නවීන අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය ක්රියාත්මක වන්නේ අතිශයෝක්තියට නැංවීමට අපහසු සංකීර්ණ පරිමාණයකිනි. ප්රමුඛ පෙළේ තාර්කික චිපයක නැනෝමීටර කිහිපයකින් මනිනු ලබන ගේට්ටු දිග සහිත ට්රාන්සිස්ටර අඩංගු වේ - DNA දාමයක පළලට වඩා කුඩාය. මෙම ලක්ෂණ සිලිකන් වේෆරයක් මත මුද්රණය කිරීම සඳහා ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවය අවශ්ය වන අතර එමඟින් පෙර කාර්මික යුගවල වඩාත් නිරවද්ය යාන්ත්රික ඉංජිනේරු විද්යාව පවා සංසන්දනය කිරීමේදී රළු ලෙස පෙනේ. එහෙත් මෙම නැනෝ පරිමාණ ක්රියාවලියේ අත්තිවාරමේ - බොහෝ විට වචනාර්ථයෙන් - හරියටම යන්ත්රගත කරන ලද ආග්නේය පාෂාණ කුට්ටියක් පිහිටා ඇත.
ග්රැනයිට් ව්යුහාත්මක සංරචක අර්ධ සන්නායක ප්රාග්ධන උපකරණවල සෑම තැනකම දක්නට ලැබෙන අතර, මෙම යන්ත්රවල සම්පූර්ණ පද්ධති මට්ටමේ ඉංජිනේරු විද්යාව දෙස බැලීම අවශ්ය වන්නේ මන්දැයි තේරුම් ගැනීම සඳහා: පාලනය කළ යුතු දෝෂ මොනවාද, ඒවා පද්ධතිය හරහා ප්රචාරණය වන ආකාරය සහ ග්රැනයිට් එය ඉටු කරන කාර්යභාරයට අද්විතීය ලෙස ගැලපෙන ද්රව්ය ගුණාංග මොනවාද.
අර්ධ සන්නායක උපකරණ දෝෂ අයවැය: තොගය තේරුම් ගැනීම
සෑම නිරවද්ය ස්ථානගත කිරීමේ පද්ධතියක්ම - සහ අර්ධ සන්නායක සැකසුම් උපකරණ අත්යවශ්යයෙන්ම අතිශයින්ම නිරවද්ය ස්ථානගත කිරීමේ පද්ධති එකතුවකි - ඉංජිනේරුවන් දෝෂ අයවැයක් ලෙස හඳුන්වන දෙයට එරෙහිව ක්රියාත්මක වේ. සම්පූර්ණ අවසර ලත් ස්ථානගත කිරීමේ දෝෂය පද්ධතියේ දෝෂයේ සියලුම ප්රභවයන් හරහා බෙදා හරිනු ලැබේ: කේතක විභේදනය, බෙයාරින් සෘජු බව, තාප ප්ලාවිතය, කම්පනය, ක්රියාකරු රේඛීය නොවන බව සහ ව්යුහාත්මක විරූපණය, ආදිය.
IC නිෂ්පාදනය සඳහා භාවිතා කරන ෆොටෝලිතොග්රැෆි ස්කෑනරයක හෝ පියවර-සහ-ස්කෑන් පද්ධතියක, සම්පූර්ණ අතිච්ඡාදනය දෝෂය (එක් මුද්රිත ස්ථරයක් පෙර එකට පෙළගස්වන නිරවද්යතාවය) මුද්රණය කරනු ලබන අවම විශේෂාංග ප්රමාණයෙන් කොටසකට පාලනය කළ යුතුය. 7nm ක්රියාවලි නෝඩ් වලදී, අතිච්ඡාදනය අවශ්යතා 2nm ට අඩු විය හැකිය. මෙම දෝෂ අයවැයට ව්යුහාත්මක පදනමේ දායකත්වය - තාප ප්ලාවිතය, කම්පන සම්බන්ධ කිරීම හෝ දිගු කාලීන මාන අස්ථාවරත්වය හරහා - මෙම එකතුවෙන් කුඩා කොටසකට තබා ගත යුතුය.
මෙය වෙනස් පාලන ඇල්ගොරිතමයක් හෝ වේගවත් සංවේදකයක් භාවිතා කිරීමෙන් සපුරාලිය හැකි සීමාවක් නොවේ. එයට ව්යුහාත්මක ද්රව්ය සහජයෙන්ම ස්ථායී වීම අවශ්ය වේ. ඔබට මැනිය නොහැකි ප්ලාවිතයක් ප්රතිපෝෂණ-නිවැරදි කළ නොහැකි අතර, ඔබේ සංවේදකයේ විභේදනයට පහළින් සංඛ්යාතවල හෝ දිග පරිමාණයන්හි සිදුවන දෝෂ සඳහා ඔබට සම්පූර්ණයෙන්ම වන්දි ගෙවිය නොහැක. මූලික ද්රව්ය තේරීම වැදගත් වන්නේ මේ නිසා ය: එය ක්රියාකාරී පාලනයට උදව් කළ නොහැකි මූලික තට්ටුව තීරණය කරයි.
