ඉලෙක්ට්‍රොනික උපාංග නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් සැකසුම් උපකරණ අත්‍යවශ්‍ය මෙවලමකි. නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී ස්ථායිතාව සහ නිරවද්‍යතාවය සහතික කිරීම සඳහා උපකරණ ග්‍රැනයිට් සංරචක භාවිතා කරයි. ග්‍රැනයිට් යනු විශිෂ්ට තාප ස්ථායිතාවයක් සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණ ගුණ ඇති ස්වභාවිකව ඇති වන පාෂාණයක් වන අතර එය වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතය සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි. මෙම ලිපියෙන්, වැඩ කරන පරිසරය පිළිබඳ වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ග්‍රැනයිට් සංරචකවල අවශ්‍යතා සහ වැඩ කරන පරිසරය පවත්වා ගන්නේ කෙසේද යන්න අපි සොයා බලමු.
වැඩ කරන පරිසරය සඳහා වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ග්‍රැනයිට් සංරචක සඳහා අවශ්‍යතා
1. උෂ්ණත්ව පාලනය
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා කරන ග්‍රැනයිට් සංරචක ඒවායේ නිරවද්‍යතාවය පවත්වා ගැනීම සඳහා ස්ථාවර වැඩ කරන පරිසරයක් අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් සංරචක ප්‍රසාරණය වීම හෝ හැකිලීම සිදු නොවන බව සහතික කිරීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය නිශ්චිත උෂ්ණත්ව පරාසයක් තුළ පවත්වා ගත යුතුය. උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් ග්‍රැනයිට් සංරචක ප්‍රසාරණය වීමට හෝ හැකිලීමට හේතු විය හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී සාවද්‍යතා ඇති විය හැකිය.
2. පිරිසිදුකම
වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ග්‍රැනයිට් සංරචක සඳහා පිරිසිදු වැඩ කරන පරිසරයක් අවශ්‍ය වේ. වැඩ කරන පරිසරයේ වාතය උපකරණ දූෂණය කළ හැකි අංශු වලින් තොර විය යුතුය. වාතයේ ඇති අංශු ග්‍රැනයිට් සංරචක මත රැඳී නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට බාධා කළ හැකිය. වැඩ කරන පරිසරය දූවිලි, සුන්බුන් සහ උපකරණවල නිරවද්‍යතාවයට බලපාන අනෙකුත් දූෂක වලින් ද නිදහස් විය යුතුය.
3. ආර්ද්‍රතා පාලනය
අධික ආර්ද්‍රතා මට්ටම් වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ග්‍රැනයිට් සංරචක සමඟ ගැටළු ඇති කළ හැකිය. ග්‍රැනයිට් සිදුරු සහිත වන අතර අවට පරිසරයෙන් තෙතමනය අවශෝෂණය කර ගත හැකිය. ඉහළ ආර්ද්‍රතා මට්ටම් ග්‍රැනයිට් සංරචක ඉදිමීමට හේතු විය හැකි අතර එය උපකරණවල නිරවද්‍යතාවයට බලපායි. මෙම ගැටළුව වළක්වා ගැනීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය 40-60% අතර ආර්ද්‍රතා මට්ටමක පවත්වා ගත යුතුය.
4. කම්පන පාලනය
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල භාවිතා කරන ග්‍රැනයිට් සංරචක කම්පන වලට ඉතා සංවේදී වේ. කම්පන නිසා ග්‍රැනයිට් සංරචක චලනය විය හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී සාවද්‍යතා ඇති විය හැකිය. මෙම ගැටළුව වළක්වා ගැනීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය බර යන්ත්‍රෝපකරණ සහ රථවාහන වැනි කම්පන ප්‍රභවයන්ගෙන් තොර විය යුතුය.
වැඩ කරන පරිසරය නඩත්තු කරන්නේ කෙසේද?
