වේෆර් ස්කෑන් කිරීමේදී තාපය නිසා ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පාදය ප්‍රසාරණය වේවිද?

චිප් නිෂ්පාදනයේ ප්‍රධාන සබැඳිය වන වේෆර් ස්කෑනිං හි, උපකරණවල නිරවද්‍යතාවය චිපයේ ගුණාත්මකභාවය තීරණය කරයි. උපකරණවල වැදගත් අංගයක් ලෙස, ග්‍රැනයිට් යන්ත්‍ර පදනමේ තාප ප්‍රසාරණය පිළිබඳ ගැටළුව බොහෝ අවධානයට ලක්ව ඇත.

ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය සාමාන්‍යයෙන් 4 සහ 8×10⁻⁶/℃ අතර වන අතර එය ලෝහ සහ කිරිගරුඬ වලට වඩා බෙහෙවින් අඩුය. මෙයින් අදහස් කරන්නේ උෂ්ණත්වය වෙනස් වන විට එහි ප්‍රමාණය සාපේක්ෂව සුළු වශයෙන් වෙනස් වන බවයි. කෙසේ වෙතත්, අඩු තාප ප්‍රසාරණය යනු තාප ප්‍රසාරණය නොමැති බව අදහස් නොවන බව සැලකිල්ලට ගත යුතුය. අධික උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන් යටතේ, සුළු ප්‍රසාරණය පවා වේෆර් ස්කෑන් කිරීමේ නැනෝ පරිමාණ නිරවද්‍යතාවයට බලපෑ හැකිය.

වේෆර් ස්කෑන් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී, තාප ප්‍රසාරණය සිදුවීමට හේතු කිහිපයක් තිබේ. වැඩමුළුවේ උෂ්ණත්ව උච්චාවචනයන්, උපකරණ සංරචක ක්‍රියාත්මක වීමෙන් ජනනය වන තාපය සහ ලේසර් සැකසුම් මගින් ගෙන එන ක්ෂණික ඉහළ උෂ්ණත්වය යන සියල්ලම ග්‍රැනයිට් පාදය "උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන් ප්‍රසාරණය වී හැකිලීමට" හේතු වේ. පාදම තාප ප්‍රසාරණයට ලක් වූ පසු, මාර්ගෝපදේශක රේල් පීල්ලේ සෘජු බව සහ වේදිකාවේ සමතලා බව අපගමනය විය හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස වේෆර් මේසයේ සාවද්‍ය චලන ගමන් පථය ඇති වේ. ආධාරක දෘශ්‍ය සංරචක ද මාරු වන අතර එමඟින් ස්කෑනිං කදම්භය "අපගමනය" වේ. දිගු කාලයක් අඛණ්ඩව වැඩ කිරීමෙන් දෝෂ එකතු වන අතර එමඟින් නිරවද්‍යතාවය නරක අතට හැරේ.

නමුත් කරදර නොවන්න. මිනිසුන්ට දැනටමත් විසඳුම් තිබේ. ද්‍රව්‍ය සම්බන්ධයෙන් ගත් කල, තාප ප්‍රසාරණ සංගුණකය අඩු ග්‍රැනයිට් නහර තෝරාගෙන වයස්ගත ප්‍රතිකාර සඳහා භාජනය කරනු ලැබේ. උෂ්ණත්ව පාලනය සම්බන්ධයෙන් ගත් කල, වැඩමුළු උෂ්ණත්වය 23±0.5℃ හෝ ඊටත් වඩා අඩු අගයකින් නිශ්චිතව පාලනය කරනු ලබන අතර, පාදම සඳහා ක්‍රියාකාරී තාප විසර්ජන උපාංගයක් ද නිර්මාණය කෙරේ. ව්‍යුහාත්මක සැලසුම සම්බන්ධයෙන් ගත් කල, සමමිතික ව්‍යුහයන් සහ නම්‍යශීලී ආධාරක භාවිතා කරනු ලබන අතර, උෂ්ණත්ව සංවේදක හරහා තත්‍ය කාලීන අධීක්ෂණය සිදු කරනු ලැබේ. තාප විරූපණය නිසා ඇතිවන දෝෂ ඇල්ගොරිතම මගින් ගතිකව නිවැරදි කරනු ලැබේ.

ASML ලිතෝග්‍රැෆි යන්ත්‍ර වැනි ඉහළ මට්ටමේ උපකරණ, මෙම ක්‍රම හරහා, ග්‍රැනයිට් පාදයේ තාප ප්‍රසාරණ බලපෑම අතිශයින් කුඩා පරාසයක් තුළ තබා ගන්නා අතර, වේෆර් ස්කෑනිං නිරවද්‍යතාවය නැනෝමීටර මට්ටමට ළඟා වීමට හැකි වේ. එබැවින්, එය නිසි ලෙස පාලනය කරන තාක් කල්, ග්‍රැනයිට් පාදය වේෆර් ස්කෑනිං උපකරණ සඳහා විශ්වාසදායක තේරීමක් ලෙස පවතී.