වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල අවශ්යතා වැඩ කරන පරිසරය හා සේවා පරිසර විද්යාව පවත්වා ගන්නේ කෙසේද යන්න යන වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල අවශ්යතා මොනවාද?

වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ඉලෙක්ට්රොනික සංරචක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ අත්යවශ්ය මෙවලමකි. නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය තුළ ස්ථායිතාව සහ නිරවද්යතාවය සහතික කිරීම සඳහා උපකරණ කළුගල් සංරචක භාවිතා කරයි. ග්රැනයිට් යනු විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාව සහ අඩු තාප පුළුල් කිරීමේ ගුණාංග සහිත ස්වාභාවිකවම සිදුවන පර්වතයක් වන අතර එය වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතය සඳහා කදිම ද්රව්යයක් බවට පත් කරයි. මෙම ලිපියෙන්, අපි වැඩ කරන පරිසරය පිළිබඳ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල අන්තර්ගතය සහ සේවා පරිසර විද්යාව පවත්වා ගන්නේ කෙසේද යන්න පිළිබඳව අපි සොයා බලමු.

වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල අවශ්යතා වැඩ කරන පරිසරය පිළිබඳ ග්රැනයිට් සංරචක

1. උෂ්ණත්ව පාලනය

වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා කරන ග්රැනයිට් සංරචක ඔවුන්ගේ නිරවද්යතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා ස්ථාවර සේවා පරිසරයක් අවශ්ය වේ. ග්රැනයිට් සංරචක පුළුල් කිරීම හෝ කොන්ත්රාත්තු නොකිරීම සහතික කිරීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය යම් උෂ්ණත්ව පරාසයක පවත්වා ගත යුතුය. උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් ප්රසාරණය කිරීම හෝ කොන්ත්රාත්තුව පුළුල් කිරීම හෝ කොන්ත්රාත්තුව ඇති කළ හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී සාවද්ය විය හැකිය.

2. පිරිසිදුකම

වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ග්රැනයිට් සංරචක සඳහා පිරිසිදු වැඩ කරන පරිසරයක් අවශ්ය වේ. සේවා පරිසරයේ වාතය උපකරණ දූෂණය කළ හැකි අංශු වලින් නිදහස් විය යුතුය. වාතයේ ඇති අංශු කළුගල් සංරචක මත පදිංචි වී නිෂ්පාදන ක්රියාවලියට බාධා කළ හැකිය. සේවා පරිසරය මගින් උපකරණවල නිරවද්යතාවයට බලපාන දූවිලි, සුන්බුන් සහ වෙනත් අපවිත්ර ද්රව්ය වලින් ද නිදහස් විය යුතුය.

3. ආර්ද්රතා පාලනය

අධික ආර්ද්රතා මට්ටම් වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල කළුගල් සංරචක සමඟ ගැටලු ඇති කළ හැකිය. ග්රැනයිට් සිදුරු සහිත වන අතර අවට පරිසරයෙන් තෙතමනය අවශෝෂණය කරගත හැකිය. අධි ආර්ද්රතා මට්ටම්වල මට්ටම් මගින් ස්වයංක්රීය සංරචක ඉදිමීමට හේතු විය හැකි අතර එය උපකරණවල නිරවද්යතාවයට බලපායි. මෙම ගැටළුව වැළැක්වීම සඳහා සේවා පරිසරය ආර්ද්රතා මට්ටමක 40-60% අතර පවත්වා ගත යුතුය.

4. කම්පන පාලනය

වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා වන ග්රැනයිට් සංරචක කම්පන වලට බෙහෙවින් සංවේදී වේ. කම්පනයන් විසින් ග්රැනයිට් සංරචක චලනය වීමට හේතු විය හැක, ඒවා නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී සාවද්ය වේ. මෙම ගැටළුව වැළැක්වීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය කම්පන ප්රභවයන්ගෙන් නිදහස් විය යුතුය.

වැඩ කරන පරිසරය පවත්වා ගන්නේ කෙසේද

1. උෂ්ණත්ව පාලනය

සේවා පරිසරයේ ස්ථාවර උෂ්ණත්වයක් පවත්වා ගැනීම වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා ඉතා වැදගත් වේ. නිෂ්පාදකයා විසින් නිශ්චිතව දක්වා ඇති පරාසයක් තුළ උෂ්ණත්වය පවත්වා ගත යුතුය. ස්ථාවර පරිසරයක උපකරණ ක්රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම සඳහා වායු සමීකරණ ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවාරක ඒකක, පරිවරණය කිරීම සහ උෂ්ණත්ව අධීක්ෂණ පද්ධති ස්ථාපනය කිරීමෙන් මෙය සාක්ෂාත් කරගත හැකිය.

2. පිරිසිදුකම

වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිසි ලෙස ක්රියාත්මක කිරීම සඳහා පිරිසිදු සේවා පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ. වායු පෙරහන් නිතිපතා වෙනස් කළ යුතු අතර දූවිලි හා අංශු සමුච්චය වීම වැළැක්වීම සඳහා වායු නාල නිතිපතා පිරිසිදු කළ යුතුය. බිම් හා පෘෂ් aces යන් සුන්බුන් සමුච්චය වීම වැළැක්වීම සඳහා දිනපතා පිරිසිදු කළ යුතුය.

3. ආර්ද්රතා පාලනය

වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිසි ලෙස ක්රියාත්මක වීම සඳහා ස්ථාවර ආර්ද්රතා මට්ටමක් පවත්වා ගැනීම අත්යවශ්ය වේ. අවශ්ය ආර්ද්රතා මට්ටම පවත්වා ගැනීම සඳහා ඩෙහුමිඩිෆයර් භාවිතා කළ හැකිය. සේවා පරිසරයේ ආර්ද්රතා මට්ටම අධීක්ෂණය කිරීම සඳහා ආර්ද්රතා සංවේදක ද ස්ථාපනය කළ හැකිය.

4. කම්පන පාලනය

කම්පනය වැළැක්වීම සඳහා වේෆර් සැකසුම් උපකරණවලට බලපාන්නේ, වැඩ කරන පරිසරය කම්පන ප්රභවයන්ගෙන් තොර විය යුතුය. බර යන්ත්රෝපකරණ සහ ගමනාගමනය නිෂ්පාදන ප්රදේශයෙන් බැහැරව පිහිටා තිබිය යුතුය. සිදුවිය හැකි ඕනෑම කම්පනයන් අවශෝෂණය කර ගැනීම සඳහා කම්පන තෙතමනය අඩු කළ හැකිය.

අවසාන වශයෙන්, වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය තුළ නිරවද්යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම සඳහා ස්ථාවර සංරචකවල ස්ථාවර හා පාලිත සේවා පරිසරයක් අවශ්ය වේ. උපකරණ නිසි ක්රියාකාරිත්වය පවත්වා ගැනීම සඳහා උෂ්ණත්වය, ආර්ද්රතාවය, ආර්ද්රතා පාලනය සහ කම්පන පාලනය කිරීම අත්යවශ්ය වේ. උපකරණවල ක්රියාකාරිත්වයට බලපාන ඕනෑම ගැටළුවක් වළක්වා ගැනීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය නිතිපතා නඩත්තු කිරීම හා අධීක්ෂණය කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. මෙම මාර්ගෝපදේශ අනුගමනය කිරීමෙන්, නිෂ්පාදකයින්ට ඔවුන්ගේ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ක්රියාකාරිත්වය උපරිම කර උසස් තත්ත්වයේ ඉලෙක්ට්රොනික සංරචක නිෂ්පාදනය කළ හැකිය.