අර්ධ සන්නායක නිරවද්‍යතා අදියර සහ උසස් මිනුම් විද්‍යාවේ ග්‍රැනයිට් වල තීරණාත්මක කාර්යභාරය

ගෝලීය අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය වර්තමානයේ "ඇන්ග්ස්ට්‍රෝම් යුගය" අඛණ්ඩව ලුහුබැඳීමේ නිරතව සිටින අතර, එහිදී ට්‍රාන්සිස්ටර මානයන් පරමාණු කිහිපයක පළලින් මනිනු ලැබේ. ලිතෝග්‍රැෆි සහ පරීක්ෂණ මෙවලම් මෙම අන්වීක්ෂීය පරිමාණයන්ට සංක්‍රමණය වන විට, ව්‍යුහාත්මක ස්ථායිතාව සඳහා ඇති ඉල්ලුම "සාර්ව" සිට "නැනෝ" දක්වා මාරු වී ඇත. මෙම විප්ලවයේ හදවතෙහි පෘථිවිය තරම්ම පැරණි ද්‍රව්‍යයක් ඇත: නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට්.

බොහෝ දෙනෙක් ග්‍රැනයිට් සරල ගලක් ලෙස සලකන අතර, සන්දර්භය තුළනැනෝ ස්ථානගත කිරීමේ අවධියහෝ අධිවේගී වේෆර් පරීක්ෂණ පද්ධතියක්, එය නවීන ඉංජිනේරු පිඟන් මැටි භාණ්ඩයකි. සිලිකන් නිෂ්පාදනයේ කළ හැකි දේවල සීමාවන් තල්ලු කිරීමට බලාපොරොත්තු වන OEMs සඳහා මූලික මිනුම් විද්‍යා මෙවලම් සහ උසස් චලන වේදිකා අතර වෙනස අවබෝධ කර ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ.

ග්‍රැනයිට් CMM එදිරිව ග්‍රැනයිට් මතුපිට තහඩුව: ඉංජිනේරු මාරුව අවබෝධ කර ගැනීම

බොහෝ තත්ත්ව පාලන රසායනාගාරවල,ග්‍රැනයිට් මතුපිට තහඩුවසර්වසම්පූර්ණ සවිකිරීමකි - අතින් මැනීම සඳහා විශ්වාසදායක, පැතලි යොමුවකි. කෙසේ වෙතත්, මතුපිට තහඩුවක් සහ ග්‍රැනයිට් CMM (ඛණ්ඩාංක මිනුම් යන්ත්‍රය) පාදයක් එකිනෙකට හුවමාරු කළ හැකි බවට පොදු වැරදි මතයක් පවතී. ඉංජිනේරු දෘෂ්ටිකෝණයකින්, ඒවා සංකීර්ණතාවයේ විවිධ මට්ටම් දෙකක් නියෝජනය කරයි.

මතුපිට තහඩුවක් ස්ථිතික ස්ථායිතාව සඳහා නිර්මාණය කර ඇත. එහි ප්‍රධාන කාර්යය වන්නේ ස්ථාවර බරක් යටතේ සමතලා වීමයි. ඊට වෙනස්ව, CMM හෝ නිරවද්‍යතා අදියරක් සඳහා ග්‍රැනයිට් පදනමක් ගතික බර හැසිරවිය යුතුය. CMM හි පාලම චලනය වන විට හෝ රේඛීය මෝටරයක් ​​Gs කිහිපයකදී වේෆර් අදියරක් වේගවත් කරන විට, ග්‍රැනයිට් නැමීමට පමණක් නොව, ආතති සහ හාර්මොනික් අනුනාදයටද ප්‍රතිරෝධය දැක්විය යුතුය.

