අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්ෂේත්‍රයේ, වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණවල නිරවද්‍යතාවය චිප්ස් වල ගුණාත්මකභාවය සහ අස්වැන්න සෘජුවම තීරණය කරයි. මූලික හඳුනාගැනීමේ සංරචක සඳහා සහාය වන අත්තිවාරම ලෙස, උපකරණ පාදක ද්‍රව්‍යයේ මාන ස්ථායිතාව උපකරණයේ දිගුකාලීන මෙහෙයුම් ක්‍රියාකාරිත්වය සඳහා තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ග්‍රැනයිට් සහ වාත්තු යකඩ යනු වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ සඳහා බහුලව භාවිතා වන මූලික ද්‍රව්‍ය දෙකකි. වසර 10 ක සංසන්දනාත්මක අධ්‍යයනයකින් මාන ස්ථායිතාව අනුව ඒවා අතර සැලකිය යුතු වෙනස්කම් අනාවරණය වී ඇති අතර, උපකරණ තෝරා ගැනීම සඳහා වැදගත් යොමු කිරීම් සපයයි.
පර්යේෂණාත්මක පසුබිම සහ නිර්මාණය
අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය හඳුනාගැනීමේ නිරවද්‍යතාවය සඳහා අතිශයින් ඉහළ අවශ්‍යතා දරයි. මයික්‍රෝමීටර මට්ටමේ මාන අපගමනය පවා චිප් ක්‍රියාකාරිත්වයේ පහත වැටීමකට හෝ සීරීමට පවා හේතු විය හැක. දිගු කාලීන භාවිතයේදී ග්‍රැනයිට් සහ වාත්තු යකඩවල මාන ස්ථායිතාව ගවේෂණය කිරීම සඳහා, පර්යේෂණ කණ්ඩායම සැබෑ වැඩ කරන පරිසරයන් අනුකරණය කරන අත්හදා බැලීම් නිර්මාණය කළේය. එකම පිරිවිතරයේ ග්‍රැනයිට් සහ වාත්තු යකඩ සාම්පල තෝරාගෙන පාරිසරික කුටියක තැන්පත් කරන ලද අතර එහිදී උෂ්ණත්වය 15℃ සිට 35℃ දක්වා උච්චාවචනය වූ අතර ආර්ද්‍රතාවය 30% සිට 70% දක්වා RH දක්වා උච්චාවචනය විය. උපකරණ ක්‍රියාත්මක කිරීමේදී යාන්ත්‍රික කම්පනය කම්පන වගුවක් හරහා අනුකරණය කරන ලදී. සාම්පලවල ප්‍රධාන මානයන් සෑම කාර්තුවකටම ඉහළ නිරවද්‍යතාවයකින් යුත් ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටරයක් භාවිතයෙන් මනිනු ලැබූ අතර, දත්ත වසර 10 ක් අඛණ්ඩව වාර්තා කරන ලදී.
පර්යේෂණාත්මක ප්‍රතිඵලය: ග්‍රැනයිට් වල නිරපේක්ෂ වාසිය
වසර දහයක පර්යේෂණාත්මක දත්තවලින් පෙනී යන්නේ ග්‍රැනයිට් උපස්ථරය විශ්මයජනක ස්ථාවරත්වයක් පෙන්නුම් කරන බවයි. එහි තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අතිශයින් අඩු වන අතර, සාමාන්‍යය 4.6×10⁻⁶/℃ පමණි. දැඩි උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් යටතේ, මාන අපගමනය සෑම විටම ±0.001mm තුළ පාලනය වේ. ආර්ද්‍රතා වෙනස්කම් හමුවේ, ග්‍රැනයිට් වල ඝන ව්‍යුහය එය පාහේ බලපෑමෙන් තොර කරයි, සහ මැනිය හැකි මාන වෙනස්කම් සිදු නොවේ. යාන්ත්‍රික කම්පන පරිසරයක, ග්‍රැනයිට් වල විශිෂ්ට තෙතමනය කිරීමේ ලක්ෂණ කම්පන ශක්තිය ඵලදායී ලෙස අවශෝෂණය කරන අතර, මාන උච්චාවචනය අතිශයින් කුඩා වේ.
