නිරවද්‍ය යන්ත්‍රෝපකරණ සඳහා ස්ථාවර සහ කල් පවතින ආධාරක ව්‍යුහයක් සැපයීම සඳහා නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාද බහුලව භාවිතා වේ. නිරවද්‍යතාවය සහ නිරවද්‍යතාවය ඉතා වැදගත් වන වේෆර් සැකසීමේදී, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාද ඒවායේ ඉහළ දෘඩතාව, අඩු තාප ප්‍රසාරණය සහ විශිෂ්ට කම්පන තෙතමනය කිරීමේ හැකියාවන් නිසා විශේෂයෙන් ප්‍රයෝජනවත් වේ. කෙසේ වෙතත්, ප්‍රශස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කල්පැවැත්ම සහතික කිරීම සඳහා, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනම සඳහා සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ. මෙම ලිපියෙන්, වැඩ කරන පරිසරය මත වේෆර් සැකසුම් නිෂ්පාදන සඳහා ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදකවල අවශ්‍යතා සහ වැඩ කරන පරිසරය පවත්වා ගන්නේ කෙසේද යන්න අපි සාකච්ඡා කරමු.
වේෆර් සැකසීමේදී ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමේ අවශ්‍යතා
උෂ්ණත්ව පාලනය
ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදක සඳහා සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක අත්‍යවශ්‍ය අවශ්‍යතාවයන්ගෙන් එකක් වන්නේ උෂ්ණත්ව පාලනයයි. උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් ග්‍රැනයිට් ප්‍රසාරණය වීමට හෝ හැකිලීමට හේතු විය හැකි අතර එමඟින් මාන වෙනස්කම් ඇති විය හැකි අතර එය යන්ත්‍රයේ නිරවද්‍යතාවයට බලපෑ හැකිය. වේෆර් සැකසීමට නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය වන බැවින්, වැඩ කරන පරිසරයේ ස්ථාවර උෂ්ණත්වයක් පවත්වා ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ, ඉතා මැනවින් සෙල්සියස් අංශක 18-25 අතර පරාසයක. එබැවින්, උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම්වල බලපෑම් අවම කිරීම සඳහා පිරිසිදු කාමරයක් වැනි ස්ථාවර උෂ්ණත්ව පාලනයක් සහිත පරිසරයක ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම ස්ථාපනය කිරීම නිර්දේශ කෙරේ.
ආර්ද්‍රතා පාලනය
උෂ්ණත්ව පාලනයට අමතරව, සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා ආර්ද්‍රතා පාලනය සමානව තීරණාත්මක වේ. ඉහළ ආර්ද්‍රතා මට්ටම් ග්‍රැනයිට් තෙතමනය අවශෝෂණය කර ගැනීමට හේතු විය හැකි අතර එමඟින් මාන අස්ථාවරත්වය, විඛාදනය හෝ ඉරිතැලීම් පවා ඇති විය හැක. එබැවින්, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාද සඳහා වැඩ කරන පරිසරය 40-60% පමණ සාපේක්ෂ ආර්ද්‍රතාවයකින් පවත්වා ගැනීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ. වායු සමීකරණ පද්ධති සහ ආර්ද්‍රතාකාරක ආර්ද්‍රතා මට්ටම් පාලනය කිරීම සඳහා ඵලදායී මෙවලම් වේ.
පිරිසිදුකම
ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදක සඳහා සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක තවත් තීරණාත්මක අවශ්‍යතාවයක් වන්නේ පිරිසිදුකමයි. දූෂණය හේතුවෙන් ග්‍රැනයිට් මතුපිට ක්ෂුද්‍ර සීරීම් හෝ වලවල් ඇති විය හැකි අතර එය යන්ත්‍රයේ නිරවද්‍යතාවයට බලපායි. වේෆර් සැකසීම සාමාන්‍යයෙන් පිරිසිදු කාමරයක් වැනි ඉහළ පාලනයක් සහිත සහ පිරිසිදු පරිසරයක් ඇතුළත් වන අතර එහිදී පිරිසිදුකම ඉහළම ප්‍රමුඛතාවයක් ගනී. එබැවින්, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම පිරිසිදුව, දූවිලි හා අනෙකුත් අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය වලින් තොරව තබා ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ. ඉහළම මට්ටමේ පිරිසිදුකම සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා පිරිසිදු කිරීමේ කාලසටහනක් අනුගමනය කළ යුතුය.
