නිරවද්ය යන්ත්රෝපකරණ සඳහා ස්ථාවර හා කල් පවත්නා ආධාරක ව්යුහයක් සැපයීම නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ ග්රැනයිට් මැෂින් මැෂින් බහුලව භාවිතා වේ. වේෆර් සැකසුම් වලදී, නිරවද්යතාවය හා නිරවද්යතාවය පරම හා නිරවද්යතාව වන අතර ඒවායේ ඉහළ දෘඩතාව, අඩු තාප ව්යාප්තිය සහ විශිෂ්ට කම්පන හා විශිෂ්ට කම්පන තෙත් කිරීමේ හැකියාවන් නිසා ග්රැනයිට් මැෂින් පදනම් කර ගැනීම විශේෂයෙන් ප්රයෝජනවත් වේ. කෙසේ වෙතත්, ප්රශස්ත කාර්ය සාධනය සහ දීර් onge ායුෂ බව සහතික කිරීම සඳහා, කළුගල් යන්ත්ර කඳවුර සඳහා සුදුසු සේවා පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ. මෙම ලිපියෙන්, අපි සේවා පරිසරවල වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා වන ග්රැනයිට් යන්ත්රයේ අවශ්යතා සහ සේවා පරිසර විද්යාව පවත්වා ගන්නේ කෙසේද යන්න පිළිබඳව අපි සාකච්ඡා කරමු.
වේෆර් සැකසුම් වලදී ග්රැනයිට් යන්ත්ර කඳවුරේ අවශ්යතා
උෂ්ණත්ව පාලනය
ග්රැනයිට් මැෂින් සඳහා සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක අත්යවශ්ය අංගයක් වන්නේ උෂ්ණත්වය පාලනයයි. උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් ග්රැනයිට් පුළුල් කිරීමට හෝ කොන්ත්රාත්තුවට හේතු විය හැක. වේෆර් සැකසීමට නිරවද්යතාවයක් අවශ්ය වන නිසා, වැඩ කරන පරිසරයේ ස්ථාවර උෂ්ණත්වයක් පවත්වා ගැනීම, සෙල්සියස් අංශක 18.25 අතර පරාසයක පවතී. එබැවින්, උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම්වල බලපෑම අවම කිරීම සඳහා පිරිසිදු කාමරයක් වැනි ස්ථාවර උෂ්ණත්ව පාලනය සහිත ස්ථායී උෂ්ණත්ව පාලනය සහිත පරිසරයක ග්රැනයිට් යන්ත්ර පදනම රණනා කිරීම රෙකමදාරු කිරීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ.
ආර්ද්රතා පාලනය
උෂ්ණත්වය පාලනය කිරීමට අමතරව, සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා ආර්ද්රතා පාලනය සමාන ඉතා වැදගත් වේ. ඉතා ආර්ද්රතා මට්ටම් මගින් කුඩා අස්ථාවරත්වය, විඛාදනයට හෝ ඉරිතැලීම් ඇති විය හැක. එබැවින්, ග්රැනයිට් යන්ත්ර කඳවුරු සඳහා වැඩ කරන පරිසරය 40-60% ක් පමණ red ානීය ආර්ද්රතාවයකින් පවත්වාගෙන යාම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ. ආර්ද්රතා මට්ටම් පාලනය කිරීම සඳහා වායු සමීකරණ පද්ධති සහ විහිලයිඩ්රිෆර්ස් යනු make ලදායී මෙවලම් වේ.
පිරිසිදුකම
ග්රැනයිට් මැෂින් මැෂින් සඳහා සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක තවත් තීරණාත්මක අවශ්යතාවයක් පිරිසිදුකමයි. දූෂණය මඟින් අන්වීක්ෂීය සීරීම් හෝ ග්රැනයිට් පෘෂ් on යේ වලවල් ඇති කළ හැකි අතර එය යන්ත්රයේ නිරවද්යතාවයට බලපායි. වේෆර් සැකසුම් සාමාන්යයෙන් පිරිසිදු කාමරයක් වැනි ඉතා පාලිත හා පිරිසිදු පරිසරයක් සම්බන්ධ වේ, එහිදී පිරිසිදුකම ඉහළ ප්රමුඛතාවයක් ඇත. එමනිසා, කළුගල් යන්ත්ර පදනම පිරිසිදුව, දූවිලි වලින් හා වෙනත් අපවිත්ර ද්රව්ය තබා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ. වැඩිම පිරිසිදුකමේ මට්ටම සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා පිරිසිදු කිරීමේ කාලසටහනක් අනුගමනය කළ යුතුය.
