♦ඇලුමිනා(අල්2ඕ3)
ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද නිරවද්ය සෙරමික් කොටස් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සෙරමික් අමුද්රව්ය, 92~97% ඇලුමිනා, 99.5% ඇලුමිනා, >99.9% ඇලුමිනා සහ CIP සීතල සමස්ථානික පීඩනයෙන් සෑදිය හැකිය. ඉහළ උෂ්ණත්ව සින්ටර් කිරීම සහ නිරවද්ය යන්ත්රෝපකරණ, ± 0.001mm මාන නිරවද්යතාවය, Ra0.1 දක්වා සුමට බව, අංශක 1600 දක්වා උෂ්ණත්වය භාවිතා කරන්න. කළු, සුදු, බීජ්, තද රතු, ආදිය වැනි පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව විවිධ වර්ණ සෙරමික් සෑදිය හැකිය. අපගේ සමාගම විසින් නිෂ්පාදනය කරන ලද නිරවද්ය සෙරමික් කොටස් ඉහළ උෂ්ණත්වය, විඛාදනයට, ඇඳීමට සහ පරිවරණයට ප්රතිරෝධී වන අතර ඉහළ උෂ්ණත්වය, රික්තය සහ විඛාදන වායු පරිසරය තුළ දිගු කාලයක් භාවිතා කළ හැකිය.
විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන උපකරණවල බහුලව භාවිතා වේ: රාමු (සෙරමික් වරහන), උපස්ථරය (පාදම), අත/පාලම (හැසිරවීම), , යාන්ත්රික සංරචක සහ සෙරමික් වායු බෙයාරිං.
නිෂ්පාදන නාමය | ඉහළ සංශුද්ධතාවය 99 ඇලුමිනා සෙරමික් හතරැස් නළය / පයිප්ප / සැරයටිය | |||||
දර්ශකය | ඒකකය | 85 % Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5 % Al2O3 | |
ඝනත්වය | ග්රෑම්/සෙ.මී.3 | 3.3 | 3.65 යනු කුමක්ද? | 3.8 3.8 | 3.9 මාස්ටර් | |
ජල අවශෝෂණය | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
සින්ටර් කළ උෂ්ණත්වය | ℃ | 1620 වර්ෂ | 1650 ආර්. | 1800 දක්වා | 1800 දක්වා | |
දෘඪතාව | මොහ්ස් | 7 | 9 | 9 | 9 | |
නැමීමේ ශක්තිය(20℃)) | එම්පීඒ | 200 යි | 300 යි | 340 යි | 360 ශ්රේණිය | |
සම්පීඩ්යතා ශක්තිය | කි.ග්රෑ.අයි./සෙ.මී.2 | 10000 ක් | 25000/- ක මිලක් | 30000 ක් | 30000 ක් | |
දිගු කාලීන වැඩ කරන උෂ්ණත්වය | ℃ | 1350 - ශ්රේණිය | 1400 යි | 1600 ආර්. | 1650 ආර්. | |
උපරිම වැඩ කරන උෂ්ණත්වය | ℃ | 1450 ආර්. | 1600 ආර්. | 1800 දක්වා | 1800 දක්වා | |
පරිමා ප්රතිරෝධය | 20℃ උෂ්ණත්වය | Ω. සෙ.මී.3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනා සෙරමික් යෙදීම:
1. අර්ධ සන්නායක උපකරණ සඳහා යොදනු ලැබේ: සෙරමික් රික්ත චක්, කැපුම් තැටිය, පිරිසිදු කිරීමේ තැටිය, සෙරමික් චක්.
2. වේෆර් මාරු කිරීමේ කොටස්: වේෆර් හැසිරවීමේ චක්, වේෆර් කැපුම් තැටි, වේෆර් පිරිසිදු කිරීමේ තැටි, වේෆර් දෘශ්ය පරීක්ෂණ චූෂණ කෝප්ප.
3. LED / LCD පැතලි පැනල් සංදර්ශක කර්මාන්තය: සෙරමික් තුණ්ඩය, සෙරමික් ඇඹරුම් තැටිය, LIFT PIN, PIN රේල්.
4. දෘශ්ය සන්නිවේදනය, සූර්ය කර්මාන්තය: සෙරමික් නල, සෙරමික් දඬු, පරිපථ පුවරු තිර මුද්රණ සෙරමික් සීරීම්.
5. තාප ප්රතිරෝධී සහ විද්යුත් පරිවාරක කොටස්: සෙරමික් ෙබයාරිං.