බිම් ස්ථායිතාව
ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදක සඳහා බිම් ස්ථායිතාව තවත් වැදගත් අවශ්‍යතාවයකි. බිමෙහි ඕනෑම කම්පනයක් හෝ චලනයක් යන්ත්‍රය කම්පනය වීමට හේතු විය හැකි අතර එය වේෆර් සැකසීමේ නිරවද්‍යතාවයට සහ නිරවද්‍යතාවයට බලපායි. එබැවින්, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම ඝන සහ ස්ථාවර තට්ටුවක් මත තැබීම රෙකමදාරු කරනු ලැබේ. බිම පැතලි, මට්ටම් සහ කම්පන වලින් තොර විය යුතුය. කම්පනවල බලපෑම අවම කිරීම සඳහා කම්පන හුදකලා පෑඩ් හෝ වෙනත් බිම් ස්ථායීකරණ ශිල්පීය ක්‍රම ස්ථාපනය කිරීම අවශ්‍ය විය හැකිය.
වැඩ කරන පරිසරය පවත්වා ගන්නේ කෙසේද?
නිතිපතා නඩත්තු කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම
ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදම සඳහා පරිසරයේ යෝග්‍යතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය නඩත්තු කිරීම සහ පරීක්ෂා කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. ස්ථාවර උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතා මට්ටම්, බිම ස්ථායිතාව සහ පිරිසිදුකම සහතික කිරීම සඳහා නිතිපතා පරීක්ෂා කිරීම සහ නඩත්තු කිරීම සිදු කළ යුතුය. උෂ්ණත්වය හෝ ආර්ද්‍රතා උච්චාවචනය වැනි පරීක්ෂාවේදී අනාවරණය වන ඕනෑම ගැටළුවක් සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා වහාම නිවැරදි කළ යුතුය.
කම්පන විරෝධී මැට් භාවිතය
බිම් කම්පනවල බලපෑම අවම කිරීම සඳහා අතිරේක පියවරක් ලෙස ප්‍රති-කම්පන පැදුරු හෝ පෑඩ් භාවිතා කළ හැකිය. වැඩ කරන පරිසරයෙන් ඇතිවන ඕනෑම කම්පන අවශෝෂණය කර අවම කිරීම සඳහා ඒවා යන්ත්‍ර පාදයට යටින් තබා ඇත. ප්‍රති-කම්පන පැදුරු භාවිතය ස්ථාවර වැඩ පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා සරල, දැරිය හැකි සහ ඵලදායී ක්‍රමයකි.
නිගමනය
සාරාංශයක් ලෙස, වේෆර් සැකසීමේදී භාවිතා කරන ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදකවල ක්‍රියාකාරිත්වය සහ කල්පැවැත්ම පවත්වා ගැනීම සඳහා සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් අත්‍යවශ්‍ය වේ. උෂ්ණත්වය සහ ආර්ද්‍රතාවය පාලනය, පිරිසිදුකම සහ බිම ස්ථායිතාව සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම සඳහා මූලික අවශ්‍යතා වේ. කම්පන විරෝධී පැදුරු භාවිතය ඇතුළුව නිතිපතා පරීක්ෂා කිරීම සහ නඩත්තු කිරීම, ස්ථාවර වැඩ කරන පරිසරයක් ලබා ගැනීමට සහ ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදකයේ ප්‍රශස්ත ක්‍රියාකාරිත්වය සහතික කිරීමට ඵලදායී පියවර වේ. සුදුසු වැඩ කරන පරිසරයක් පවත්වා ගැනීමෙන්, වේෆර් සැකසීමේ නිරවද්‍යතාවය සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කළ හැකි අතර, එමඟින් උසස් තත්ත්වයේ නිෂ්පාදන අඛණ්ඩව නිෂ්පාදනය කිරීමට හැකි වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: නොවැම්බර්-07-2023