අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය: චිප් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, ෆොටෝලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලියට පරිපථ රටාව නිශ්චිතවම වේෆරයට මාරු කිරීමට අවශ්‍ය වේ. තනි අක්ෂ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ ග්‍රැනයිට් පදනම ලිතෝග්‍රැෆි උපකරණවල වේෆර් වගුව සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතා ස්ථානගත කිරීමක් සහ ස්ථාවර සහායක් ලබා දිය හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, ASML සහ අනෙකුත් ජාත්‍යන්තරව කීර්තිමත් ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර නිෂ්පාදකයින් ඔවුන්ගේ ඉහළ මට්ටමේ උපකරණවල ග්‍රැනයිට් පාදක වායු පාවෙන චලන මොඩියුල භාවිතා කරයි, එමඟින් ලිතෝග්‍රැෆි රටාවේ නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා නැනෝමීටර මට්ටමින් වේෆරයේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය පාලනය කළ හැකි අතර එමඟින් චිපයේ ඒකාබද්ධතාවය සහ ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු වේ.
නිරවද්‍යතා මිනුම් ක්ෂේත්‍රය: CMM යනු කාර්මික නිෂ්පාදනයේ බහුලව භාවිතා වන නිරවද්‍යතා මිනුම් උපකරණයක් වන අතර එය වැඩ කොටසෙහි ප්‍රමාණය, හැඩය සහ ස්ථාන නිරවද්‍යතාවය මැනීමට භාවිතා කරයි. ග්‍රැනයිට් පාදයේ තනි අක්ෂ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍යතා චලන මොඩියුලය CMM හි චලන වේදිකාව ලෙස භාවිතා කළ හැකි අතර එමඟින් ඉහළ නිරවද්‍ය රේඛීය චලිතයක් අවබෝධ කර ගත හැකි අතර මිනුම් පරීක්ෂණය සඳහා ස්ථාවර චලන ගමන් පථයක් ලබා දිය හැකිය. උදාහරණයක් ලෙස, ෂඩාස්‍රයේ ඉහළ මට්ටමේ CMM මෙම සංයෝජනය භාවිතා කරන්නේ මයික්‍රෝන මට්ටම දක්වා මිනුම් නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් විශාල සහ සංකීර්ණ කොටස් මැනීමට වන අතර එමඟින් මෝටර් රථ, අභ්‍යවකාශ සහ අනෙකුත් කර්මාන්තවල කොටස් තත්ත්ව පාලනය සඳහා ශක්තිමත් සහතිකයක් සපයයි.
අභ්‍යවකාශ ක්ෂේත්‍රය: අභ්‍යවකාශ කොටස් සැකසීමේදී සහ පරීක්ෂා කිරීමේදී, ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වේ. උදාහරණයක් ලෙස, ගුවන් යානා එන්ජින් තල යන්ත්‍රෝපකරණ කිරීමේදී තල පැතිකඩ නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා මෙවලමෙහි චලන ගමන් පථය නිවැරදිව පාලනය කිරීම අවශ්‍ය වේ. මෙවලම සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් චලන පාලනයක් සැපයීමට සහ තලයෙහි යන්ත්‍රෝපකරණ නිරවද්‍යතාවය සැලසුම් අවශ්‍යතා සපුරාලීමට හැකි බව සහතික කිරීම සඳහා තනි අක්ෂ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍යතා චලන මොඩියුලයේ ග්‍රැනයිට් පදනම අක්ෂ පහේ යන්ත්‍රෝපකරණ මධ්‍යස්ථානයට සහ අනෙකුත් උපකරණවලට යෙදිය හැකිය. ඒ සමඟම, ගුවන් එන්ජිමේ එකලස් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, කොටස්වල එකලස් කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය හඳුනා ගැනීම සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතා මිනුම් උපකරණ භාවිතා කිරීම ද අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් පාදයේ වායු පාවෙන චලන මොඩියුලයට එකලස් කිරීමේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම සඳහා මිනුම් උපකරණ සඳහා ස්ථාවර සහාය සහ නිවැරදි චලනය සැපයිය හැකිය.
දෘශ්‍ය පරීක්ෂණ ක්ෂේත්‍රය: දෘශ්‍ය සංරචක නිෂ්පාදනය සහ පරීක්ෂණ ක්‍රියාවලියේදී, දෘශ්‍ය සංරචකවල ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් ස්ථානගත කිරීම සහ මැනීම සිදු කිරීම අවශ්‍ය වේ. නිදසුනක් ලෙස, දර්පණ සහ කාච වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් දෘශ්‍ය සංරචක නිෂ්පාදනය කරන විට, මතුපිට හැඩයේ නිරවද්‍යතාවය හඳුනා ගැනීම සඳහා අන්තර්-මානක සහ අනෙකුත් උපකරණ භාවිතා කිරීම අවශ්‍ය වේ. තනි අක්ෂ වායු පාවෙන අතිශය නිරවද්‍ය චලන මොඩියුලයේ ග්‍රැනයිට් පදනම අන්තර්-මානකයේ චලන වේදිකාව ලෙස භාවිතා කළ හැකි අතර, එමඟින් උප-මයික්‍රෝන ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතාවය අවබෝධ කර ගත හැකි අතර දෘශ්‍ය සංරචක හඳුනා ගැනීම සඳහා නිවැරදි දත්ත සහාය ලබා දිය හැකිය. ඊට අමතරව, ලේසර් සැකසුම් උපකරණවල, ලේසර් කදම්භයේ ස්කෑනිං ගමන් පථය පාලනය කිරීම සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් චලන වේදිකාවක් භාවිතා කිරීම ද අවශ්‍ය වේ, ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ලේසර් සැකසුම් ලබා ගැනීම සඳහා වායු පාවෙන චලන මොඩියුලයේ ග්‍රැනයිට් පදනමට මෙම අවශ්‍යතාවය සපුරාලිය හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 අප්‍රේල්-07