තාක්ෂණයේ වර්ධනයත් සමඟ අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්‍රැනයිට් කොටස් භාවිතය වඩ වඩාත් ජනප්‍රිය වී ඇත. එහි බොහෝ ප්‍රතිලාභ නිසා අර්ධ සන්නායක උපකරණ සැකසුම් තාක්ෂණයේ භාවිතය සඳහා ග්‍රැනයිට් ජනප්‍රිය තේරීමකි. ග්‍රැනයිට් යනු ලබා ගත හැකි අමාරුම සහ කල් පවතින ද්‍රව්‍යවලින් එකක් වන අතර එය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ භාවිතය සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. එය විශිෂ්ට තාප සන්නායකයක් වන අතර ඉතා අඩු තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකයක් ඇති අතර එමඟින් ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදීම් සඳහා භාවිතා කිරීමට පරිපූර්ණ වේ.
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්‍රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තාක්ෂණයට විවිධ ශිල්පීය ක්‍රම සහ ක්‍රියාවලීන් ඇතුළත් වේ. අත්‍යවශ්‍ය පියවර වන්නේ ග්‍රැනයිට් මතුපිට ඔප දැමීම, කැටයම් කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීමයි. භාවිතා කරන සැකසුම් තාක්ෂණයේ වර්ගය යෙදුම සහ භාවිතා කරන ග්‍රැනයිට් වර්ගය මත රඳා පවතී.
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්‍රැනයිට් කොටස් සැකසීමේදී ඔප දැමීම ඉතා වැදගත් අංගයකි. ග්‍රැනයිට් මතුපිට ඉහළ සුමටතාවයකට ඔප දැමීම මඟින් සැකසීමේදී වේෆරයට හානි නොවන බව සහතික කෙරේ. මෙය වේෆරයේ මතුපිට අංශු හෝ සීරීම් මගින් දූෂණය වීමේ සම්භාවිතාව අඩු කරයි. යාන්ත්‍රික ඔප දැමීම, රසායනික ඔප දැමීම සහ විද්‍යුත් රසායනික ඔප දැමීම වැනි විවිධ ක්‍රම හරහා ඔප දැමීම ලබා ගත හැකිය.
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්‍රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තවත් මූලික අංගයක් වන්නේ කැටයම් කිරීමයි. ග්‍රැනයිට් කොටසෙහි මතුපිට අපේක්ෂිත රටා නිර්මාණය කිරීම සඳහා කැටයම් කිරීම භාවිතා කරයි. අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනය හා සැකසීමේදී රටා භාවිතා වේ. ප්ලාස්මා කැටයම් කිරීම, තෙත් රසායනික කැටයම් කිරීම සහ වියළි රසායනික කැටයම් කිරීම ඇතුළු කැටයම් කිරීම සිදු කිරීමට ක්‍රම කිහිපයක් තිබේ. භාවිතා කරන කැටයම් ක්‍රියාවලියේ වර්ගය ද්‍රව්‍යය සහ අපේක්ෂිත රටාව මත රඳා පවතී.
ග්‍රැනයිට් මතුපිට පිරිසිදු කිරීම ද ඉතා වැදගත් වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියට බාධා කළ හැකි අංශු සහ අනෙකුත් අපද්‍රව්‍ය වැනි මතුපිටින් ඇති ඕනෑම අපවිත්‍ර ද්‍රව්‍ය ඉවත් කිරීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ ක්‍රියාවලිය අවශ්‍ය වේ. අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම, රසායනික පිරිසිදු කිරීම හෝ ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම වැනි විවිධ ක්‍රම භාවිතයෙන් පිරිසිදු කිරීම සිදු කළ හැකිය.
අවසාන වශයෙන්, අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්‍රැනයිට් කොටස් සැකසීමේ තාක්ෂණය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ග්‍රැනයිට් කොටස් භාවිතය අවසාන නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ. සැකසුම් තාක්ෂණයට ග්‍රැනයිට් මතුපිට ඔප දැමීම, කැටයම් කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම ඇතුළත් වේ. එක් එක් පියවර සඳහා විවිධ ක්‍රම තිබේ, සහ භාවිතා කරන සැකසුම් තාක්ෂණයේ වර්ගය ද්‍රව්‍ය හා අපේක්ෂිත රටාව මත රඳා පවතී. නිවැරදි සැකසුම් තාක්ෂණය භාවිතා කිරීමෙන්, අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලිය වඩාත් කාර්යක්ෂම, විශ්වාසදායක සහ ලාභදායී කළ හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-19-2024