නැනෝමීටර වලින් විශේෂාංග ප්රමාණයන් මනිනු ලබන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ලෝකයේ, යන්ත්රයේ අත්තිවාරම දෘෂ්ටි විද්යාව හෝ රික්ත පද්ධතිය තරම්ම තීරණාත්මක වේ. එය වේෆර් පරීක්ෂණ යන්ත්රයක් හෝ ගැඹුරු පාරජම්බුල (DUV) ලිතෝග්රැෆි පද්ධතියක් වේවා, ගෝලීය OEMs නිරන්තරයෙන් ඒවායේ ව්යුහාත්මක පදනම් සඳහා ස්වභාවික කළු ග්රැනයිට් නියම කරයි.
නමුත් අති නවීන කෘතිම ද්රව්ය මගින් අර්ථ දක්වා ඇති කර්මාන්තයක ස්වභාවික ගල් රන් ප්රමිතිය වන්නේ ඇයි? අර්ධ සන්නායක උපකරණ සඳහා ස්වාභාවික ග්රැනයිට් මිල කළ නොහැකි තේරීමක් වීමට තාක්ෂණික හේතු පහ මෙන්න.
1. ෆැබ් එකේ සුපිරි තාප ස්ථායිතාව
අර්ධ සන්නායක "ඉදිරිපස-අන්ත" පරිසරයට නිරපේක්ෂ මාන අනුකූලතාවක් අවශ්ය වේ. උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයේ අංශකයක කොටසක් පවා ලෝහ ව්යුහයන් ප්රසාරණය වීමට හේතු විය හැකි අතර, එමඟින් ලිතෝග්රැෆි වල ආවරණ දෝෂ හෝ "බොඳ වීමට" හේතු වේ.
ස්වාභාවික ග්රැනයිට් වල තාප ප්රසාරණ සංගුණකය (CTE) ඇදහිය නොහැකි තරම් අඩුය. සංසන්දනය කිරීමේදීකළුගල් පදනමවේෆර් පරීක්ෂණ යන්ත්රයක් වානේ හෝ ඇලුමිනියම් විකල්පයක් සඳහා, සුළු පාරිසරික මාරුවීම් තිබියදීත් ග්රැනයිට් මාන වශයෙන් "ශීත කළ" ලෙස පවතී. මෙම තාප අවස්ථිති භාවය මඟින් දෘශ්ය මාර්ගය මාරුවේ පළමු වේෆරයේ සිට අවසාන වේෆරය දක්වා පෙළගස්වා ඇති බව සහතික කරයි.
2. නැනෝමීටර නිරවද්යතාවය සඳහා සුවිශේෂී කම්පන damping
ලිතෝග්රැෆි උපකරණ සහ අධි-විභේදන මිනුම් විද්යා මෙවලම් "ශබ්දයට" අධි සංවේදී වේ - කර්මාන්තශාලා බිමෙන් එන කම්පන, සිසිලන විදුලි පංකා හෝ රොබෝ වේෆර් හසුරුවන්නන්.
ලෝහ "නාද වීමට" (ගැටුමකින් පසු දිගු කාලයක් කම්පනය වීමට) නැඹුරු වුවද, ස්වාභාවික ග්රැනයිට් වලට ඉහළ අභ්යන්තර තෙතමනය අඩු කිරීමේ ධාරිතාවක් ඇත. එය චාලක ශක්තිය වේගයෙන් අවශෝෂණය කර විසුරුවා හරියි. ලිතෝග්රැෆි උපකරණ සඳහා වන මෙම කම්පන තෙතමනය අඩු කිරීමේ ග්රැනයිට් අධිවේගී වේදිකා චලනයකින් පසු යන්ත්රයට වේගයෙන් පදිංචි වීමට ඉඩ සලසයි, එමඟින් මෙවලමෙහි "පැයකට ඒකක" (UPH) ප්රතිදානය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි කරයි.
3. චුම්භක නොවන සහ විද්යුත් වශයෙන් සන්නායක නොවන
අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලීන් බොහෝ විට සංවේදී ඉලෙක්ට්රෝන කදම්භ (E-කදම්භ) හෝ ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් චුම්භක රේඛීය මෝටර සම්බන්ධ වේ. ලෝහමය පදනමක් මෙම චුම්භක ක්ෂේත්රවලට බාධා කළ හැකි අතර සංවේදක නිරවද්යතාවයට බාධා කරන සුළි ධාරා නිර්මාණය කළ හැකිය.
