ග්‍රැනයිට් යනු එහි කල්පැවැත්ම, ශක්තිය සහ ඇඳීමට සහ ඉරීමට ප්‍රතිරෝධය සඳහා ප්‍රසිද්ධ ස්වාභාවික ගලකි. මෙම ගුණාංග නිසා, එය වේෆර් සැකසුම් උපකරණ වැනි අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය සඳහා නිෂ්පාදන උපකරණවල භාවිතා කිරීමට කදිම ද්‍රව්‍යයකි. මෙම ලිපියෙන්, වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිෂ්පාදනයේ සන්දර්භය තුළ ග්‍රැනයිට් ලබා දෙන බොහෝ වාසි අපි ගවේෂණය කරන්නෙමු.
පළමුවෙන්ම සහ ප්‍රධාන වශයෙන්, ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය ඉතා අඩුය. මෙයින් අදහස් කරන්නේ උෂ්ණත්වයේ වෙනස්වීම් වලට ප්‍රතිචාර වශයෙන් එය සැලකිය යුතු ලෙස ප්‍රසාරණය නොවන හෝ හැකිලෙන්නේ නැති බවයි. මෙය වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා විශේෂයෙන් වැදගත් ගුණාංගයක් වන අතර, එය සකසන ලද සියුම් වේෆර් වලට හානි නොකිරීම සඳහා නිශ්චිත ඉවසීම් පවත්වා ගත යුතුය. උපකරණ තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය වැඩි ද්‍රව්‍යයකින් සාදන ලද්දේ නම්, උෂ්ණත්වයේ සුළු වෙනස්කම් පවා උපකරණ ප්‍රසාරණය වීමට හෝ හැකිලීමට හේතු විය හැකි අතර, වේෆර් සැකසීමේදී සාවද්‍යතාවයන් ඇති විය හැක.
ග්‍රැනයිට් වල තවත් වාසියක් වන්නේ එහි ඉහළ මට්ටමේ ස්ථායිතාවයි. එය ඇදහිය නොහැකි තරම් ඝන සහ තද ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය කාලයත් සමඟ පහසුවෙන් ගෙවී නොයන හෝ ඛාදනය නොවේ. මෙයින් අදහස් කරන්නේ ග්‍රැනයිට් වලින් සාදන ලද උපකරණ අධික ලෙස භාවිතා කළත් ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීමට හෝ අලුත්වැඩියා කිරීමට අවශ්‍ය නොවී වසර ගණනාවක් භාවිතා කළ හැකි බවයි. ඊට අමතරව, ග්‍රැනයිට් වලට සුවිශේෂී ලෙස ඉහළ මාන ස්ථායිතාවයක් ඇති අතර, එයින් අදහස් කරන්නේ උෂ්ණත්වයේ හෝ ආර්ද්‍රතාවයේ වෙනස්කම් නොතකා කාලයත් සමඟ එහි හැඩය සහ ප්‍රමාණය පවත්වා ගත හැකි බවයි.
ග්‍රැනයිට් රසායනික විඛාදනයට ද බෙහෙවින් ප්‍රතිරෝධී වන අතර, එය වේෆර් සැකසීමේදී බහුලව දක්නට ලැබෙන කටුක රසායනික පරිසරයන්හි භාවිතය සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි. වේෆර් සැකසීමේදී භාවිතා කරන බොහෝ රසායනික ද්‍රව්‍ය ලෝහ සහ අනෙකුත් ද්‍රව්‍යවලට දැඩි ලෙස විඛාදනයට ලක් විය හැකි අතර එමඟින් උපකරණවලට හානි වීමට හෝ අසාර්ථක වීමට පවා හේතු වේ. කෙසේ වෙතත්, ග්‍රැනයිට් මෙම රසායනික ද්‍රව්‍යවලට බොහෝ දුරට නොගැලපෙන අතර, එය ඵලදායී ලෙස ක්‍රියා කිරීමට සහ කාලයත් සමඟ එහි ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.
මෙම ක්‍රියාකාරී ලක්ෂණ වලට අමතරව, වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා කරන විට ග්‍රැනයිට් වලට තවත් වාසි ගණනාවක් ඇත. එය ඉතා ආකර්ශනීය පෙනුමක් ඇති අතර, සෞන්දර්යාත්මකව ප්‍රියජනක සහ අද්විතීය වන සුවිශේෂී ධාන්‍ය රටාවක් ඇත. පෙනුම වැදගත් වන ඉහළ මට්ටමේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පහසුකම් සඳහා මෙය වටිනා සලකා බැලීමක් විය හැකිය. එපමණක් නොව, ග්‍රැනයිට් යනු තිරසාර හා පරිසර හිතකාමී ස්වභාවික ද්‍රව්‍යයක් වන අතර එය තිරසාරභාවයට ප්‍රමුඛත්වය දෙන සමාගම් සඳහා ආකර්ශනීය විකල්පයක් බවට පත් කරයි.
නිගමනයක් ලෙස, වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිෂ්පාදනයේදී ග්‍රැනයිට් භාවිතා කිරීමේ වාසි බොහෝ සහ වැදගත් වේ. එහි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයේ සිට රසායනික විඛාදනයට ඉහළ ස්ථායිතාව සහ ප්‍රතිරෝධය දක්වා, ග්‍රැනයිට් මෙම කර්මාන්තය සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරන අද්විතීය ලක්ෂණ සමූහයක් ඉදිරිපත් කරයි. එබැවින්, ලොව පුරා බොහෝ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින් සඳහා එය වඩාත් කැමති තේරීමක් වන අතර, එය අපේක්ෂා කළ හැකි අනාගතය සඳහා එලෙසම පවතිනු ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-27-2023