තාප කළමනාකරණය: මධ්යම අභියෝගය
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ව්යුහාත්මක සංරචක සඳහා පනවා ඇති සියලුම ස්ථායිතා අවශ්යතා අතුරින්, තාප කළමනාකරණය සාමාන්යයෙන් වඩාත්ම ඉල්ලුමක් පවතී. අර්ධ සන්නායක සැකසුම් පරිසරයන් ඉතා පරිස්සමින් උෂ්ණත්වය පාලනය කරනු ලැබේ - ලිතෝග්රැෆි සඳහා පිරිසිදු කාමර සාමාන්යයෙන් 20°C ± 0.01°C හෝ නිරාවරණ කලාපයේ ඊටත් වඩා තදින් තබා ඇත. නමුත් මෙම මට්ටමේ පාරිසරික පාලනය සමඟ වුවද, තාප අනුක්රමණ සහ තාවකාලික උච්චාවචනයන් උපකරණ නිර්මාණයට සීමාවන් පනවා ඇත.
ෆොටෝලිතෝග්රැෆි පද්ධතියක වේෆර් අවධියකට සහාය වන ග්රැනයිට් ගැන්ට්රි ව්යුහයක් සලකා බලන්න. මෙම ව්යුහය එක් කෙළවරක සිට අනෙක් කෙළවර දක්වා 0.01°C උෂ්ණත්ව අනුක්රමණයක් අත්විඳින්නේ නම් - දැනටමත් අතිශයින් හොඳින් පාලනය කර ඇති තත්වයක් - සහ එය 7 × 10⁻⁶/°C CTE සමඟ මීටර 1 ක් දිග නම්, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස අවකල ප්රසාරණය ආසන්න වශයෙන් පිකෝමීටර 70 කි. මුලින්ම බැලූ බැල්මට, මෙය නොසැලකිය හැකි තරම් කුඩා බව පෙනේ. නමුත් 2nm උඩැතිරි පිරිවිතරයක සන්දර්භය තුළ, මෙම තනි තාප දායකත්වය දැනටමත් මුළු දෝෂ අයවැයෙන් 3.5% ක් පරිභෝජනය කරයි. අනෙක් සෑම තාප ප්රභවයක්ම - මෝටර් තාපය, දරණ ඝර්ෂණය, අදියර ත්වරණ ශක්තිය - ඉතිරි අයවැය සඳහා තරඟ කරයි.
මේ නිසා තාප ප්රසාරණ සංගුණකය ග්රැනයිට් සඳහා පිරිවිතර අයිතමයක් පමණක් නොවේ - එය ප්රාථමික තේරීමේ නිර්ණායකයකි. ඝනත්වය වහාම පැහැදිලි නොවන ආකාරයකින් වැදගත් වන්නේ එබැවිනි: ඉහළ ඝනත්ව ග්රැනයිට් (ඝනත්වය ≈ 3,100 kg/m³ සහිත වාරික කළු ග්රැනයිට් වැනි) අඩු සිදුරු සහිත වන අතර, එනම් අවශෝෂණය අඩු තෙතමනයක් ඇති අතර එම නිසා පරිසර ආර්ද්රතාවය තරමක් වෙනස් වන විට ජලාකර්ෂණීය මානයන් අඩු වේ. සඳහාඅර්ධ සන්නායක උපකරණ, වාරික සහ සාමාන්ය ග්රැනයිට් අතර මෙම වෙනස න්යායාත්මක නොවේ - එය යන්ත්රයේ අවසාන ක්රියාකාරිත්වයෙන් මැනිය හැකිය.
කම්පන හුදකලා කිරීම සහ තෙතමනය: නිරාවරණ කලාපය ආරක්ෂා කිරීම
අර්ධ සන්නායක උපකරණ පිරිසිදු කාමර බාහිර කම්පන සම්ප්රේෂණය අවම කිරීම සඳහා නිර්මාණය කර ඇති හුදකලා බිම් පුවරු මත පිහිටා ඇත. නමුත් ක්රියාකාරී කම්පන හුදකලා පද්ධති - වායු ෙබයාරිං, විද්යුත් චුම්භක ක්රියාකාරක හෝ අවස්ථිති සංවේදක සක්රීය තෙතමනය ලූප වලට පෝෂණය කිරීම - සමඟ වුවද, උපකරණවල ව්යුහාත්මක සංරචක ඒවාට ළඟා වන අවශේෂ කම්පන විස්තාරණය කිරීම හෝ දුර්වල ලෙස දුර්වල කිරීම නොකළ යුතුය.
