වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා වන ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදක ඒවායේ ස්ථායිතාව සහ කල්පැවැත්ම නිසා බොහෝ කර්මාන්තවල බහුලව භාවිතා වේ. කෙසේ වෙතත්, කිසිවක් පරිපූර්ණ නොවන අතර මෙම පාදක ද ව්යතිරේකයක් නොවේ. වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා වන ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදකවල නිරීක්ෂණය කළ හැකි සමහර දෝෂ තිබේ. නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සහ එය උපරිමයෙන් ක්රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම සඳහා මෙම දෝෂ තේරුම් ගැනීම වැදගත් වේ.
ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදමවල වඩාත් කැපී පෙනෙන දෝෂයක් වන්නේ ග්රැනයිට් ද්රව්යයේ ඉරිතැලීමයි. ග්රැනයිට් දෘඩ හා කල් පවතින ද්රව්යයක් වුවද, යාන්ත්රික ආතතිය, බලපෑම සහ උෂ්ණත්ව විචලනයන් වැනි විවිධ සාධක හේතුවෙන් එය තවමත් ඉරිතැලීමට ඉඩ ඇත. ග්රැනයිට් වල ඉරිතැලීම් යන්ත්රයේ තීරණාත්මක සංරචකවල ස්ථායිතාව අඩු කළ හැකි අතර එමඟින් එය අක්රිය වීමට ඉඩ ඇත. ඉරිතැලීම් වැළැක්වීම සඳහා, යන්ත්රයේ නිසි උෂ්ණත්වය පවත්වා ගැනීම සහ ගැටීම් හෝ බලයේ හදිසි වෙනස්කම් වළක්වා ගැනීම වැදගත් වේ.
තවත් දෝෂයක් වන්නේ ග්රැනයිට් මතුපිට අසමානතාවයයි. ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදම නිෂ්පාදනය කරන විට හෝ කාලයත් සමඟ එය ගෙවී යන විට මෙය නිරීක්ෂණය කළ හැකිය. අසමාන මතුපිටක් හේතුවෙන් යන්ත්රයේ සංරචක වැරදි ලෙස පෙළගස්වා හෝ වැරදි ලෙස ස්ථානගත කළ හැකි අතර එය යන්ත්රයේ නිරවද්යතාවයට සහ නිරවද්යතාවයට බලපායි. මෙය වළක්වා ගැනීම සඳහා, ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදම නිසි ලෙස නඩත්තු කර නිතිපතා ක්රමාංකනය කළ යුතුය.
ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදකවල තවත් පොදු දෝෂයක් වන්නේ ද්රව්යයේ අපද්රව්ය පැවතීමයි. දූවිලි, අපිරිසිදුකම් සහ අනෙකුත් අංශු වැනි අපද්රව්ය යන්ත්ර පාදම දූෂණය කර එහි ක්රියාකාරිත්වයට බලපායි. පරිසරය පිරිසිදුව තබා ගැනීමෙන් සහ උසස් තත්ත්වයේ ද්රව්ය භාවිතා කිරීමෙන් අපද්රව්ය පැවතීම ඕනෑම වියදමකින් වළක්වා ගත යුතුය.
අවසාන වශයෙන්, ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදකවල ඇති විය හැකි දෝෂයක් වන්නේ තෙතමනයට හෝ විඛාදනයට ගොදුරු වීමේ හැකියාවයි. ග්රැනයිට් බොහෝ රසායනික ද්රව්ය හා මූලද්රව්යවලට ප්රතිරෝධී වුවද, තෙතමනය හා විඛාදන ද්රව්යවලට දිගු කාලයක් නිරාවරණය වීමෙන් ග්රැනයිට් පිරිහීමට හේතු විය හැක. මෙය සිදුවීම වැළැක්වීම සඳහා නිසි නඩත්තු කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම අත්යවශ්ය වේ.
නිගමනයක් ලෙස, වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා ග්රැනයිට් යන්ත්ර පාදක පරිපූර්ණ නොවන අතර, ඒවායේ ක්රියාකාරිත්වයට බලපාන දෝෂ කිහිපයක් තිබේ. කෙසේ වෙතත්, නිසි නඩත්තුව සහ සැලකිල්ලෙන්, මෙම දෝෂ බොහොමයක් වළක්වා ගත හැකි අතර යන්ත්ර පාදම උපරිමයෙන් ක්රියා කළ හැකිය. එබැවින්, මෙම දෝෂ පිළිබඳව දැනුවත් වීම සහ යන්ත්රයේ ගුණාත්මකභාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා සුදුසු පියවර ගැනීම වැදගත් වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: නොවැම්බර්-07-2023