තාක්ෂණයේ වර්ධනයත් සමඟ අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් කොටස් භාවිතය වැඩි වැඩියෙන් ජනප්රිය වී ඇත.ග්රැනයිට් යනු එහි ඇති බොහෝ ප්‍රතිලාභ නිසා අර්ධ සන්නායක උපකරණ සැකසීමේ තාක්ෂණයේ භාවිතය සඳහා ජනප්රිය තේරීමකි.ග්රැනයිට් යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ භාවිතය සඳහා වඩාත් සුදුසු වන අතර පවතින දුෂ්කරම හා කල් පවතින ද්‍රව්‍යවලින් එකකි.එය විශිෂ්ට තාප සන්නායකයක් වන අතර ඉතා අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයක් ඇති අතර එය ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදුම්වල භාවිතය සඳහා පරිපූර්ණ කරයි.
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තාක්ෂණයට තාක්ෂණික ක්‍රම සහ ක්‍රියාවලීන් රාශියක් ඇතුළත් වේ.අත්‍යවශ්‍ය පියවර වන්නේ ග්රැනයිට් මතුපිට ඔප දැමීම, කැටයම් කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීමයි.භාවිතා කරන සැකසුම් තාක්ෂණයේ වර්ගය යෙදුම සහ භාවිතා කරන ග්රැනයිට් වර්ගය මත රඳා පවතී.
ඔප දැමීම අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තීරණාත්මක අංගයකි.ග්රැනයිට් මතුපිට ඉහළ සුමටතාවයකට ඔප දැමීම, සැකසීමේදී වේෆරයට හානි නොවන බව සහතික කිරීමට උපකාරී වේ.මෙය වේෆරයේ මතුපිට අංශු හෝ සීරීම් මගින් දූෂණය වීමේ සම්භාවිතාව අඩු කරයි.යාන්ත්‍රික ඔප දැමීම, රසායනික ඔප දැමීම සහ විද්‍යුත් රසායනික ඔප දැමීම වැනි විවිධ ක්‍රම මගින් ඔප දැමීම සාක්ෂාත් කරගත හැකිය.
කැටයම් කිරීම අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තවත් මූලික අංගයකි.ග්රැනයිට් කොටසේ මතුපිටට අවශ්‍ය රටා නිර්මාණය කිරීමට Etching භාවිතා කරයි.අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනය සහ සැකසීමේදී රටා භාවිතා වේ.ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම, තෙත් රසායනික කැටයම් කිරීම සහ වියළි රසායනික කැටයම් කිරීම ඇතුළුව කැටයම් කිරීම සිදු කිරීමට ක්‍රම කිහිපයක් තිබේ.භාවිතා කරන කැටයම් ක්‍රියාවලියේ වර්ගය ද්‍රව්‍යය සහ අපේක්ෂිත රටාව මත රඳා පවතී.
කළුගල් මතුපිට පිරිසිදු කිරීම ද ඉතා වැදගත් වේ.අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට බාධා කරන අංශු සහ අනෙකුත් අපද්‍රව්‍ය වැනි අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය මතුපිටින් ඉවත් කිරීමට පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රියාවලිය අවශ්‍ය වේ.අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම, රසායනික පිරිසිදු කිරීම හෝ ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම වැනි විවිධ ක්‍රම භාවිතයෙන් පිරිසිදු කිරීම සිදු කළ හැකිය.
අවසාන වශයෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තාක්ෂණය තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.ග්රැනයිට් කොටස් භාවිතය අවසාන නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ.සැකසුම් තාක්ෂණයට ග්රැනයිට් මතුපිට ඔප දැමීම, කැටයම් කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම ඇතුළත් වේ.එක් එක් පියවර සඳහා විවිධ ක්‍රම පවතින අතර, භාවිතා කරන සැකසුම් තාක්ෂණයේ වර්ගය ද්‍රව්‍ය සහ අපේක්ෂිත රටාව මත රඳා පවතී.නිවැරදි සැකසුම් තාක්ෂණය භාවිතා කිරීමෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය වඩාත් කාර්යක්ෂම, විශ්වාසදායක සහ ලාභදායී බවට පත් කළ හැකිය.
පසු කාලය: මාර්තු-19-2024