අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, වේෆර් කැපීම යනු උපකරණවලින් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ ස්ථාවරත්වයක් අවශ්‍ය වන තීරණාත්මක පියවරකි. ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදක වේෆර් කැපුම් යන්ත්‍රවල භාවිතා කරන විට සුවිශේෂී වාසි කිහිපයක් ලබා දෙන අතර, මෙම අභියෝගාත්මක යෙදුම සඳහා ඒවා කදිම තේරීමක් කරයි.
සුවිශේෂී ස්ථායිතාවZHHIMG® ග්‍රැනයිට්, එහි ඝනත්වය ආසන්න වශයෙන් 3100 kg/m³ වන අතර, වේෆර් කැපුම් යන්ත්‍ර සඳහා පාෂාණමය - ඝන පදනමක් සපයයි. ඉහළ ඝනත්වය විශිෂ්ට ස්ථායිතාවයක් ඇති කරයි, කැපුම් ක්‍රියාවලියේදී ඕනෑම විභව චලනයක් හෝ කම්පනයක් අවම කරයි. මෙම ස්ථායිතාව ඉතා වැදගත් වන්නේ සුළු කම්පනයක් පවා කැපුම් මෙවලම එහි අපේක්ෂිත මාර්ගයෙන් බැහැර වීමට හේතු විය හැකි අතර එමඟින් සාවද්‍ය කැපුම් සහ දෝෂ සහිත වේෆර් ඇති විය හැක. අඩු ඝනත්වයක් සහිත ද්‍රව්‍යවලට ප්‍රතිවිරුද්ධව, ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් කැපුම් හිස නිශ්චිතව ස්ථානගත කර ඇති බව සහතික කරයි, වේෆර් හරහා උසස් තත්ත්වයේ, ස්ථාවර කැපුම් නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි වේ.
අඩු තාප ප්‍රසාරණයඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පහසුකම් බොහෝ විට දැඩි උෂ්ණත්ව පාලනයක් ඇත, නමුත් කුඩා උච්චාවචනයන් තවමත් සිදුවිය හැකිය. ZHHIMG® හි ග්‍රැනයිට් ඉතා අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයක් ඇත. මෙයින් අදහස් කරන්නේ නිෂ්පාදන පරිසරය තුළ උෂ්ණත්වය සුළු වශයෙන් වෙනස් වන විට, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම සැලකිය යුතු ලෙස ප්‍රසාරණය නොවන හෝ හැකිලෙන්නේ නැති බවයි. නිරවද්‍යතා ඉවසීම් ක්ෂුද්‍රමීටර හෝ නැනෝමීටර පරාසයක පවතින වේෆර් කැපීමේදී, තාප ප්‍රේරිත මාන වෙනස්කම් විනාශකාරී විය හැකිය. ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් වල අඩු තාප ප්‍රසාරණය කැපුම් යන්ත්‍රයේ සංරචක පෙළගැස්ම පවත්වා ගැනීමට උපකාරී වන අතර, සුළු උෂ්ණත්ව විචලනයන් නොසලකා කැපුම් ක්‍රියාවලිය නිවැරදිව පවතින බව සහතික කරයි.
සුපිරි කම්පන තෙතමනය වේෆර් කැපීමේදී, කැපුම් මෙවලම කම්පන ජනනය කරයි. මෙම කම්පන ඵලදායී ලෙස තෙතමනය නොකළහොත්, ඒවා වේෆර් වෙත මාරු විය හැකි අතර, එය චිපින් හෝ වෙනත් හානියක් සිදු කරයි. ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් ස්වභාවික කම්පන තෙතමනය කිරීමේ ගුණ ඇත. දිගු භූ විද්‍යාත්මක කාල පරිච්ඡේදයන් තුළ පිහිටුවා ඇති එහි අභ්‍යන්තර ව්‍යුහය, කම්පන ඉක්මනින් අවශෝෂණය කර විසුරුවා හැරීමට ඉඩ සලසයි. මෙය සමහර ලෝහ පාදක යන්ත්‍ර පාදකවලට වඩා සැලකිය යුතු වාසියක් වන අතර එමඟින් කම්පන වඩාත් පහසුවෙන් සම්ප්‍රේෂණය කළ හැකිය. කම්පන අඩු කිරීමෙන්, ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදක සුමට කැපුම් මෙහෙයුම් සඳහා දායක වන අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස පිරිසිදු කැපුම් සහ උසස් තත්ත්වයේ වේෆර් ලැබේ.
