ගුණාංගවල සිට නිරවද්‍ය නිෂ්පාදනය දක්වා, කාර්ය සාධන වාසිවල සිට ප්‍රායෝගික සත්‍යාපනය දක්වා, රේඛීය මෝටර සහ ග්‍රැනයිට් පාදවල සංයෝජනය වේෆර් හුවමාරු පද්ධතිවල ප්‍රමිතීන් නැවත අර්ථ දක්වා ඇත. අනාගතයේදී අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණය 3nm සහ 2nm ක්‍රියාවලීන් කරා ඉදිරියට යන විට, ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍ය නිසැකවම ඒවායේ ප්‍රතිස්ථාපනය කළ නොහැකි වාසි සමඟ කර්මාන්තයේ සංවර්ධනයට ශක්තිමත් තල්ලුවක් ලබා දෙනු ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-14-2025