වර්තමානයේ, ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් සෙරමික් ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ පොදු සෙරමික් ලෙස බෙදිය හැකිය. ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් සෙරමික් ශ්රේණිය යනු 99.9% Al₂O₃ ට වැඩි සෙරමික් ද්රව්යයකි. එහි සින්ටර් කිරීමේ උෂ්ණත්වය 1650 - 1990°C දක්වා සහ සම්ප්රේෂණ තරංග ආයාමය 1 ~ 6μm නිසා, එය සාමාන්යයෙන් ප්ලැටිනම් කෲසිබල් වෙනුවට විලයන වීදුරු බවට සකසනු ලැබේ: එහි ආලෝක සම්ප්රේෂණය සහ ක්ෂාර ලෝහයට විඛාදන ප්රතිරෝධය හේතුවෙන් සෝඩියම් නලයක් ලෙස භාවිතා කළ හැකිය. ඉලෙක්ට්රොනික කර්මාන්තයේ දී, එය IC උපස්ථර සඳහා ඉහළ සංඛ්යාත පරිවාරක ද්රව්යයක් ලෙස භාවිතා කළ හැකිය. ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් වල විවිධ අන්තර්ගතයන් අනුව, පොදු ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් සෙරමික් ශ්රේණිය පිඟන් මැටි 99, පිඟන් මැටි 95, පිඟන් මැටි 90 සහ පිඟන් මැටි 85 ලෙස බෙදිය හැකිය. සමහර විට, ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් 80% හෝ 75% ට වැඩි සෙරමික් සාමාන්ය ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් සෙරමික් ශ්රේණි ලෙසද වර්ගීකරණය කර ඇත. ඒවා අතර, ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් සෙරමික් ද්රව්ය 99 ක් ඉහළ උෂ්ණත්ව කබොල, ගිනි ආරක්ෂණ උදුන නල සහ සෙරමික් ෙබයාරිං, සෙරමික් මුද්රා සහ කපාට තහඩු වැනි විශේෂ ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී ද්රව්ය නිෂ්පාදනය කිරීමට යොදා ගනී. ඇලුමිනියම් සෙරමික් 95 ක් ප්රධාන වශයෙන් විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී කොටසක් ලෙස භාවිතා කරයි. සෙරමික් 85 ක් බොහෝ විට සමහර ගුණාංගවල මිශ්ර කර ඇති අතර එමඟින් විද්යුත් ක්රියාකාරිත්වය සහ යාන්ත්රික ශක්තිය වැඩි දියුණු කරයි. එයට මොලිබ්ඩිනම්, නයෝබියම්, ටැන්ටලම් සහ අනෙකුත් ලෝහ මුද්රා භාවිතා කළ හැකි අතර සමහරක් විදුලි රික්ත උපාංග ලෙස භාවිතා කරයි.
ගුණාත්මක අයිතමය (නියෝජිත වටිනාකම) | නිෂ්පාදන නාමය | ඒඊඑස් -12 | ඒඊඑස් -11 | ඒඊඑස්-11සී | AES-11F හඳුන්වා දීම | ඒඊඑස්-22එස් | ඒඊඑස් -23 | AL-31-03 හඳුන්වා දීම | |
රසායනික සංයුතිය අඩු සෝඩියම් පහසු සින්ටර් කිරීමේ නිෂ්පාදනයක් | ඕ₂ඕ | % | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය |
Lol | % | 0.1 ශ්රේණිය | 0.2 | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | 0.1 ශ්රේණිය | |
පෙබරවාරි₂0₃ | % | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | 0.01 (0.01) යනු කුමක්ද? | |
සිඕ₂ | % | 0.03 යනු කුමක්ද? | 0.03 යනු කුමක්ද? | 0.03 යනු කුමක්ද? | 0.03 යනු කුමක්ද? | 0.02 (0.02) යනු කුමක්ද? | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | |
නා₂O | % | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | 0.02 (0.02) යනු කුමක්ද? | 0.04 (0.04) යනු කුමක්ද? | 0.03 යනු කුමක්ද? | |
එම්ජීඕ* | % | - | 0.11 | 0.05 යනු කුමක්ද? | 0.05 යනු කුමක්ද? | - | - | - | |
අල්₂0₃ | % | 99.9 ශ්රේණිය | 99.9 ශ්රේණිය | 99.9 ශ්රේණිය | 99.9 ශ්රේණිය | 99.9 ශ්රේණිය | 99.9 ශ්රේණිය | 99.9 ශ්රේණිය | |
මධ්යම අංශු විෂ්කම්භය (MT-3300, ලේසර් විශ්ලේෂණ ක්රමය) | μm | 0.44 යනු කුමක්ද? | 0.43 | 0.39 | 0.47 (අඟල් 0.47) | 1.1 ශ්රේණිය | 2.2 2.2 ශ්රේණිය | 3 | |
α ස්ඵටික ප්රමාණය | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
සෑදීමේ ඝනත්වය** | උ/සෙ.මී³ | 2.22 යි | 2.22 යි | 2.2 2.2 ශ්රේණිය | 2.17 2.17 ශ්රේණිය | 2.35 ට | 2.57 යි | 2.56 යි | |
සින්ටර් කිරීමේ ඝනත්වය** | උ/සෙ.මී³ | 3.88 යි | 3.93 යනු | 3.94 යි | 3.93 යනු | 3.88 යි | 3.77 (ඉහළ) | 3.22 | |
සින්ටරින් රේඛාවේ හැකිලීමේ අනුපාතය** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* Al₂O₃ හි සංශුද්ධතාවය ගණනය කිරීමේදී MgO ඇතුළත් නොවේ.