ZHIMG ඉංජිනේරුවන් විශේෂයෙන් ගතික යෙදුම් සඳහා "කළු ග්‍රැනයිට්" තෝරා ගන්නේ එහි ඉහළ ඝනත්වය සහ සියුම් ධාන්‍ය ව්‍යුහය නිසාය. සම්මත මතුපිට තහඩුවකට වඩාත් සිදුරු සහිත ප්‍රභේදයක් භාවිතා කළ හැකි වුවද, අධිවේගී චලනයේ "ක්ෂණික" මිනුම් දත්ත දූෂිත කරන ව්‍යුහාත්මක නාද කිරීම බවට පරිවර්තනය නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා CMM පදනමකට හැකි ඉහළම යංග්ගේ මොඩියුලස් අවශ්‍ය වේ.

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ නිරවද්‍යතා අදියර: අස්වැන්නේ පදනම

අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, ප්‍රතිදානය සහ අස්වැන්න වඩාත් තීරණාත්මක මිනුම් දෙක වේ. දෙකම සෘජුවම රඳා පවතින්නේනිරවද්‍යතා අදියර. DUV/EUV ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍රයක වේෆර් අදියර හෝ ස්වයංක්‍රීය දෘශ්‍ය පරීක්ෂණ (AOI) මෙවලමක ස්ථානගත කිරීමේ පද්ධතිය වේවා, මූලික ද්‍රව්‍යය උප-නැනෝමීටර පුනරාවර්තනයට පහසුකම් සැපයිය යුතුය.

ෆැබ් එකේ ප්‍රධාන අභියෝගය තාපයයි. රේඛීය මෝටර සහ ක්‍රියාකාරක සැලකිය යුතු තාප ශක්තියක් ජනනය කරයි. අදියර පාදය ඇලුමිනියම් හෝ වානේ වලින් සාදා ඇත්නම්, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස තාප ප්‍රසාරණය හේතුවෙන් වේෆරය පෙළගැස්මෙන් පිටතට මාරු වන අතර එමඟින් චිප්ස් කාණ්ඩ විනාශ වන "ආවරණ දෝෂ" ඇති වේ.

ග්‍රැනයිට් වල අතිශය අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය (CTE) මෝටර රත් වන විට පවා, වේදිකාවේ භෞතික “සිතියම” නියතව පවතින බව සහතික කරයි. තවද, ZHHIMG ඒකාබද්ධ වායු දරණ ක්‍රම සමඟ අභිරුචිකරණය කළ ග්‍රැනයිට් සංරචක සපයයි. ග්‍රැනයිට් දර්පණයක් වැනි සමතලා භාවයකට ලැප් කළ හැකි බැවින්, එය වායු ෙබයාරිං සඳහා පරිපූර්ණ ප්‍රතිවිරුද්ධ මුහුණතක් ලෙස ක්‍රියා කරයි, ශුන්‍ය ඝර්ෂණය සහ ශුන්‍ය බන්ධනය සහිත තුනී වායු පටලයක් මත “පාවීමට” අදියරවලට ඉඩ සලසයි.

නැනෝ ස්ථානගත කිරීමේ අදියර පදනමේ භෞතික විද්‍යාව

අපි ක්ෂේත්‍රයට ඇතුළු වන විටනැනෝ ස්ථානගත කිරීමේ අවධිය, අපි මිනිස් කෙස් ගසකට වඩා 10,000 ගුණයකින් කුඩා චලනයන් සමඟ කටයුතු කරන්නෙමු. මෙම මට්ටමේ දී, කම්පනය සතුරා වේ. HVAC පද්ධති, පාද ගමනාගමනය සහ අසල ඇති යන්ත්‍රෝපකරණ හේතුවෙන් සම්මත කාර්මික බිම් නිරන්තරයෙන් කම්පනය වේ.

