ග්රැනයිට් යන්ත්ර ඇඳක් යනු වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල තීරණාත්මක අංගයකි. එය වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සවි කර ඇති ග්රැනයිට් වලින් සාදන ලද පැතලි හා ස්ථාවර පදනමක් ගැන සඳහන් කරයි. ග්රැනයිට් යනු එහි විශිෂ්ට ස්ථායිතාව, අඩු තාප ප්රසාරණය, හොඳ කම්පන තෙතමනය සහ ඉහළ නිරවද්යතාවය හේතුවෙන් නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන ස්වාභාවික ගල් වර්ගයකි. වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල, යන්ත්රවල නිරවද්යතාවය, ස්ථායිතාව සහ පුනරාවර්තන හැකියාව සහතික කිරීමේදී ග්රැනයිට් යන්ත්ර ඇඳ තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනය සඳහා වේෆර් සැකසුම් උපකරණ භාවිතා කරන බැවින්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ සාර්ථකත්වය සඳහා යන්ත්රවල නිරවද්යතාවය අත්යවශ්ය වේ. යන්ත්ර පෙළගැස්මේ සුළු දෝෂයක් පවා වේෆර් සැකසීමේ ප්රතිඵලවලට සැලකිය යුතු ලෙස බලපෑ හැකි අතර, එය අවසාන නිෂ්පාදන සඳහා බරපතල ප්රතිවිපාක ඇති කළ හැකිය. එබැවින්, යන්ත්ර නිශ්චිතව සහ ස්ථාවරව ක්රියාත්මක වන බව සහතික කළ හැකි වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා ස්ථාවර සහ නිවැරදි පදනමක් තිබීම අත්යවශ්ය වේ.
ග්රැනයිට් යන්ත්ර ඇඳක් සඳහා වඩාත් සුදුසු වන්නේ එහි තාප ප්රසාරණ සංගුණකය අඩු බැවින් එය උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් යටතේ එහි ප්රමාණය හා හැඩය පවත්වා ගැනීමට හැකියාව ලබා දෙයි. මෙය වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා විශේෂයෙන් වැදගත් වන්නේ යන්ත්ර සැකසීමේදී විශාල තාපයක් ජනනය කරන බැවිනි. උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන් යන්ත්ර ඇඳ ප්රසාරණය වුවහොත් හෝ හැකිලෙන්නේ නම්, යන්ත්රවල පෙළගැස්මට බලපෑම් ඇති විය හැකි අතර එමඟින් සැකසීමේදී සාවද්යතාවයන් ඇති විය හැකිය.
තවද, ග්රැනයිට් වල හොඳ කම්පන තෙතමනය අඩු කිරීමේ ගුණ ඇති අතර, එමඟින් යන්ත්ර හෝ බාහිර ප්රභවයන් මගින් ජනනය වන ඕනෑම කම්පනයක් අවශෝෂණය කරගත හැකිය. මෙය වේෆර් සැකසුම් පහසුකමේ ශබ්ද මට්ටම අඩු කිරීමට උපකාරී වන අතර කම්පන යන්ත්රවල නිරවද්යතාවයට බාධා නොකරන බව සහතික කරයි.
ග්රැනයිට් ඇඳීමට හා ඉරී යාමට, විඛාදනයට සහ රසායනික හානිවලට ද ප්රතිරෝධී වේ. එය වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල කටුක වැඩ පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකි සහ දීර්ඝ කාලයක් පුරා එහි ස්ථායිතාව සහ නිරවද්යතාවය පවත්වා ගත හැකි කල් පවතින ද්රව්යයකි.
නිගමනයක් ලෙස, ග්රැනයිට් යන්ත්ර ඇඳක් වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල තීරණාත්මක අංගයකි. එය යන්ත්ර සඳහා පැතලි හා ස්ථාවර පදනමක් සපයන අතර එමඟින් ඒවායේ නිරවද්යතාවය, ස්ථායිතාව සහ පුනරාවර්තන හැකියාව සහතික කිරීමට උපකාරී වේ. ග්රැනයිට් එහි අඩු තාප ප්රසාරණය, හොඳ කම්පන තෙතමනය සහ ඉහළ නිරවද්යතාවය හේතුවෙන් යන්ත්ර ඇඳක් සඳහා කදිම ද්රව්යයකි. අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය අඛණ්ඩව වර්ධනය වෙමින් හා පරිණාමය වන විට, නිවැරදි හා ස්ථාවර වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල වැදගත්කම අඛණ්ඩව වැඩි වන අතර, ග්රැනයිට් යන්ත්ර ඇඳ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ අත්යවශ්ය අංගයක් බවට පත් කරයි.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-29-2023