වේෆර් සැකසුම් උපකරණ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ අනිවාර්ය අංගයකි. මෙම යන්ත්‍ර ග්‍රැනයිට් සංරචක ඇතුළු විවිධ සංරචක වලින් සමන්විත වේ. ග්‍රැනයිට් එහි විශිෂ්ට ස්ථායිතාව සහ කල්පැවැත්ම නිසා මෙම සංරචක සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයකි. කෙසේ වෙතත්, වෙනත් ඕනෑම ද්‍රව්‍යයක් මෙන්, ග්‍රැනයිට් සංරචක වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වයට සහ කාර්යක්ෂමතාවයට බලපෑම් කළ හැකි දෝෂ වලට ගොදුරු වේ. මෙම ලිපියෙන්, වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් සංරචකවල පොදු දෝෂ කිහිපයක් අපි සාකච්ඡා කරමු.
1. ඉරිතැලීම්:
ග්‍රැනයිට් සංරචකවල බහුලව දක්නට ලැබෙන දෝෂයක් වන්නේ ඉරිතැලීම් ය. මෙම ඉරිතැලීම් විවිධ සාධක නිසා ඇති විය හැක, ඒවාට අධික උෂ්ණත්ව විචලනයන්, යාන්ත්‍රික ආතතිය, නුසුදුසු ලෙස හැසිරවීම සහ ප්‍රමාණවත් නඩත්තුවක් නොමැතිකම ඇතුළත් වේ. ඉරිතැලීම් ග්‍රැනයිට් සංරචකවල ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව අඩපණ කළ හැකි අතර, ඒවා අසාර්ථක වීමට වැඩි අවදානමක් ඇති කරයි. එපමණක් නොව, ඉරිතැලීම් ආතති සාන්ද්‍රණය සඳහා විභව ස්ථාන ලෙස ක්‍රියා කළ හැකි අතර එමඟින් තවදුරටත් හානි සිදුවිය හැකිය.
2. චිපින්:
ග්‍රැනයිට් සංරචකවල සිදුවිය හැකි තවත් දෝෂයක් වන්නේ චිප් කිරීමයි. අහම්බෙන් සිදුවන ගැටුම්, නුසුදුසු ලෙස හැසිරවීම හෝ ගෙවී යාම සහ ඉරීම වැනි විවිධ සිදුවීම් හේතුවෙන් චිප්ස් ඇති විය හැක. චිප්ස් කරන ලද ග්‍රැනයිට් සංරචක රළු මතුපිටක් සහ අසමාන දාර තිබිය හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් වලට හානි විය හැකිය. තවද, චිප්ස් කිරීම සංරචකයේ මාන නිරවද්‍යතාවයට හානි කළ හැකි අතර එමඟින් උපකරණ අක්‍රිය වීමට සහ නිෂ්පාදන අක්‍රිය කාලයට හේතු වේ.
3. ඇඳීම සහ ඉරීම:
අඛණ්ඩ භාවිතය සහ උල්ෙල්ඛ ද්‍රව්‍යවලට නිරන්තරයෙන් නිරාවරණය වීම නිසා ග්‍රැනයිට් සංරචක ගෙවී යාමට හේතු විය හැක. කාලයත් සමඟ ගෙවී යාමෙන් වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව අඩු විය හැක. ඊට අමතරව, එය නඩත්තු වියදම් සහ ප්‍රතිස්ථාපන වියදම් වැඩි කිරීමට හේතු විය හැක.
4. නොගැලපීම:
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී අවශ්‍ය නිරවද්‍යතාවය සහ අනුකූලතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා වේෆර් සැකසුම් මේස සහ චක් වැනි ග්‍රැනයිට් සංරචක නිවැරදිව පෙළගස්වා තිබිය යුතුය. කෙසේ වෙතත්, නුසුදුසු ස්ථාපනය, කම්පනවලට නිරාවරණය වීම හෝ සංරචක හානි වැනි විවිධ හේතූන් මත වැරදි පෙළගැස්ම සිදුවිය හැකිය. වැරදි පෙළගැස්ම වේෆර් නිෂ්පාදනයේ සාවද්‍යතාවයන්ට හේතු විය හැකි අතර එමඟින් දෝෂ සහිත නිෂ්පාදන ඇති විය හැකිය.
5. විඛාදනය:
ග්‍රැනයිට් යනු බොහෝ රසායනික ද්‍රව්‍ය සහ ද්‍රාවකවලට ප්‍රතිරෝධී වන නිෂ්ක්‍රීය ද්‍රව්‍යයකි. කෙසේ වෙතත්, අම්ල හෝ ක්ෂාර වැනි ආක්‍රමණශීලී රසායනික ද්‍රව්‍යවලට දිගු කලක් නිරාවරණය වීමෙන් ග්‍රැනයිට් සංරචක විඛාදනයට ලක් විය හැක. විඛාදනය හේතුවෙන් මතුපිට වලවල්, දුර්වර්ණ වීම් හෝ මාන නිරවද්‍යතාවය නැති විය හැක.
නිගමනය:
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ස්ථායිතාව සහ විශ්වසනීයත්වය සඳහා ග්‍රැනයිට් සංරචක ඉතා වැදගත් වේ. කෙසේ වෙතත්, ඉරිතැලීම්, කැඩීම, ගෙවී යාම සහ ඉරීම, නොගැලපීම සහ විඛාදනය වැනි දෝෂ මෙම සංරචකවල ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව අඩාල කළ හැකිය. නිසි නඩත්තුව, ප්‍රමාණවත් ලෙස හැසිරවීම සහ නිතිපතා පරීක්ෂා කිරීම මෙම දෝෂවල බලපෑම වැළැක්වීමට සහ අවම කිරීමට උපකාරී වේ. මෙම දෝෂ ඵලදායී ලෙස ආමන්ත්‍රණය කිරීමෙන්, අපට මෙම තීරණාත්මක සංරචකවල අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කළ හැකි අතර වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ගුණාත්මකභාවය සහ නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගත හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: ජනවාරි-02-2024