ග්රැනයිට් වසර ගණනාවක් තිස්සේ අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදනය හා සැලසුම් කිරීමේදී බහුලව භාවිතා වේ. මෙය එහි විශිෂ්ට ගුණාංග නිසා වන අතර එමඟින් එය බොහෝ යෙදුම් සඳහා කදිම ද්රව්යයක් බවට පත්වේ. ග්රැනයිට් ඇඳීමට, විඛාදනයට සහ තාප කම්පන වලට බෙහෙවින් ප්රතිරෝධී වන අතර එමඟින් එය කටුක පරිසරවල භාවිතයට සුදුසු වේ. මෙම ලිපියෙන්, අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් වල පොදු යෙදුම් කිහිපයක් අපි සාකච්ඡා කරමු.
1. මිනුම් විද්යා උපකරණ
අර්ධ සන්නායක උපාංගවල මානයන් සහ ගුණාංග මැනීම සඳහා මිනුම් විද්යා උපකරණ භාවිතා කරයි. එහි ඉහළ මාන ස්ථායිතාව නිසා එවැනි උපකරණ සඳහා පදනමක් ලෙස ග්රැනයිට් බොහෝ විට භාවිතා වේ. ග්රැනයිට් මතුපිට පැතලි බව සහ නිරවද්යතාවය නිවැරදි මිනුම් සඳහා කදිම යොමුවක් සපයයි. ඊට අමතරව, ග්රැනයිට් වල තාප ස්ථායිතාව උෂ්ණත්ව විචලනයන් හේතුවෙන් මාන වෙනස්කම් ඇතිවීමේ අවදානම අඩු කරයි.
2. දෘශ්ය උපකරණ
අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන ලිතෝග්රැෆි යන්ත්ර වැනි දෘශ්ය උපකරණවල ද ග්රැනයිට් භාවිතා වේ. මෙම යන්ත්රවල භාවිතා වන ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් දෘශ්ය විද්යාව සඳහා ග්රැනයිට් පදනම ස්ථාවර වේදිකාවක් සපයයි. ග්රැනයිට් වල විශිෂ්ට කම්පන තෙතමනය කිරීමේ ගුණාංග ද දෘශ්ය විද්යාවේ ක්රියාකාරිත්වයට සහ නිරවද්යතාවයට බලපෑම් කළ හැකි කම්පන අඩු කිරීමට උපකාරී වේ.
3. වේෆර් සැකසුම් උපකරණ
අර්ධ සන්නායක වේෆර් සැකසීමට පිරිසිදු කිරීම, කැටයම් කිරීම සහ තැන්පත් කිරීම ඇතුළු පියවර කිහිපයක් ඇතුළත් වේ. වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල සංරචක කිහිපයක ග්රැනයිට් භාවිතා වේ. නිදසුනක් ලෙස, සිලිකන් වේෆර් මත තුනී පටල තැන්පත් කිරීමට භාවිතා කරන රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ (CVD) උපකරණ සඳහා උපස්ථරයක් ලෙස ග්රැනයිට් භාවිතා වේ. එහි විශිෂ්ට රසායනික ප්රතිරෝධය සහ මාන ස්ථායිතාව අත්යවශ්ය වන කැටයම් කුටි සහ අනෙකුත් ක්රියාවලි භාජන ඉදිකිරීමේදී ද ග්රැනයිට් භාවිතා වේ.
4. පරීක්ෂණ උපකරණ
අර්ධ සන්නායක උපාංගවල ක්රියාකාරිත්වය සහ ගුණාත්මකභාවය සත්යාපනය කිරීම සඳහා පරීක්ෂණ උපකරණ භාවිතා කරයි. එහි ඉහළ දෘඩතාව සහ ස්ථායිතාව නිසා ග්රැනයිට් බොහෝ විට පරීක්ෂණ උපකරණ සඳහා පදනමක් ලෙස භාවිතා කරයි. ග්රැනයිට් සංවේදී පරීක්ෂණ උපකරණ සමඟ ඇඟිලි ගැසීම් ඉවත් කරන චුම්භක නොවන සහ සන්නායක නොවන වේදිකාවක් සපයයි. ග්රැනයිට් මතුපිට පැතලි බව සහ නිරවද්යතාවය ඉතා නිවැරදි පරීක්ෂණ ප්රතිඵල සඳහා ඉඩ සලසයි.
නිගමනය
නිගමනයක් ලෙස, ග්රැනයිට් යනු අර්ධ සන්නායක උපකරණ සැලසුම් කිරීමේදී සහ නිෂ්පාදනය කිරීමේදී වැදගත් ද්රව්යයකි. මාන ස්ථායිතාව, තාප ස්ථායිතාව, රසායනික ප්රතිරෝධය සහ කම්පන තෙතමනය ඇතුළු එහි විශිෂ්ට ගුණාංග නිසා එය බොහෝ යෙදුම් සඳහා කදිම ද්රව්යයක් බවට පත් වේ. මිනුම් විද්යා උපකරණ, දෘශ්ය උපකරණ, වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සහ පරීක්ෂණ උපකරණ ඇතුළු අර්ධ සන්නායක උපකරණවල තීරණාත්මක සංරචක කිහිපයක ග්රැනයිට් භාවිතා වේ. වේගවත්, කුඩා සහ බලවත් අර්ධ සන්නායක උපාංග සඳහා ඇති ඉල්ලුම අඛණ්ඩව වර්ධනය වන විට, අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් භාවිතය අත්යවශ්ය ලෙස පවතිනු ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: 2024 අප්රේල්-08