ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රෝන හා අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා වේෆර් සැකසුම් උපකරණ භාවිතා කරයි. මෙම වර්ගයේ උපකරණවල කළුගල් සංරචක ඇතුළු සංරචක කිහිපයක් අඩංගු වේ. ග්රැනයිට් යනු එහි යාන්ත්රික ස්ථායිතාව, රසායනික ප්රතිරෝධය සහ මානයන් ස්ථායිතාව හේතුවෙන් අර්ධ සන්නායක සැකසුම් උපකරණ නිෂ්පාදනය කිරීමේදී භාවිතා කර ඇති බහුකාර්ය ද්රව්යයකි. මෙම ලිපියෙන් වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල කළුගල් සංරචක භාවිතා කිරීමේ වාසි සහ අවාසි සාකච්ඡා කරනු ඇත.
වාසි:
1. යාන්ත්රික ස්ථායිතාව: විශේෂයෙන් ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී ග්රැනයිට් සංරචක ඉතා ස්ථායී වේ. මෙය ඉහළ උෂ්ණත්වවලදී ක්රියාත්මක වන වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතය සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. ග්රැනයිට් සංරචක විරූපණයකින් තොරව අධික බර, කම්පන සහ තාප කම්පන ඔරොත්තු දිය හැකිය, එය ඉහළ නිරවද්යතාවයක් හා නිරවද්යතාවයක් සහතික කරයි.
2. රසායනික ප්රතිරෝධය: අම්ල, පදනම් සහ ද්රාවක ඇතුළුව වේෆර් සැකසුම් වල බහුලව භාවිතා වන බොහෝ රසායනික ද්රව්යවලට ග්රැනයිට් ප්රතිරෝධී වේ. මෙමඟින් උපකරණ සංරචක වලට හානි නොකර විඛාදන කාණ්ඩයන් හැසිරවීමට වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සක්රීය කරයි.
3. මානයන් ස්ථායිතාව: ග්රැනයිට් සංරචකවල ඉහළ මානයන් ස්ථායිතාවයක් ඇති අතර එයින් අදහස් වන්නේ උෂ්ණත්වය හා ආර්ද්රතාවය වැනි පාරිසරික වෙනස්කම් නොතකා ඒවා හැඩය සහ ප්රමාණය පවත්වාගෙන යාමයි. වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා මෙය ඉතා වැදගත් වන අතර එය සැකසීමේදී ඉහළ මට්ටමේ නිරවද්යතාවයක් පවත්වා ගත යුතුය.
4. තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකය: ග්රැනයිට් තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකයක් ඇති අතර එයින් අදහස් වන්නේ උෂ්ණත්ව වෙනස්කම් වලට නිරාවරණය වන විට එය පුළුල් කිරීම හෝ සැලකිය යුතු ලෙස සම්බන්ධ වීමයි. මෙය ඉහළ උෂ්ණත්වයකට නිරාවරණය වන වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා එය පරිපූර්ණ කරයි.
5. දිගු ආයු කාලය: ග්රැනයිට් යනු කල් පවතින ද්රව්යයකි. මෙය උපකරණ නඩත්තු කිරීම හා ප්රතිස්ථාපනය කිරීමේ පිරිවැය අඩු කරයි, නිෂ්පාදකයින්ට අඩු පිරිවැයකින් උසස් තත්ත්වයේ උදුන නිපදවීමට හැකි වේ.
අවාසි:
1. ඉහළ පිරිවැය: වානේ හෝ ඇලුමිනියම් වැනි වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ඇති අනෙකුත් ද්රව්යයන්ට වඩා කළුගල් සංරචක මිල අධිකය. කළුගල් සංරචකවල ඉහළ පිරිවැය වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල සමස්ත පිරිවැය වැඩි කරන අතර කුඩා ව්යාපාර සහ ආරම්භක කටයුතු සඳහා අඩු ප්රවේශයක් ලබා ගත හැකිය.
2. අධික බර: ග්රැනයිට් යනු ely න ද්රව්යයකි, එහි සංරචක වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා කරන වෙනත් ද්රව්යවලට වඩා බරයි. මෙය උපකරණ විශාල හා චලනය වීමට අපහසු කරයි.
3. අලුත්වැඩියා කිරීමට අපහසුය: ග්රැනයිට් සංරචක අළුත්වැඩියා කිරීමට අපහසු වන අතර ඒවාට හානි වූ එකම විකල්පය වන්නේ ආදේශ කිරීමයි. මෙමඟින් නඩත්තු කිරීම සඳහා අමතර පිරිවැයක් එක් කරන අතර උපකරණ අක්රීය කාලය දීර් long කාලයක් ලබා දිය හැකිය.
4. අස්ථාවර: ග්රැනයිට් සංරචකයෙකුගේ යාන්ත්රික ස්ථාවරත්වය නොතකා, අධික ලෙස පැටවීමට හෝ බලපෑමට ලක් වූ විට කැඩී බිඳී යාමේ අවදානමක් ඇත. උපකරණවල නිරවද්ය කොටස් සම්පාදනය කළ හැකි හානිය වළක්වා ගැනීම සඳහා ප්රවේශමෙන් හැසිරවීම සහ ප්රතිකාර කිරීම අවශ්ය වේ.
අවසාන වශයෙන්, වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල කළුගල් සංරචක භාවිතා කිරීමේ වාසි අවාසි ඉක්මවා ඇත. සමහර අඩුපාඩු තිබුණත්, යාන්ත්රික ස්ථායිතාව, රසායනික ප්රතිරෝධය සහ ග්රැනයිට් සංරචකවල මාරානුභාවික ස්ථායිතාවය උසස් තත්ත්වයේ ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රෝන හා අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා වටිනා ද්රව්යයක් බවට පත් කරයි. ග්රැනයිට් සංරචකවල ආයෝජනය කිරීමෙන් නිෂ්පාදකයින්ට ඔවුන්ගේ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල වැඩි කාර්යක්ෂමතාව, නිරවද්යතාව සහ දීර් onge ායුෂ ලබා ගත හැකිය.
පශ්චාත් කාලය: ජනවාරි -002-2024