ස්වාභාවික පරිවාරකයක් ලෙස, ග්රැනයිට් පිරිසිදු කාමර සඳහා චුම්භක නොවන මිනුම් විද්යා වේදිකාවක් සපයයි. එය මෙවලමෙහි විද්යුත් චුම්භක පරිසරයට බාධා නොකරන අතර, වේෆර් භූ විෂමතා සිතියම්ගත කිරීමේදී හෝ දෝෂ පරීක්ෂාවේදී පිරිසිදු, දූෂිත නොවූ දත්ත ලබා ගැනීමට ඉඩ සලසයි.
4. විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ පිරිසිදු කාමර අනුකූලතාව
පිරිසිදු කාමරයක (1 පන්තිය හෝ 10 පන්තිය), වායු පිටකිරීම සහ අංශු උත්පාදනය අස්වැන්නේ සතුරන් වේ. වාත්තු යකඩ හෝ වානේ මෙන් නොව, ස්වාභාවික ග්රැනයිට් මලකඩ නොගනී, ඔක්සිකරණය නොවේ, නැතහොත් කාලයත් සමඟ ගැලවී යා හැකි හෝ වායු පිටවිය හැකි රසායනික තීන්ත සහ ආලේපන අවශ්ය නොවේ.
ග්රැනයිට් රසායනිකව නිෂ්ක්රීයයි. අර්ධ සන්නායක ෆැබ් එකක භාවිතා කරන විශේෂිත පිරිසිදු කිරීමේ කාරකවලට නිරාවරණය වූ විට පවා, එය එහි මතුපිට අඛණ්ඩතාව පවත්වා ගනී. එහි ඉහළ ඝනත්ව ව්යුහය (ආසන්න වශයෙන් 3100kg/m³) උපකරණයේ ආයු කාලය පුරාම එය "අංශු-උදාසීන" ලෙස පවතින බව සහතික කරයි.
5. අත්ලෙන් තට්ටු කිරීමෙන් "සැබෑ පැතලි බව" ලබා ගැනීම
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, "පැතලි" යනු ප්රමාණවත් තරම් පැතලි නොවේ. සංරචක සඳහා බොහෝ විට CNC යන්ත්රවලට ලබා ගත නොහැකි නැනෝ මට්ටමේ නිරවද්යතාවයක් අවශ්ය වේ.
ස්වාභාවික ග්රැනයිට් මඟින් අතින් තට්ටු කිරීමට ඉඩ සලසයි, එය අතින් පිරිපහදු කිරීමේ ක්රියාවලියක් වන අතර එහිදී විශේෂඥ කාර්මිකයන් ±0.001mm තරම් තද පැතලි බව ඉවසීමක් ලබා ගනී. නවීන වේෆර් ස්කෑනර්වල භාවිතා කරන වායු දරණ අදියර සඳහා මෙම මට්ටමේ නිරවද්යතාවය අත්යවශ්ය වේ, එහිදී වේදිකාව සහ පාදම අතර වායු පරතරය මුළු ගමන් පරාසය පුරාම පරිපූර්ණ ලෙස ඒකාකාරව පැවතිය යුතුය.
ZHHIMG වාසිය: නැනෝ යුගය සඳහා නිරවද්යතාවය
UNPARALLELED (ZHHIMG) හිදී, අර්ධ සන්නායක ෆැබ් වල ග්රැනයිට් වල තාප ස්ථායිතාව අපි ඕනෑම කෙනෙකුට වඩා හොඳින් තේරුම් ගනිමු. අපි ලොව ප්රමුඛතම අර්ධ සන්නායක මෙවලම් නිෂ්පාදකයින්ට අභිරුචි-ඉංජිනේරු ග්රැනයිට් සංරචක සපයන්නෙමු, විශේෂිත වන්නේ:
-
අතිශය විශාල රික්තක-අනුකූල භෂ්ම.
-
අධිවේගී ගැන්ට්රි පද්ධති සඳහා නිරවද්ය කදම්භ.
-
රේඛීය මෝටර සවි කිරීම සඳහා ඒකාබද්ධ ඇතුළු කිරීම්.
අපගේ ඉහළ ඝනත්ව කළු ග්රැනයිට් ගෝලීය අර්ධ සන්නායක මාර්ග සිතියමේ වඩාත්ම ඉල්ලුමක් ඇති පිරිවිතරයන් සපුරාලීම සඳහා මූලාශ්ර කර සකස් කරනු ලැබේ.
පළ කිරීමේ කාලය: මාර්තු-10-2026