බිම් ස්ථායිතාව
බිම් ස්ථායිතාව ග්රැනයිට් මැෂින් පදනම් සඳහා තවත් වැදගත් අවශ්යතාවකි. වේෆර් සැකසුම් නිරවද්යතාව හා නිරවද්යතාවයට බලපාන යන්ත්රයට ඕනෑම කම්පන හෝ චලනය යන්ත්රයට කම්පනයක් ඇති කළ හැකිය. එබැවින්, කළුගල් යන්ත්ර කඳවුර solid න හා ස්ථාවර තට්ටුවක් මත තැබීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ. බිම පැතලි, මට්ටම් සහ කම්පන වලින් තොර විය යුතුය. කම්පන හුදකලා පෑඩ් හෝ වෙනත් බිම් ස්ථායීකරණ ශිල්පීය ක්රම ස්ථාපනය කිරීම කම්පනවල බලපෑම අවම කිරීම අවශ්ය විය හැකිය.
වැඩ කරන පරිසරය පවත්වා ගන්නේ කෙසේද
නිරන්තර නඩත්තුව සහ පරීක්ෂා කිරීම
ග්රැනයිට් යන්ත්ර කඳවුර සඳහා පරිසරයේ යෝග්යතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා සේවා පරිසර නඩත්තු කිරීම හා පරීක්ෂා කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. ස්ථාවර උෂ්ණත්වය හා ආර්ද්රතා මට්ටම්, බිම් ස්ථායිතාව සහ පිරිසිදුකම සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා පරීක්ෂා කිරීම හා නඩත්තු කිරීම සිදු කළ යුතුය. උෂ්ණත්වය හෝ ආර්ද්රතා උච්චාවචනය වැනි පරීක්ෂාවකදී සොයාගත් ඕනෑම කාරණයක්, සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා වහාම නිවැරදි කරන ලදි.
කම්පන විරෝධී පැදුරු භාවිතා කිරීම
බිම් කම්පනවල බලපෑම අවම කිරීම සඳහා අතිරේක පියවරක් ලෙස කම්පන විරෝධී පැදුරු හෝ පෑඩ් අතිරේක පියවරක් ලෙස භාවිතා කළ හැකිය. වැඩ කරන පරිසරයෙන් ඕනෑම කම්පනයන් අවශෝෂණය කර අවම කිරීම සඳහා යන්ත්ර කඳවුරට ඒවා යටත තබා ඇත. කම්පන විරෝධී පැස් භාවිතා කිරීම ස්ථාවර වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා සරල, දැරිය හැකි සහ way ලදායී ක්රමයක් වේ.
නිගමනය
සාරාංශයක් ලෙස, වේෆර් සැකසුම් සඳහා භාවිතා කරන කළුස්කරණ යන්ත්ර කඳවුරුවල කාර්ය සාධනය සහ දීර් onge ානය පවත්වා ගැනීම සඳහා සුදුසු සේවා පරිසරයක් අත්යවශ්ය වේ. සුදුසු සේවා පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා උෂ්ණත්වය හා ආර්ද්රතා පාලනය, පිරිසිදුකම සහ බිම් ස්ථායිතාව යනු මූලික අවශ්යතා වේ. කම්පන විරෝධී පැස්ට් භාවිතය, කම්පන විරෝධී පැස්ට් භාවිතය, ස්ථාවර වැඩ කරන පරිසරයක් ළඟා කර ගැනීමට සහ කළුගල් යන්ත්ර කඳවුරේ ප්රශස්ත ක්රියාකාරිත්වය සහතික කිරීම effective ලදායී පියවර වේ. සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීමෙන්, වේෆර් සැකසුම් වල නිරවද්යතාවය හා නිරවද්යතාවය සහතික කළ හැකි අතර, අඛණ්ඩව උසස් තත්ත්වයේ නිෂ්පාදන නිපදවීමට හැකි වේ.
පශ්චාත් කාලය: නොවැම්බර් -07-2023