ඉහළ මට්ටමේ නිෂ්පාදන සහ අති නවීන විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ ක්ෂේත්‍රවල, නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාව අතිශය නිරවද්‍ය ක්‍රියාකාරිත්වයක් ලබා ගැනීම සඳහා ප්‍රධාන උපකරණ වේ. ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනම වේදිකාවේ මූලික ආධාරක කොටස වන අතර එහි ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩ කරන පරිසරයට සමීපව සම්බන්ධ වේ. මෙම පාරිසරික අවශ්‍යතා අවබෝධ කර ගැනීම සහ සපුරාලීම වේදිකාවේ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම පමණක් නොව, අදාළ ක්ෂේත්‍රවල එහි තරඟකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා ව්‍යවසායයේ වැදගත් කොටසක් ද විය හැකි අතර එය පහත විස්තරාත්මකව විස්තර කෙරේ.
1. උෂ්ණත්වය: මාන ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා නිවැරදි පාලනය
ග්‍රැනයිට් එහි ස්ථායිතාව සඳහා ප්‍රසිද්ධ වුවද, එහි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය ශුන්‍ය නොවන අතර කුඩා උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් තවමත් එහි මාන නිරවද්‍යතාවයට බලපෑ හැකිය. සාමාන්‍යයෙන් කිවහොත්, ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය 5-7 × 10⁻⁶/℃ වේ. නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාවේ යෙදුම් අවස්ථාවෙහිදී, මෙම සුළු වෙනස වේදිකාව මගින් විස්තාරණය කරනු ලැබේ, එය චලන නිරවද්‍යතාවයේ අපගමනයට හේතු විය හැක. උදාහරණයක් ලෙස, අර්ධ සන්නායක චිප නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී, ඩැනාමි මට්ටමේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්‍යතා අවශ්‍යතා සඳහා ලිතෝග්‍රැෆි ක්‍රියාවලිය, 1 ° C පරිසර උෂ්ණත්ව උච්චාවචනය, මීටර් 1 ක ග්‍රැනයිට් පාදයේ පැති දිග මයික්‍රෝන 5-7 ක රේඛීය ප්‍රසාරණය හෝ හැකිලීමක් ඇති කළ හැකි අතර, එය චිප් ලිතෝග්‍රැෆි රටා අපගමනය කිරීමට ප්‍රමාණවත් වන අතර අස්වැන්න අඩු කරයි. එබැවින්, ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනමකින් සමන්විත නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන වේදිකාව, පරිපූර්ණ වැඩ කරන පරිසර උෂ්ණත්වය 20 ° C ± 1 ° C දී දැඩි ලෙස පාලනය කළ යුතුය, ව්‍යවසායන් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් නියත උෂ්ණත්ව වායු සමීකරණ පද්ධතියක් ස්ථාපනය කළ හැකිය, පරිසර උෂ්ණත්වය අඛණ්ඩව නිරීක්ෂණය කර නිවැරදිව සකස් කළ හැකිය, වේදිකාවේ ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම සඳහා ග්‍රැනයිට් පාදක ස්ථායිතාවයේ ප්‍රමාණය පවත්වා ගන්න.
2. ආර්ද්‍රතාවය: සාධාරණ පාලනය, මූලික ක්‍රියාකාරිත්වය ආරක්ෂා කිරීම
ආර්ද්‍රතාවය නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට් පාදම කෙරෙහි ද සැලකිය යුතු බලපෑමක් ඇති කරයි. ඉහළ ආර්ද්‍රතා පරිසරයකදී, ග්‍රැනයිට් ජල වාෂ්ප අවශෝෂණය කර ගැනීමට පහසු වන අතර, මතුපිට ඝනීභවනය විය හැකි අතර, එය වායු පාවෙන පද්ධතියේ සාමාන්‍ය ක්‍රියාකාරිත්වයට බාධා කරනවා පමණක් නොව, ග්‍රැනයිට් මතුපිට දිගුකාලීන ඛාදනයකට තුඩු දෙන අතර, එහි නිරවද්‍යතාවය සහ සේවා කාලය අඩු කරයි. දෘශ්‍ය කාච ඇඹරුම් වැඩමුළුව උදාහරණයක් ලෙස ගතහොත්, දිගු කාලයක් ආර්ද්‍රතාවය 60% RH ට වඩා වැඩි නම්, ග්‍රැනයිට් පාදයේ මතුපිටට අවශෝෂණය කර ඇති ජල වාෂ්ප වායු පාවෙන පටලයේ ඒකාකාරිත්වය විනාශ කරන අතර එමඟින් කාච ඇඹරුම් නිරවද්‍යතාවය සහ මතුපිට දෝෂ අඩු වේ. එබැවින්, වැඩ කරන පරිසරයේ සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවය 40%-60% RH අතර පාලනය කළ යුතුය. තථ්‍ය කාලය තුළ ආර්ද්‍රතාවය නිරීක්ෂණය කිරීමට සහ පාලනය කිරීමට, නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට් පදනම සඳහා සුදුසු ආර්ද්‍රතා පරිසරයක් නිර්මාණය කිරීමට සහ නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාවේ ස්ථායී ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීමට ව්‍යවසායන් විජලනය කරන්නන්, ආර්ද්‍රතා සංවේදක සහ වෙනත් උපකරණ භාවිතා කළ හැකිය.