ඊට වෙනස්ව, වාත්තු යකඩ උපස්ථරය සඳහා, එහි තාප ප්‍රසාරණයේ සාමාන්‍ය සංගුණකය 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃ දක්වා ළඟා වන අතර, වසර 10ක් ඇතුළත උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් නිසා ඇතිවන උපරිම මාන අපගමනය ±0.05mm වේ. තෙතමනය සහිත පරිසරයක, වාත්තු යකඩ මලකඩ සහ විඛාදනයට ගොදුරු වේ. සමහර සාම්පලවල දේශීය විරූපණය පෙන්නුම් කරන අතර, මාන අපගමනය තවදුරටත් වැඩි වේ. යාන්ත්‍රික කම්පනයේ ක්‍රියාකාරිත්වය යටතේ, වාත්තු යකඩ දුර්වල කම්පන තෙතමනය කිරීමේ කාර්ය සාධනයක් ඇති අතර එහි ප්‍රමාණය නිතර උච්චාවචනය වන අතර, වේෆර් පරීක්ෂාවේ ඉහළ නිරවද්‍යතා අවශ්‍යතා සපුරාලීම දුෂ්කර කරයි.
ස්ථාවරත්වයේ වෙනසට අත්‍යවශ්‍ය හේතුව
භූ විද්‍යාත්මක ක්‍රියාවලීන් හරහා ග්‍රැනයිට් වසර මිලියන සිය ගණනක් පුරා නිර්මාණය විය. එහි අභ්‍යන්තර ව්‍යුහය ඝන සහ ඒකාකාර වන අතර ඛනිජ ස්ඵටික ස්ථායීව සකස් කර ඇති අතර එමඟින් අභ්‍යන්තර ආතතිය ස්වභාවයෙන්ම ඉවත් කරයි. මෙය උෂ්ණත්වය, ආර්ද්‍රතාවය සහ කම්පනය වැනි බාහිර සාධකවල වෙනස්කම් වලට අතිශයින් සංවේදී නොවේ. වාත්තු යකඩ වාත්තු කිරීමේ ක්‍රියාවලියෙන් සාදන අතර ඇතුළත සිදුරු සහ වැලි සිදුරු වැනි ක්ෂුද්‍ර දෝෂ ඇත. මේ අතර, වාත්තු කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී ජනනය වන අවශේෂ ආතතිය බාහිර පරිසරයේ උත්තේජනය යටතේ මාන වෙනස්කම් ඇති කිරීමට ඉඩ ඇත. වාත්තු යකඩවල ලෝහමය ගුණාංග නිසා එය ආර්ද්‍රතාවය හේතුවෙන් මලකඩ කෑමට, ව්‍යුහාත්මක හානි වේගවත් කිරීමට සහ මාන ස්ථායිතාව අඩු කිරීමට ඉඩ සලසයි.
වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ කෙරෙහි බලපෑම
ග්‍රැනයිට් උපස්ථරයක් මත පදනම් වූ වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ, එහි ස්ථායී මාන ක්‍රියාකාරිත්වය සමඟින්, පරීක්ෂණ පද්ධතිය දිගු කාලයක් ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් පවත්වා ගැනීම, වැරදි විනිශ්චය සහ උපකරණ නිරවද්‍යතා ප්ලාවිතය නිසා ඇතිවන අස්ථානගත වූ අනාවරණය අඩු කිරීම සහ නිෂ්පාදන අස්වැන්න සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කිරීම සහතික කළ හැකිය. මේ අතර, අඩු නඩත්තු අවශ්‍යතා උපකරණවල සම්පූර්ණ ජීවන චක්‍ර පිරිවැය අඩු කරයි. දුර්වල මාන ස්ථායිතාව හේතුවෙන් වාත්තු යකඩ උපස්ථර භාවිතා කරන උපකරණ සඳහා නිතර ක්‍රමාංකනය සහ නඩත්තු කිරීම අවශ්‍ය වේ. මෙය මෙහෙයුම් පිරිවැය වැඩි කරනවා පමණක් නොව, ප්‍රමාණවත් නිරවද්‍යතාවයක් නොමැතිකම හේතුවෙන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මක භාවයට ද බලපෑ හැකි අතර එමඟින් විභව ආර්ථික පාඩු ඇති විය හැකිය.
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ වඩා හොඳ ගුණාත්මක භාවයක් සඳහා යොමු වීමේ ප්‍රවණතාවය යටතේ, වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ සඳහා මූලික ද්‍රව්‍ය ලෙස ග්‍රැනයිට් තෝරා ගැනීම නිසැකවම උපකරණ ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීමට සහ ව්‍යවසායන්හි තරඟකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට ඥානවන්ත පියවරකි.
පළ කිරීමේ කාලය: මැයි-14-2025