ග්‍රැනයිට් සංරචක අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී බහුලව භාවිතා වී ඇත්තේ ඒවායේ උසස් මතුපිට නිමාව, ඉහළ තද බව සහ විශිෂ්ට කම්පන තෙතමනය වැනි විශිෂ්ට ලක්ෂණ නිසාය. ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර, ඔප දැමීමේ යන්ත්‍ර සහ මිනුම් විද්‍යා පද්ධති ඇතුළු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණ සඳහා ග්‍රැනයිට් සංරචක අත්‍යවශ්‍ය වේ, මන්ද ඒවා නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී නිරවද්‍ය ස්ථානගත කිරීම සහ ස්ථාවරත්වය සපයයි. ග්‍රැනයිට් සංරචක භාවිතා කිරීමේ සියලු වාසි තිබියදීත්, ඒවාට ද දෝෂ ඇත. මෙම ලිපියෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලි නිෂ්පාදන සඳහා ග්‍රැනයිට් සංරචකවල දෝෂ අපි සාකච්ඡා කරමු.
පළමුව, ග්‍රැනයිට් සංරචකවලට ඉහළ තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයක් ඇත. එයින් අදහස් වන්නේ ඒවා තාප ආතතිය යටතේ සැලකිය යුතු ලෙස ප්‍රසාරණය වන අතර එමඟින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී ගැටළු ඇති විය හැකිය. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට තාප ආතතිය හේතුවෙන් අවදානමට ලක්විය හැකි ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ මාන නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වේ. නිදසුනක් ලෙස, තාප ප්‍රසාරණය හේතුවෙන් සිලිකන් වේෆර් විරූපණය ලිතෝග්‍රැෆි අතරතුර පෙළගැස්වීමේ ගැටළු ඇති කළ හැකි අතර එමඟින් අර්ධ සන්නායක උපාංගයේ ගුණාත්මකභාවය අඩපණ විය හැකිය.
දෙවනුව, ග්‍රැනයිට් සංරචකවල සිදුරු සහිත දෝෂ ඇති අතර එමඟින් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී රික්ත කාන්දුවීම් ඇති විය හැකිය. පද්ධතියේ වාතය හෝ වෙනත් වායුවක් තිබීම වේෆරයේ මතුපිට දූෂණය වීමට හේතු විය හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස අර්ධ සන්නායක උපාංගයේ ක්‍රියාකාරිත්වයට බලපෑම් කළ හැකි දෝෂ ඇති විය හැකිය. ආගන් සහ හීලියම් වැනි නිෂ්ක්‍රීය වායු සිදුරු සහිත ග්‍රැනයිට් සංරචක තුළට කාන්දු වී රික්ත ක්‍රියාවලියේ අඛණ්ඩතාවයට බාධා කළ හැකි වායු බුබුලු නිර්මාණය කළ හැකිය.
තෙවනුව, ග්‍රැනයිට් සංරචකවල නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ නිරවද්‍යතාවයට බාධා කළ හැකි ක්ෂුද්‍ර අස්ථි බිඳීම් ඇත. ග්‍රැනයිට් යනු කාලයත් සමඟ ක්ෂුද්‍ර අස්ථි බිඳීම් වර්ධනය විය හැකි බිඳෙන සුළු ද්‍රව්‍යයකි, විශේෂයෙන් නිරන්තර ආතති චක්‍රවලට නිරාවරණය වන විට. ක්ෂුද්‍ර අස්ථි බිඳීම් පැවතීම මාන අස්ථාවරත්වයට හේතු විය හැකි අතර, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී ලිතෝග්‍රැෆි පෙළගැස්ම හෝ වේෆර් ඔප දැමීම වැනි සැලකිය යුතු ගැටළු ඇති කරයි.
හතරවනුව, ග්‍රැනයිට් සංරචක සීමිත නම්‍යශීලී බවක් ඇත. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට විවිධ ක්‍රියාවලි වෙනස්කම් වලට ඉඩ සැලසිය හැකි නම්‍යශීලී උපකරණ අවශ්‍ය වේ. කෙසේ වෙතත්, ග්‍රැනයිට් සංරචක දෘඩ වන අතර විවිධ ක්‍රියාවලි වෙනස්කම් වලට අනුවර්තනය විය නොහැක. එබැවින්, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ සිදුවන ඕනෑම වෙනස්කමක් සඳහා ග්‍රැනයිට් සංරචක ඉවත් කිරීම හෝ ප්‍රතිස්ථාපනය කිරීම අවශ්‍ය වන අතර එය අක්‍රිය කාලයට හේතු වන අතර ඵලදායිතාවයට බලපායි.
පස්වනුව, ග්‍රැනයිට් සංරචකවල බර හා බිඳෙන සුළු බව නිසා විශේෂ හැසිරවීමක් සහ ප්‍රවාහනයක් අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් යනු දොඹකර සහ එසවුම් යන්ත්‍ර වැනි විශේෂිත හැසිරවීමේ උපකරණ අවශ්‍ය වන ඝන සහ බර ද්‍රව්‍යයකි. ඊට අමතරව, නැව්ගත කිරීමේදී සිදුවන හානිය වැළැක්වීම සඳහා ග්‍රැනයිට් සංරචක ප්‍රවේශමෙන් ඇසුරුම් කිරීම සහ ප්‍රවාහනය කිරීම අවශ්‍ය වන අතර එමඟින් අමතර පිරිවැයක් සහ කාලයක් ගත වේ.
නිගමනයක් ලෙස, ග්‍රැනයිට් සංරචකවල අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලි නිෂ්පාදනවල ගුණාත්මකභාවය සහ ඵලදායිතාවයට බලපාන යම් යම් අඩුපාඩු තිබේ. ක්ෂුද්‍ර අස්ථි බිඳීම් සහ සිදුරු දෝෂ සඳහා වරින් වර පරීක්ෂා කිරීම, දූෂණය වැළැක්වීම සඳහා නිසි පිරිසිදු කිරීම සහ ප්‍රවාහනයේදී ප්‍රවේශමෙන් හැසිරවීම ඇතුළුව ග්‍රැනයිට් සංරචක ප්‍රවේශමෙන් හැසිරවීම සහ නඩත්තු කිරීම මගින් මෙම දෝෂ අවම කර ගත හැකිය. දෝෂ තිබියදීත්, ග්‍රැනයිට් සංරචක ඒවායේ උසස් මතුපිට නිමාව, ඉහළ තද බව සහ විශිෂ්ට කම්පන තෙතමනය හේතුවෙන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ වැදගත් අංගයක් ලෙස පවතී.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-05-2023