වේෆර් කැපුම් උපකරණවල කම්පන ප්‍රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායිතාව අනුව ග්‍රැනයිට් පාදකවල වාසි.

අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය නැනෝ පරිමාණ නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන් කරා ගමන් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, චිප් නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන සම්බන්ධකයක් ලෙස වේෆර් කැපීම, උපකරණ ස්ථායිතාව සඳහා අතිශයින්ම දැඩි අවශ්‍යතා ඇත. කැපී පෙනෙන කම්පන ප්‍රතිරෝධය සහ තාප ස්ථායිතාව සහිත ග්‍රැනයිට් පදනම, වේෆර් කැපුම් උපකරණවල මූලික අංගයක් බවට පත්ව ඇති අතර, ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් වේෆර් සැකසුම් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා විශ්වාසදායක සහතිකයක් සපයයි.

ඉහළ තෙතමනය සහ කම්පන විරෝධී ලක්ෂණ: නැනෝ මට්ටමේ කැපුම් නිරවද්‍යතාවය ආරක්ෂා කිරීම.
වේෆර් කැපුම් උපකරණ ක්‍රියාත්මක වන විට, ස්පින්ඩලයේ අධිවේගී භ්‍රමණය, කැපුම් මෙවලමෙහි අධි-සංඛ්‍යාත කම්පනය සහ අවට උපකරණ මගින් ජනනය වන පාරිසරික කම්පනය යන සියල්ලම කැපුම් නිරවද්‍යතාවයට සැලකිය යුතු බලපෑමක් ඇති කරයි. සාම්ප්‍රදායික ලෝහ පාදවල තෙතමනය කිරීමේ කාර්ය සාධනය සීමිත වන අතර, කම්පන වේගයෙන් දුර්වල කිරීම දුෂ්කර කරයි, එය කැපුම් මෙවලම්වල ක්ෂුද්‍ර මට්ටමේ කම්පනයට හේතු වන අතර දාර කැඩී යාම සහ වේෆර්වල ඉරිතැලීම් වැනි දෝෂ සෘජුවම ඇති කරයි. ග්‍රැනයිට් පාදයේ ඉහළ තෙතමනය කිරීමේ ලක්ෂණ මෙම ගැටළුව මූලික වශයෙන් විසඳා ඇත.
ග්‍රැනයිට් වල අභ්‍යන්තර ඛනිජ ස්ඵටික සමීපව බැඳී ඇති අතර, ස්වාභාවික ශක්ති විසර්ජන ව්‍යුහයක් සාදයි. කම්පනය පාදයට සම්ප්‍රේෂණය වන විට, එහි අභ්‍යන්තර ක්ෂුද්‍ර ව්‍යුහයට කම්පන ශක්තිය තාප ශක්තිය බවට වේගයෙන් පරිවර්තනය කළ හැකි අතර, කාර්යක්ෂම කම්පන දුර්වලතාවයක් ලබා ගත හැකිය. පර්යේෂණාත්මක දත්ත පෙන්වා දෙන්නේ එකම කම්පන පරිසරය යටතේ, ග්‍රැනයිට් පාදයට තත්පර 0.5 ක් ඇතුළත කම්පන විස්තාරය 90% කට වඩා අඩු කළ හැකි අතර, ලෝහ පාදයට තත්පර 3 සිට 5 දක්වා කාලයක් අවශ්‍ය වේ. මෙම කැපී පෙනෙන තෙතමනය කිරීමේ කාර්ය සාධනය නැනෝ පරිමාණ කැපුම් ක්‍රියාවලියේදී කැපුම් මෙවලම ස්ථායීව පවතින බව සහතික කරයි, වේෆර් කැපීමේ සුමට දාරයක් සහතික කරන අතර චිපින් අනුපාතය ඵලදායී ලෙස අඩු කරයි. නිදසුනක් ලෙස, 5nm වේෆර් කැපීමේ ක්‍රියාවලියේදී, ග්‍රැනයිට් පාදයක් සහිත උපකරණවලට 10μm ඇතුළත චිපින් ප්‍රමාණය පාලනය කළ හැකි අතර එය ලෝහ පාදයක් සහිත උපකරණවලට වඩා 40% කට වඩා වැඩිය. ​
අතිශය අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය: උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්ගේ බලපෑමට ප්‍රතිරෝධී වේ
වේෆර් කැපීමේ ක්‍රියාවලියේදී, කැපුම් මෙවලම්වල ඝර්ෂණයෙන් ජනනය වන තාපය, උපකරණවල දිගුකාලීන ක්‍රියාකාරිත්වයෙන් තාපය විසුරුවා හැරීම සහ වැඩමුළු පරිසර උෂ්ණත්වයේ වෙනස්වීම් යන සියල්ල උපකරණ සංරචකවල තාප විරූපණයට හේතු විය හැක. ලෝහමය ද්‍රව්‍යවල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සාපේක්ෂව ඉහළ ය (ආසන්න වශයෙන් 12×10⁻⁶/℃). උෂ්ණත්වය 5℃ කින් උච්චාවචනය වන විට, මීටර් 1 ක් දිග ලෝහ පාදයක් 60μm විරූපණයකට ලක් විය හැකි අතර, එමඟින් කැපුම් ස්ථානය මාරු වන අතර කැපුම් නිරවද්‍යතාවයට බරපතල ලෙස බලපායි.