ග්‍රැනයිට් දැවැන්ත අඩු-පාස් පෙරහනක් ලෙස ක්‍රියා කරයි. එහි ඉහළ ස්කන්ධය සහ ඉහළ අභ්‍යන්තර තෙතමනය හේතුවෙන්, සංවේදී සංවේදක හෝ වේෆරයටම ළඟා වීමට පෙර එය ස්වභාවිකවම අධි-සංඛ්‍යාත කම්පන අවශෝෂණය කරයි. ලොව ප්‍රමුඛතම ලිතෝග්‍රැෆි සැපයුම්කරුවන් ඔවුන්ගේ රික්ත-අනුකූල අවධීන් සඳහා බර, ස්ථාවර අත්තිවාරම් සැපයීම සඳහා ZHHIMG මත විශ්වාසය තැබීමට හේතුව මෙම “නිෂ්ක්‍රීය හුදකලාව” ය. අපගේ ග්‍රැනයිට් ශුන්‍ය වායු පිටවීම සහතික කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් සලකනු ලබන අතර, එය ඉලෙක්ට්‍රෝන-කදම්භ සහ EUV ක්‍රියාවලීන් සඳහා අවශ්‍ය ඉහළ-රික්ත පරිසරයන් සඳහා සුදුසු වේ.

සීමාවට ළඟා වීම: ZHHIMG වාසිය

අමු ගල් කුට්ටියක සිට අර්ධ සන්නායක ශ්‍රේණියේ සංරචකයකට මාරුවීම අතිශයින්ම ඉවසීමේ ගමනකි. CNC ඇඹරීම අපව සමීප කරවන අතර, අවසාන “සුපිරි-නිරවද්‍යතා” ශ්‍රේණිය අත්-ඇදීම හරහා ලබා ගනී. මෙය ZHHIMG කාර්මිකයන් උල්ෙල්ඛ පේස්ට් සහ අතින් චලනයන් භාවිතා කර මයික්‍රෝනයක කොටස් එකවර රැවුල කපන ක්‍රියාවලියකි.

සඳහානැනෝ ස්ථානගත කිරීමේ අවධිය, පැතලි බව එකම අවශ්‍යතාවය නොවේ; මාර්ගෝපදේශක පෘෂ්ඨවල සමාන්තරකරණය සහ ලම්බකතාව සමානව වැදගත් වේ. සෑම අක්ෂයක්ම පරිපූර්ණ ලෙස පෙළගස්වා ඇති බව සත්‍යාපනය කිරීම සඳහා අපගේ පහසුකම ලේසර් ට්‍රැකර් සහ ඉලෙක්ට්‍රොනික මට්ටම් 0.1 චාප-තත්පර භාවිතා කරයි. මෙම ශිල්පීය මට්ටමේ කුසලතාවයක් පාරිභෝගිකයෙකු තම රේඛීය මෝටර සහ කේතක සවි කරන විට, භෞතික විද්‍යාව ඉඩ දෙන පරිදි යාන්ත්‍රික පදනම “පරිපූර්ණ” ට ආසන්න බව සහතික කරයි.

අනාගතය සනාථ කරන ෆැබ්

කර්මාන්තය 2nm නෝඩ් සහ ඉන් ඔබ්බට ගමන් කරන විට, ද්‍රව්‍ය සංශුද්ධතාවය සහ මාන ස්ථායිතාව සඳහා වන අවශ්‍යතා තීව්‍ර වනු ඇත. කාබන් ෆයිබර් පාලම් හෝ සෙරමික් රික්ත චක් වැනි අනෙකුත් දියුණු ද්‍රව්‍ය සමඟ ග්‍රැනයිට් ඒකාබද්ධ කිරීම චලන පාලනයේ ඊළඟ මායිමයි.

ZHHIMG සැපයුම්කරුවෙකුට වඩා වැඩි යමක් කිරීමට කැපවී සිටී; අපි ගෝලීය අර්ධ සන්නායක සැපයුම් දාමයේ සහයෝගී හවුල්කරුවෙකි. ඊළඟ පරම්පරාවේ නිරවද්‍යතා අදියර සඳහා අවශ්‍ය අතිශය ස්ථායී අත්තිවාරම් සැපයීමෙන්, අනාගතය ගොඩනඟන යන්ත්‍ර ගොඩනැගීමට අපි උදව් කරන්නෙමු.