අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, වේෆර් පරීක්ෂාව චිපයේ ගුණාත්මකභාවය සහ ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම සඳහා ප්‍රධාන සබැඳියක් වන අතර, පරීක්ෂණ වගුවේ නිරවද්‍යතාවය සහ ස්ථායිතාව හඳුනාගැනීමේ ප්‍රතිඵලවල තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. එහි අද්විතීය ලක්ෂණ සහිත ග්‍රැනයිට් පදනම, අර්ධ සන්නායක වේෆර් පරීක්ෂණ වගුව සඳහා කදිම තේරීමක් බවට පත්වේ, ඔබ සඳහා බහු-මාන විශ්ලේෂණයෙන් පහත දැක්වේ.
පළමුව, නිරවද්‍යතා සහතික මානය
1. අතිශය ඉහළ පැතලි බව සහ සෘජු බව: ග්‍රැනයිට් පාදය උසස් සැකසුම් තාක්ෂණය භාවිතයෙන් සකසනු ලබන අතර, සමතලා බව ±0.001mm/m හෝ ඊටත් වඩා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකට ළඟා විය හැකි අතර, සෘජු බව ද විශිෂ්ටයි. වේෆර් පරීක්ෂණ ක්‍රියාවලියේදී, ඉහළ නිරවද්‍යතා තලය වේෆර් සඳහා ස්ථායී ආධාරකයක් සපයන අතර පරීක්ෂණ උපකරණවල පරීක්ෂණය සහ වේෆර් මතුපිට ඇති පෑස්සුම් සන්ධි අතර නිවැරදි සම්බන්ධතාවය සහතික කරයි.
2. තාප ප්‍රසාරණයේ ඉතා අඩු සංගුණකය: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් වලට සංවේදී වන අතර, ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණයේ සංගුණකය අතිශයින් අඩුය, සාමාන්‍යයෙන් 5×10⁻⁶/℃ පමණ වේ. හඳුනාගැනීමේ වේදිකාව ක්‍රියාත්මක වන විට, පරිසර උෂ්ණත්වය උච්චාවචනය වුවද, ග්‍රැනයිට් පාදයේ ප්‍රමාණය ඉතා සුළු වශයෙන් වෙනස් වේ. නිදසුනක් ලෙස, ගිම්හානයේදී ඉහළ උෂ්ණත්ව වැඩමුළුවේදී, පොදු ලෝහ පාදක හඳුනාගැනීමේ වේදිකාවේ උෂ්ණත්වය වේෆරයේ සහ හඳුනාගැනීමේ උපකරණවල සාපේක්ෂ පිහිටීම මාරු වීමට හේතු විය හැකි අතර, එය හඳුනාගැනීමේ නිරවද්‍යතාවයට බලපායි; ග්‍රැනයිට් පාදක හඳුනාගැනීමේ වේදිකාවට ස්ථායිතාව පවත්වා ගැනීමට, හඳුනාගැනීමේ ක්‍රියාවලියේදී වේෆරයේ සහ හඳුනාගැනීමේ උපකරණවල සාපේක්ෂ ස්ථාන නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීමට සහ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් හඳුනාගැනීම සඳහා ස්ථාවර පරිසරයක් සැපයිය හැකිය.
දෙවනුව, ස්ථායිතා මානය
1. ස්ථායී ව්‍යුහය සහ කම්පන ප්‍රතිරෝධය: වසර මිලියන ගණනක භූ විද්‍යාත්මක ක්‍රියාවලීන්ගෙන් පසු ග්‍රැනයිට්, අභ්‍යන්තර ව්‍යුහය ඝන සහ ඒකාකාරී වේ. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්ත ශාලාවක සංකීර්ණ පරිසරය තුළ, පර්යන්ත උපකරණ සහ පිරිස් එහා මෙහා ඇවිදින විට ක්‍රියාත්මක වීමෙන් ජනනය වන කම්පනය ග්‍රැනයිට් පාදම මගින් ඵලදායී ලෙස දුර්වල වේ.