ඉහළ පරිමා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී ඉහළ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධක වේෆර් කැපුම් යන්ත්‍ර අඛණ්ඩව භාවිතා වේ. කැපුම් ක්‍රියාවලිය යන්ත්‍ර පදනම යාන්ත්‍රික ආතතියට සහ ඝර්ෂණයට යටත් කරයි. ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් වල ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳීමට ප්‍රතිරෝධී ස්වභාවය යන්ත්‍ර පදනමට සැලකිය යුතු ඇඳීමකින් තොරව දීර්ඝ කාලයක් පුරා මෙම බලවේගවලට ඔරොත්තු දීමට හැකියාව ලබා දෙයි. මෙම කල්පැවැත්ම යන්නෙන් අදහස් කරන්නේ යන්ත්‍ර පදනමට දිගු සේවා කාලයක් පුරා එහි මාන නිරවද්‍යතාවය සහ කාර්ය සාධනය පවත්වා ගත හැකි බවයි. ඇඳීමට අදාළ ගැටළු හේතුවෙන් නිතර ප්‍රතිස්ථාපන හෝ මිල අධික නඩත්තු කිරීමේ අවශ්‍යතාවය එය අඩු කරයි, අවසානයේ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදකයින්ගේ කාලය සහ මුදල් යන දෙකම ඉතිරි කරයි.
රසායනික නිෂ්ක්‍රීයතාවඅර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන පරිසරයන් උපකරණ පිරිසිදු කිරීම, කැටයම් කිරීම හෝ වෙනත් ක්‍රියාවලීන් සඳහා භාවිතා කරන විවිධ රසායනික ද්‍රව්‍යවලට නිරාවරණය කළ හැකිය. ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් රසායනිකව නිෂ්ක්‍රීය වන අතර මෙම රසායනික ද්‍රව්‍යවලින් විඛාදනයට ප්‍රතිරෝධී වේ. මෙම ගුණාංගය දැඩි රසායනික ද්‍රව්‍යවලට නිරාවරණය වූ විට පවා යන්ත්‍ර පාදයේ අඛණ්ඩතාව නොවෙනස්ව පවතින බව සහතික කරයි. රසායනික විඛාදනය යන්ත්‍ර පාදයේ ක්‍රියාකාරිත්වය විරූපණයට හෝ පිරිහීමට හේතු විය හැකි බැවින්, කාලයත් සමඟ වේෆර් කැපුම් යන්ත්‍රයේ ස්ථායිතාව සහ නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගැනීමට එය උපකාරී වේ.
සාරාංශයක් ලෙස, ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදක මඟින් වේෆර් කැපුම් යන්ත්‍ර සඳහා ඉතා ප්‍රයෝජනවත් වන ස්ථායිතාව, තාප ප්‍රතිරෝධය, කම්පන තෙතමනය, ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය සහ රසායනික නිෂ්ක්‍රීයතාවයේ සංයෝජනයක් ලබා දේ. වේෆර් කැපුම් උපකරණ සඳහා වැඩිදියුණු කිරීමක් හෝ නව මිලදී ගැනීමක් සලකා බැලීමේදී, ZHHIMG® ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමක් සහිත යන්ත්‍රයක් තෝරා ගැනීම අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලීන්හි ගුණාත්මකභාවය සහ කාර්යක්ෂමතාව වැඩි දියුණු කළ හැකි ඥානවන්ත තීරණයකි.
පළ කිරීමේ කාලය: ජූනි-03-2025