1. උෂ්ණත්ව පාලනය
වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා වැඩ කරන පරිසරයේ ස්ථාවර උෂ්ණත්වයක් පවත්වා ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ. නිෂ්පාදකයා විසින් නිශ්චිත පරාසයක් තුළ උෂ්ණත්වය පවත්වා ගත යුතුය. උපකරණ ස්ථාවර පරිසරයක ක්‍රියාත්මක වන බව සහතික කිරීම සඳහා වායු සමීකරණ ඒකක, පරිවරණය සහ උෂ්ණත්ව අධීක්ෂණ පද්ධති ස්ථාපනය කිරීමෙන් මෙය සාක්ෂාත් කරගත හැකිය.
2. පිරිසිදුකම
වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිසි ලෙස ක්‍රියාත්මක වීම සඳහා පිරිසිදු වැඩ පරිසරයක් පවත්වා ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ. වායු පෙරහන් නිතිපතා වෙනස් කළ යුතු අතර, දූවිලි හා අංශු සමුච්චය වීම වැළැක්වීම සඳහා වායු නල නිතිපතා පිරිසිදු කළ යුතුය. සුන්බුන් සමුච්චය වීම වැළැක්වීම සඳහා බිම් සහ මතුපිට දිනපතා පිරිසිදු කළ යුතුය.
3. ආර්ද්‍රතා පාලනය
වේෆර් සැකසුම් උපකරණ නිසි ලෙස ක්‍රියාත්මක වීම සඳහා ස්ථාවර ආර්ද්‍රතා මට්ටමක් පවත්වා ගැනීම අත්‍යවශ්‍ය වේ. අවශ්‍ය ආර්ද්‍රතා මට්ටම පවත්වා ගැනීම සඳහා ආර්ද්‍රතාකාරකයක් භාවිතා කළ හැකිය. වැඩ කරන පරිසරයේ ආර්ද්‍රතා මට්ටම නිරීක්ෂණය කිරීම සඳහා ආර්ද්‍රතා සංවේදක ද ස්ථාපනය කළ හැකිය.
4. කම්පන පාලනය
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවලට කම්පන බලපෑම් වැළැක්වීම සඳහා, වැඩ කරන පරිසරය කම්පන ප්‍රභවයන්ගෙන් තොර විය යුතුය. බර යන්ත්‍රෝපකරණ සහ රථවාහන නිෂ්පාදන ප්‍රදේශයෙන් ඈත්ව පිහිටා තිබිය යුතුය. සිදුවිය හැකි ඕනෑම කම්පන අවශෝෂණය කර ගැනීම සඳහා කම්පන තෙතමනය කිරීමේ පද්ධති ද ස්ථාපනය කළ හැකිය.
නිගමනයක් ලෙස, නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී නිරවද්‍යතාවය සහ විශ්වසනීයත්වය සහතික කිරීම සඳහා වේෆර් සැකසුම් උපකරණ ග්‍රැනයිට් සංරචක සඳහා ස්ථාවර සහ පාලිත වැඩ පරිසරයක් අවශ්‍ය වේ. උපකරණවල නිසි ක්‍රියාකාරිත්වය පවත්වා ගැනීම සඳහා උෂ්ණත්ව පාලනය, පිරිසිදුකම, ආර්ද්‍රතා පාලනය සහ කම්පන පාලනය අත්‍යවශ්‍ය වේ. උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වයට බලපාන ඕනෑම ගැටළුවක් වළක්වා ගැනීම සඳහා වැඩ කරන පරිසරය නිතිපතා නඩත්තු කිරීම සහ නිරීක්ෂණය කිරීම ඉතා වැදගත් වේ. මෙම මාර්ගෝපදේශ අනුගමනය කිරීමෙන්, නිෂ්පාදකයින්ට ඔවුන්ගේ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ක්‍රියාකාරිත්වය උපරිම කර උසස් තත්ත්වයේ ඉලෙක්ට්‍රොනික සංරචක නිෂ්පාදනය කළ හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: ජනවාරි-02-2024