අර්ධ සන්නායක උපකරණවල කළුගල් කොටස්වල සැකසුම් තාක්ෂණය කුමක්ද?

තාක්ෂණයේ වර්ධනයත් සමඟ අර්ධ සන්නායක උපකරණවල කළුගල් කොටස් භාවිතය වඩාත් ජනප්රිය වී තිබේ. ග්රැනයිට් යනු එහි ඇති බොහෝ ප්රතිලාභ නිසා අර්ධ සන්නායක උපකරණ සැකසුම් තාක්ෂණයේ භාවිතය සඳහා ජනප්රිය තේරීමකි. අඹරත්වය යනු අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ භාවිතය සඳහා වඩාත් සුදුසු වන දුෂ්කරම හා කල් පවතින ද්රව්ය වලින් එකකි. එය විශිෂ්ට තාප සන්නායකයක් වන අතර තාප ප්රසාරණයේ ඉතා අඩු සංගුණකයක් වන අතර එමඟින් ඉහළ උෂ්ණත්ව යෙදේදී භාවිතය සඳහා එය පරිපූර්ණ කරයි.

අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ඇති කළුගල් කොටස්වල සැකසුම් තාක්ෂණය වන්නේ තාක්ෂණික ක්රම හා ක්රියාවලීන් ය. අත්යවශ්ය පියවර ඔප දැමීම, එතීම සහ කළුගල් මතුපිට පිරිසිදු කිරීමයි. භාවිතා කරන සැකසුම් තාක්ෂණය වර්ගය සහ භාවිතා කරන ග්රැනයිට් වර්ගය මත රඳා පවතී.

අලිං කිරීම අර්ධ සන්නායක උපකරණවල කළුගල් කොටස් සැකසීමේ තීරණාත්මක අංගයකි. ග්රැනයිට් මතුපිට ඉහළ මට්ටමේ සිනිඳු ලෙස ඔප දැමීම සුමටව, සැකසීමේදී වේෆර් හානි නොවන බව සහතික කිරීමට උපකාරී වේ. මෙය වේෆරයේ මතුපිට අංශු හෝ සීරීම් මගින් අපවිත්ර වීමේ අවස්ථා අඩු කරයි. යාන්ත්රික ඔප දැමීම, රසායනික ඔප දැමීම සහ විද්යුත් රසායනික ඔප දැමීම වැනි විවිධ ක්රම මගින් ඔප දැමිය හැකිය.

අර්ධ සන්නායක උපකරණවල කළුගල් කොටස් සැකසීමේ තවත් මූලික අංගයකි. ග්රැනයිට් කොටසෙහි මතුපිට අපේක්ෂිත රටා නිර්මාණය කිරීම සඳහා එච්චින් භාවිතා කරයි. අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනය හා සැකසීමේදී රටා භාවිතා වේ. ප්ලාස්මා එතිච්, තෙත් රසායනික එටචින් සහ වියළි රසායනික එච්චාරණය ඇතුළු එච්. එච්චාරණය කිරීමට ක්රම කිහිපයක් තිබේ. භාවිතා කරන ETChing ක්රියාවලියේ වර්ගය ද්රව්යය සහ අපේක්ෂිත රටාව මත රඳා පවතී.

කළුගල් මතුපිට පිරිසිදු කිරීම ද ඉතා වැදගත් වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලියට බාධා කළ හැකි අංශු සහ වෙනත් අපද්රව්ය වැනි ඕනෑම අපවිත්ර ඕනෑම අපවිත්ර ඕනෑම අපයිම ඉවත් කිරීම සඳහා පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලිය අවශ්ය වේ. අතිධ්වනික් පිරිසිදු කිරීම, රසායනික පිරිසිදු කිරීම හෝ ප්ලාස්මා පිරිසිදු කිරීම වැනි විවිධ ක්රම භාවිතා කරමින් පිරිසිදු කිරීම කළ හැකිය.

අවසාන වශයෙන්, අර්ධ සන්නායක උපකරණවල කළුගල් කොටස් සැකසුම් තාක්ෂණය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය තුළ තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. කළුගල් කොටස් භාවිතය අවසාන නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මකභාවය හා විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කිරීමට උපකාරී වේ. සැකසුම් තාක්ෂණයට ඔප දැමීම, එතීම සහ කළුගල් මතුපිට පිරිසිදු කිරීම ඇතුළත් වේ. එක් එක් පියවර සඳහා විවිධ ක්රම තිබේ, භාවිතා කරන සැකසුම් තාක්ෂණය වර්ගය ද්රව්යය සහ අපේක්ෂිත රටාව මත රඳා පවතී. නිවැරදි සැකසුම් තාක්ෂණය භාවිතා කිරීමෙන් අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලිය වඩාත් කාර්යක්ෂම, විශ්වාසදායක සහ ලාභදායී විය හැකිය.