3. පිරිසිදුකම: දැඩි ලෙස පාලනය කිරීම, අංශු මැදිහත්වීම් ඉවත් කිරීම
දූවිලි අංශු නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාවේ "සතුරා" වන අතර ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනමට විශාල හානියක් සිදු කරයි. කුඩා අංශු ගෑස් පාවෙන ස්ලයිඩරය සහ ග්‍රැනයිට් පාදය අතර ගෑස් පටල පරතරයට ඇතුළු වූ පසු, ඒවා ගෑස් පටලයේ ඒකාකාරිත්වය විනාශ කළ හැකිය, ඝර්ෂණය වැඩි කළ හැකි අතර පාදයේ මතුපිට පවා සීරීමට ලක් කළ හැකි අතර එය වේදිකා චලනයේ නිරවද්‍යතාවයට බරපතල ලෙස බලපායි. අභ්‍යවකාශ කොටස්වල අතිශය නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ වැඩමුළුවේදී, වාතයේ ඇති දූවිලි අංශු ග්‍රැනයිට් පාදයට වැටුනහොත්, යන්ත්‍රෝපකරණ මෙවලමෙහි චලන ගමන් පථය අපගමනය විය හැකි අතර එය කොටස්වල යන්ත්‍රෝපකරණ නිරවද්‍යතාවයට බලපායි. එබැවින්, වැඩ කරන ප්‍රදේශය ඉතා පිරිසිදුව තබා ගත යුතු අතර 10,000 හෝ ඊට වැඩි පිරිසිදුකමේ ප්‍රමිතියකට ළඟා විය යුතුය. ව්‍යවසායන් ඉහළ කාර්යක්ෂමතා වායු පෙරහන් (HEPA) ස්ථාපනය කිරීමෙන් වාතයේ ඇති දූවිලි අංශු පෙරීමට හැකි අතර, මිනිසුන් විසින් ගෙන එන දූවිලි අඩු කිරීමට සහ ග්‍රැනයිට් පාදයේ සහ නිරවද්‍යතා ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාවේ ඉහළ නිරවද්‍යතා මෙහෙයුම් පරිසරය පවත්වා ගැනීමට කාර්ය මණ්ඩලයට අවශ්‍ය වේ.
4. කම්පනය: සුමට අවකාශයක් නිර්මාණය කිරීම සඳහා ඵලදායී හුදකලාව
බාහිර කම්පනය නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන වේදිකාවේ නිරවද්‍යතාවයට බරපතල ලෙස බාධා කරනු ඇත, නමුත් නිරවද්‍ය ග්‍රැනයිට් පාදයට යම් කම්පන දුර්වල කිරීමේ ධාරිතාවක් ඇත, නමුත් ඉහළ ශක්ති කම්පනය තවමත් එහි බෆර සීමාව බිඳ දැමිය හැකිය. කර්මාන්ත ශාලාව වටා ඇති ගමනාගමනය සහ විශාල යාන්ත්‍රික උපකරණ ක්‍රියාත්මක වීමෙන් ජනනය වන කම්පනය බිම හරහා ග්‍රැනයිට් පාදයට සම්ප්‍රේෂණය වන අතර එමඟින් වේදිකා චලනයේ නිරවද්‍යතාවයට බාධා ඇති වේ. ඉහළ මට්ටමේ CMM හි, කම්පනය මිනුම් පරීක්ෂණය සහ මැනීමට ඇති වැඩ කොටස අතර සම්බන්ධතාවය අස්ථායී වීමට හේතු විය හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස මිනුම් දත්ත අපගමනය වේ. මෙම ගැටළුව විසඳීම සඳහා, උපකරණ ස්ථාපන ප්‍රදේශයේ කම්පන හුදකලා පෑඩ් තැබීම, කම්පන හුදකලා අත්තිවාරම ගොඩනැගීම හෝ බාහිර කම්පනය සක්‍රීයව සමනය කිරීම සඳහා ක්‍රියාකාරී කම්පන හුදකලා පද්ධතියක් භාවිතා කිරීම සහ ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනම සහ නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාව සඳහා නිහඬ සහ ස්ථාවර වැඩ කරන පරිසරයක් නිර්මාණය කිරීම වැනි ඵලදායී කම්පන හුදකලා පියවරයන් අනුගමනය කිරීම අවශ්‍ය වේ.
ඉහත පාරිසරික අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා, නිරවද්‍ය ස්ථිතික පීඩන වායු පාවෙන චලන වේදිකාවේ ග්‍රැනයිට් නිරවද්‍යතා පදනමේ වාසි සම්පූර්ණයෙන් ක්‍රියාත්මක කිරීම සඳහා, වේදිකාව විවිධ කර්මාන්ත සඳහා ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් සහ ඉහළ ස්ථායිතාවයකින් යුත් චලන පාලන සේවා සපයන බව සහතික කිරීම සඳහා. නිෂ්පාදන පරිසරය තුළ ව්‍යවසායන් මෙම විස්තර කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ හැකි නම්, ඔවුන් නිරවද්‍ය නිෂ්පාදන, විද්‍යාත්මක පර්යේෂණ සහ අනෙකුත් ක්ෂේත්‍රවල අවස්ථාව ප්‍රයෝජනයට ගෙන, ඔවුන්ගේ තරඟකාරිත්වය වැඩි දියුණු කර, තිරසාර සංවර්ධනයක් අත්කර ගනු ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: 2025 අප්‍රේල්-10