* පරිමාණ කුඩු 29.4MPa (300kg/cm²) නැත, සින්ටර් කිරීමේ උෂ්ණත්වය 1600°C වේ.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0.1% MgO එකතු කරන්න, සින්ටර් කිරීමේ හැකියාව විශිෂ්ටයි, එබැවින් එය 99% ට වැඩි සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඇලුමිනියම් ඔක්සයිඩ් පිඟන් මැටි සඳහා අදාළ වේ.
AES-22S: ඉහළ සාදන ඝනත්වය සහ සින්ටර් කිරීමේ රේඛාවේ අඩු හැකිලීමේ අනුපාතය මගින් සංලක්ෂිත වන අතර, එය අවශ්ය මාන නිරවද්යතාවයෙන් යුත් ස්ලිප් ආකෘති වාත්තු කිරීම සහ අනෙකුත් මහා පරිමාණ නිෂ්පාදන සඳහා අදාළ වේ.
AES-23 / AES-31-03: එය AES-22S ට වඩා ඉහළ සාදන ඝනත්වයක්, තික්සොට්රොපියක් සහ අඩු දුස්ස්රාවීතාවයක් ඇත. පළමුවැන්න සෙරමික් සඳහා භාවිතා කරන අතර දෙවැන්න ගිනි ආරක්ෂණ ද්රව්ය සඳහා ජල අඩු කරන්නෙකු ලෙස භාවිතා කරන අතර ජනප්රිය වෙමින් පවතී.
♦සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ලක්ෂණ
සාමාන්ය ලක්ෂණ | ප්රධාන සංරචකවල සංශුද්ධතාවය (wt%) | 97 | |
වර්ණ | කළු | ||
ඝනත්වය (g/cm³) | 3.1. | ||
ජල අවශෝෂණය (%) | 0 | ||
යාන්ත්රික ලක්ෂණ | නම්යශීලී ශක්තිය (MPa) | 400 යි | |
තරුණ මාපාංකය (GPa) | 400 යි | ||
විකර්ස් දෘඪතාව (GPa) | 20 | ||
තාප ලක්ෂණ | උපරිම ක්රියාකාරී උෂ්ණත්වය (°C) | 1600 ආර්. | |
තාප ප්රසාරණ සංගුණකය | RT~500°C | 3.9 මාස්ටර් | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 ශ්රේණිය | |
තාප සන්නායකතාවය (W/m x K) | 130 110 | ||
තාප කම්පන ප්රතිරෝධය ΔT (°C) | 300 යි | ||
විදුලි ලක්ෂණ | පරිමා ප්රතිරෝධය | 25°C උෂ්ණත්වය | 3 x 106 |
300°C උෂ්ණත්වය | - | ||
500°C උෂ්ණත්වය | - | ||
800°C උෂ්ණත්වය | - | ||
ද්වි විද ත් නියතය | 10GHz ට | - | |
ද්වි විද ත් අලාභය (x 10-4) | - | ||
Q සාධකය (x 104) | - | ||
ද්වි විද ත් බිඳවැටීමේ වෝල්ටීයතාවය (KV/mm) | - |
♦සිලිකන් නයිට්රයිඩ් සෙරමික්
ද්රව්ය | ඒකකය | සි₃එන්₄ |
සින්ටර් කිරීමේ ක්රමය | - | ගෑස් පීඩනය සින්ටර් කර ඇත |
ඝනත්වය | උ/සෙ.මී³ | 3.22 |
වර්ණ | - | තද අළු |
ජල අවශෝෂණ අනුපාතය | % | 0 |
තරුණ මොඩියුලස් | ජීපීඒ | 290 (290) |
විකර්ස් දෘඪතාව | ජීපීඒ | 18-20 |
සම්පීඩ්යතා ශක්තිය | එම්පීඒ | 2200 යි |
නැමීමේ ශක්තිය | එම්පීඒ | 650 (650) |
තාප සන්නායකතාවය | වැසි/මිලි | 25 |
තාප කම්පන ප්රතිරෝධය | Δ (°C) | 450 - 650 |
උපරිම මෙහෙයුම් උෂ්ණත්වය | °C | 1200 (රු. 1200) |
පරිමා ප්රතිරෝධය | Ω·සෙ.මී. | > 10 ^ 14 |
ද්වි විද ත් නියතය | - | 8.2 යි |
ද්වි විද ත් ශක්තිය | kV/මි.මී. | 16 |