ග්‍රැනයිට් පාදයේ තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (4-8) ×10⁻⁶/℃ පමණක් වන අතර එය ලෝහ ද්‍රව්‍යවල සංගුණකයෙන් තුනෙන් එකකටත් වඩා අඩුය. එම උෂ්ණත්ව වෙනස යටතේ, එහි මාන වෙනස පාහේ නොසලකා හැරිය හැක. යම් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්‍යවසායක මනින ලද දත්ත පෙන්නුම් කරන්නේ පැය 8 ක අඛණ්ඩ අධි-තීව්‍රතා වේෆර් කැපුම් මෙහෙයුමකදී, පරිසර උෂ්ණත්වය 10℃ කින් උච්චාවචනය වන විට, ග්‍රැනයිට් පාදයක් සහිත උපකරණවල කැපුම් ස්ථාන ඕෆ්සෙට් 20μm ට වඩා අඩු වන අතර, ලෝහ පාදයක් සහිත උපකරණවල එය 60μm ඉක්මවයි. මෙම ස්ථායී තාප කාර්ය සාධනය කැපුම් මෙවලම සහ වේෆර් අතර සාපේක්ෂ පිහිටීම සෑම විටම නිරවද්‍යව පවතින බව සහතික කරයි. දිගුකාලීන අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය හෝ පාරිසරික උෂ්ණත්වයේ දැඩි වෙනස්කම් යටතේ වුවද, කැපුම් නිරවද්‍යතාවයේ අනුකූලතාව පවත්වා ගත හැකිය. ​
දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය: උපකරණවල දිගුකාලීන ස්ථාවර ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම.
කම්පන ප්‍රතිරෝධයේ සහ තාප ස්ථායිතාවයේ වාසි වලට අමතරව, ග්‍රැනයිට් පාදයේ ඉහළ දෘඩතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය වේෆර් කැපුම් උපකරණවල විශ්වසනීයත්වය තවදුරටත් වැඩි කරයි. ග්‍රැනයිට් මෝස් පරිමාණයෙන් 6 සිට 7 දක්වා දෘඪතාවක් සහ 120MPa ඉක්මවන සම්පීඩ්‍යතා ශක්තියක් ඇත. කැපුම් ක්‍රියාවලියේදී එයට දැවැන්ත පීඩනය සහ බලපෑම් බලයට ඔරොත්තු දිය හැකි අතර විරූපණයට ගොදුරු නොවේ. මේ අතර, එහි ඝන ව්‍යුහය එයට විශිෂ්ට ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධයක් ලබා දෙයි. නිතර කැපීමේ මෙහෙයුම් වලදී පවා, පාදයේ මතුපිට ඇඳීමට නැඹුරු නොවන අතර, උපකරණ දිගු කාලයක් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කරයි.
ප්‍රායෝගික යෙදීම් වලදී, බොහෝ වේෆර් නිෂ්පාදන ව්‍යවසායන් ග්‍රැනයිට් පාදක සහිත කැපුම් උපකරණ භාවිතා කිරීමෙන් නිෂ්පාදන අස්වැන්න සහ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු කර ඇත. ගෝලීය වශයෙන් ප්‍රමුඛ පෙළේ වාත්තු කර්මාන්ත ශාලාවක දත්ත පෙන්වා දෙන්නේ ග්‍රැනයිට් පාදක උපකරණ හඳුන්වා දීමෙන් පසු වේෆර් කැපුම් අස්වැන්න 88% සිට 95% දක්වා වැඩි වී ඇති බවත්, උපකරණ නඩත්තු චක්‍රය තුන් ගුණයකින් දීර්ඝ කර ඇති බවත්, එමඟින් නිෂ්පාදන පිරිවැය ඵලදායී ලෙස අඩු කර වෙළඳපල තරඟකාරිත්වය වැඩි දියුණු කර ඇති බවත්ය.
අවසාන වශයෙන්, විශිෂ්ට කම්පන ප්‍රතිරෝධය, තාප ස්ථායිතාව, ඉහළ දෘඩතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහිත ග්‍රැනයිට් පදනම, වේෆර් කැපුම් උපකරණ සඳහා පුළුල් කාර්ය සාධන සහතිකයක් සපයයි. අර්ධ සන්නායක තාක්‍ෂණය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් කරා ඉදිරියට යන විට, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අඛණ්ඩ නවෝත්පාදන සංවර්ධනය ප්‍රවර්ධනය කරමින් වේෆර් නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍රයේ ග්‍රැනයිට් පාද වඩාත් වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරනු ඇත.