වේෆර් සැකසුම් උපකරණ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ අනිවාර්ය අංගයකි.මෙම යන්ත්‍ර ග්රැනයිට් සංරචක ඇතුළු විවිධ සංරචක වලින් සමන්විත වේ.ග්රැනයිට් එහි විශිෂ්ට ස්ථාවරත්වය සහ කල්පැවැත්ම නිසා මෙම සංරචක සඳහා කදිම ද්රව්යයකි.කෙසේ වෙතත්, වෙනත් ඕනෑම ද්‍රව්‍යයක් මෙන්, ග්රැනයිට් සංරචක වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ක්‍රියාකාරීත්වයට සහ කාර්යක්ෂමතාවයට බලපාන දෝෂ වලට ගොදුරු වේ.මෙම ලිපියෙන් අපි වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්රැනයිට් සංරචකවල පොදු දෝෂ කිහිපයක් සාකච්ඡා කරමු.
1. ඉරිතැලීම්:
ග්රැනයිට් සංරචකවල වඩාත් පොදු දෝෂයක් වන්නේ ඉරිතැලීම් ය.මෙම ඉරිතැලීම් අධික උෂ්ණත්ව විචල්‍යයන්, යාන්ත්‍රික ආතතිය, නුසුදුසු ලෙස හැසිරවීම සහ ප්රමාණවත් නඩත්තු නොකිරීම ඇතුළු විවිධ සාධක නිසා ඇති විය හැක.ඉරිතැලීම් ග්රැනයිට් සංරචකවල ව්‍යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව අඩාල කළ හැකි අතර, ඒවා අසාර්ථක වීමට වැඩි අවදානමක් ඇත.එපමණක් නොව, ඉරිතැලීම් ආතතිය සාන්ද්රණය සඳහා විභව ස්ථාන ලෙස ක්රියා කළ හැකි අතර, එය තවදුරටත් හානි කිරීමට හේතු වේ.
2. චිපින්:
ග්රැනයිට් සංරචකවල ඇති විය හැකි තවත් දෝෂයක් වන්නේ චිප් කිරීමයි.හදිසි ගැටුම්, නුසුදුසු ලෙස හැසිරවීම, හෝ ඇඳීම් සහ ඉරීම වැනි විවිධ සිදුවීම් හේතුවෙන් චිපින් හටගත හැක.කැඩුණු ග්රැනයිට් සංරචක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර්වලට හානි කළ හැකි රළු මතුපිටක් සහ අසමාන දාර තිබිය හැක.තවද, චිපින් කිරීම මඟින් සංරචකයේ මාන නිරවද්‍යතාවය අඩාල කළ හැකි අතර, උපකරණ අක්‍රිය වීමට සහ නිෂ්පාදන අක්‍රිය වීමට හේතු වේ.
3. ඇඳීම සහ ඉරීම:
අඛණ්ඩ භාවිතය සහ උල්ෙල්ඛ ද්‍රව්‍යවලට නිරන්තරයෙන් නිරාවරණය වීමෙන් ග්රැනයිට් සංරචක දිරාපත් වීමට හා ඉරී යාමට හේතු විය හැක.කාලයාගේ ඇවෑමෙන්, ඇඳීම් සහ ඉරීම, වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල කාර්ය සාධනය සහ කාර්යක්ෂමතාව අඩුවීමට හේතු විය හැක.මීට අමතරව, එය නඩත්තු වියදම් සහ ආදේශන වියදම් වැඩි කිරීමට හේතු විය හැක.
4. නොගැලපීම:
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී අවශ්‍ය නිරවද්‍යතාවය සහ අනුකූලතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා වේෆර් සැකසුම් වගු සහ චක් වැනි ග්රැනයිට් සංරචක නිශ්චිතවම පෙළගැස්විය යුතුය.කෙසේ වෙතත්, නුසුදුසු ස්ථාපනය, කම්පනවලට නිරාවරණය වීම හෝ සංරචක හානි වැනි විවිධ හේතු නිසා නොගැලපීම සිදු විය හැක.නොගැලපීම නිසා වේෆර් නිෂ්පාදනයේ සාවද්‍යතාවයන් ඇති විය හැකි අතර එමඟින් දෝෂ සහිත නිෂ්පාදන ඇති විය හැක.
5. විඛාදනය:
ග්රැනයිට් යනු බොහෝ රසායනික ද්‍රව්‍ය සහ ද්‍රාවක වලට ප්‍රතිරෝධී වන නිෂ්ක්‍රීය ද්රව්යයකි.කෙසේ වෙතත්, අම්ල හෝ ක්ෂාර වැනි ආක්‍රමණශීලී රසායනික ද්‍රව්‍යවලට දිගු කලක් නිරාවරණය වීමෙන් ග්රැනයිට් සංරචක විඛාදනයට හේතු විය හැක.විඛාදනය මතුපිට වළවල්, දුර්වර්ණ වීම හෝ මාන නිරවද්‍යතාවය නැති වීම සිදු විය හැක.
නිගමනය:
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ස්ථාවරත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය සඳහා ග්රැනයිට් සංරචක ඉතා වැදගත් වේ.කෙසේ වෙතත්, ඉරිතැලීම්, ඉරිතැලීම්, ඇඳීම් සහ ඉරීම, නොගැලපීම සහ විඛාදනය වැනි දෝෂ මෙම සංරචකවල ක්‍රියාකාරීත්වය සහ කාර්යක්ෂමතාව අඩාල කළ හැකිය.නිසි නඩත්තු කිරීම, ප්රමාණවත් ලෙස හැසිරවීම සහ නිතිපතා පරීක්ෂා කිරීම මෙම දෝෂ වල බලපෑම වළක්වා ගැනීමට සහ අවම කිරීමට උපකාරී වේ.මෙම දෝෂ ඵලදායී ලෙස ආමන්ත්‍රණය කිරීමෙන්, අපට මෙම තීරණාත්මක සංරචකවල අඛණ්ඩ ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කළ හැකි අතර වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ගුණාත්මකභාවය සහ නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගත හැකිය.
පසු කාලය: ජනවාරි-02-2024