2. දිගුකාලීන භාවිත නිරවද්‍යතාවය: අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය හා සසඳන විට, ග්‍රැනයිට් ඉහළ දෘඪතාවක්, ශක්තිමත් ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධයක් ඇති අතර, Mohs දෘඪතාව 6-7 දක්වා ළඟා විය හැකිය. නිතර වේෆර් පැටවීම, බෑම සහ පරීක්ෂණ මෙහෙයුම් වලදී ග්‍රැනයිට් පාදක මතුපිට පහසුවෙන් පැළඳිය නොහැක. දත්ත සංඛ්‍යාලේඛනවල සත්‍ය භාවිතයට අනුව, ග්‍රැනයිට් පාදක පරීක්ෂණ වගුව භාවිතා කිරීම, පැය 5000 කට පසු අඛණ්ඩව ක්‍රියාත්මක වීම, පැතලි බව සහ සෘජු බව නිරවද්‍යතාවය තවමත් ආරම්භක නිරවද්‍යතාවයෙන් 98% කට වඩා පවත්වා ගත හැකිය, නිතිපතා ක්‍රමාංකනය සහ නඩත්තු කාලයන් නිසා ඇතිවන පාදම ඇඳීම නිසා උපකරණ අඩු කිරීම, ව්‍යාපාර මෙහෙයුම් පිරිවැය අඩු කිරීම, පරීක්ෂණ කාර්යයේ දිගුකාලීන ස්ථාවරත්වය සහතික කිරීම සඳහා.
තෙවනුව, පිරිසිදු සහ බාධා-විරෝධී මානය
1. අඩු දූවිලි උත්පාදනය: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පරිසරය ඉතා පිරිසිදු විය යුතු අතර, ග්‍රැනයිට් ද්‍රව්‍යයම ස්ථායී වන අතර දූවිලි අංශු නිපදවීමට පහසු නොවේ. පරීක්ෂණ වේදිකාවේ ක්‍රියාකාරිත්වය අතරතුර, වේෆරය දූෂණය කිරීම සඳහා පාදම මගින් ජනනය වන දූවිලි වළක්වා ඇති අතර, දූවිලි අංශු නිසා ඇතිවන කෙටි පරිපථ සහ විවෘත පරිපථ අවදානම අඩු වේ. දූවිලි-නිදහස් වැඩමුළුවේ වේෆර් පරීක්ෂණ ප්‍රදේශය තුළ, ග්‍රැනයිට් පාදක පරීක්ෂණ මේසය වටා ඇති දූවිලි සාන්ද්‍රණය සෑම විටම අතිශයින් අඩු මට්ටමකට පාලනය වන අතර, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දැඩි පිරිසිදුකම අවශ්‍යතා සපුරාලයි.
2. චුම්භක මැදිහත්වීම් නොමැත: හඳුනාගැනීමේ උපකරණ විද්‍යුත් චුම්භක පරිසරයට සංවේදී වන අතර ග්‍රැනයිට් යනු චුම්භක නොවන ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය හඳුනාගැනීමේ උපකරණවල ඉලෙක්ට්‍රොනික සංඥාවට බාධා නොකරයි. අතිශය ඉහළ විද්‍යුත් චුම්භක පරිසරයක් අවශ්‍ය වන ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ හඳුනාගැනීමේ සහ අනෙකුත් පරීක්ෂණ තාක්ෂණයන් භාවිතා කිරීමේදී, ග්‍රැනයිට් පදනම හඳුනාගැනීමේ උපකරණවල ඉලෙක්ට්‍රොනික සංඥාවේ ස්ථායී සම්ප්‍රේෂණය සහතික කරන අතර පරීක්ෂණ ප්‍රතිඵලවල නිරවද්‍යතාවය සහතික කරයි. නිදසුනක් ලෙස, වේෆරය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් විද්‍යුත් ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා පරීක්ෂා කරන විට, චුම්භක නොවන ග්‍රැනයිට් පදනම හඳුනාගැනීමේ ධාරාව සහ වෝල්ටීයතා සංඥා සමඟ ඇඟිලි ගැසීම් වළක්වයි, එවිට හඳුනාගැනීමේ දත්ත සැබවින්ම වේෆර් විද්‍යුත් ලක්ෂණ පිළිබිඹු කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-31-2025