ග්රැනයිට් වල තෙතමනය අඩු කිරීමේ සංගුණකය (ද්රව්යය තුළ යාන්ත්රික කම්පන ශක්තිය අවශෝෂණය කර තාපය බවට පරිවර්තනය වන වේගය) සාමාන්යයෙන් වාත්තු යකඩවලට වඩා තුන් ගුණයකින් හෝ පස් ගුණයකින් වැඩි වන අතර ව්යුහාත්මක වානේවලට වඩා සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි ය. සංවේදී දෘශ්ය මූලද්රව්ය හෝ ස්ථානගත කිරීමේ අදියර සඳහා දෘඩ සවි කිරීමේ ව්යුහයක් සාදන සංරචකයක් සඳහා, ද්රව්ය තෙතමනය කිරීමේ මෙම වෙනස මිලි තත්පර කිහිපයක් ඇතුළත දිරාපත් වන කම්පන කැළඹීමක් සහ මිලි තත්පර දස ගණනක් නාද වන එකක් අතර වෙනස අදහස් කළ හැකිය - නිරාවරණයක බොඳවීමක්, වේෆර් හසුරුවන්නෙකුගේ ස්ථානගත කිරීමේ දෝෂයක් හෝ මාර්ගගත පරීක්ෂණ පද්ධතියක මිනුම් කෞතුක වස්තුවක් ඇති කිරීමට ප්රමාණවත් තරම් දිගු වේ.
ප්රායෝගික උපකරණ නිර්මාණයේදී, ඉංජිනේරුවන් ව්යුහාත්මක මූලද්රව්ය නිශ්චිත කරන ආකාරය තුළින් මෙය ප්රකාශ වේ. වේෆර් වේදිකා පද්ධතියක සවි කිරීමේ පාලම, සිරස් පරීක්ෂණ යන්ත්රයක තීරු ව්යුහය, ප්රක්ෂේපණ කාච එකලස් කිරීමේ පාදක තහඩුව - මේ සියල්ල ග්රැනයිට් වල ඉහළ දෘඪතාව (එහි ඝනත්වයට සාපේක්ෂව ඉහළ ප්රත්යාස්ථතා මාපාංකය) සහ ඉහළ ද්රව්ය තෙතමනය සංයෝජනයෙන් ප්රතිලාභ ලබයි. මෙම සංයෝජනය ග්රැනයිට් ව්යුහයකට සාපේක්ෂව ඉහළ ස්වාභාවික සංඛ්යාතයක් සහ බලහත්කාර දෝලනයන්ගේ වේගවත් ක්ෂය වීමක් ලබා දෙයි, මේ දෙකම නිරවද්ය ස්ථානගත කිරීමේ පද්ධති නිර්මාණයේ යෝග්ය ගුණාංග වේ.
දිගුකාලීන මාන ස්ථායිතාව: විශ්වාසයේ ජ්යාමිතිය
අර්ධ සන්නායක උපකරණ මිල අධිකයි - ප්රමුඛ පෙළේ ලිතෝග්රැෆි පද්ධති සඳහා ඩොලර් මිලියන සිය ගණනක් වැය වේ - එය වසර ගණනාවක් හෝ දශක ගණනාවක් පවා පිරිවිතරයන් තුළ ක්රියාත්මක වනු ඇතැයි අපේක්ෂා කෙරේ. මෙම සේවා කාලය තුළ, ප්රධාන ව්යුහාත්මක මූලද්රව්ය අතර මාන සම්බන්ධතා පද්ධතියේ දෝෂ අයවැය තුළ ස්ථාවරව පැවතිය යුතුය. මාස ගණනක කාල පරිමාණය මත මන්දගාමී ප්ලාවිතයන් පවා පෙළගැස්වීමේ දෝෂ බවට එකතු විය හැකි අතර එමඟින් අස්වැන්න පිරිහීමට හෝ කාලසටහන්ගත නොකළ නැවත ක්රමාංකනය කිරීමට බල කෙරේ.
ග්රැනයිට් වල භූ විද්යාත්මක ප්රාග් ඓතිහාසික කාලය ප්රායෝගික ඉංජිනේරු වාසියක් බවට පත්වන්නේ මෙහිදීය. කැණීම් කර, ස්ථාවර කර, සැකසූ ග්රැනයිට් දැනටමත් සේවයේ මානයන් වෙනස් කිරීමට හේතු වන ආතති-සහන සහ ඒකාබද්ධ කිරීමේ ක්රියාවලීන්ට භාජනය වී ඇත. හොඳින් සැකසූ ග්රැනයිට් ව්යුහයක් තමන්ගේම බරට රිංගන්නේ නැත; එය මාස ගණනාවක් පුරා අවශේෂ යන්ත්රෝපකරණ ආතතීන් මුදා හරින්නේ නැත; එය එහි පරිමාව වෙනස් කරන අදියර වෙනස්කම් හෝ වර්ෂාපතන ප්රතික්රියා වලට භාජනය නොවේ. අර්ධ සන්නායක උපකරණවල හමු වන උෂ්ණත්ව හා බරෙහි මෙහෙයුම් පරාසය තුළ, නිරවද්ය ග්රැනයිට් ව්යුහයක් ක්රියාකාරී තාප වන්දි නොමැතිව කිසිදු වත්මන් ව්යුහාත්මක ලෝහයකට සමාන කාල පරිමාණයන් මත නොගැලපෙන ස්ථාවරත්වයක් සමඟ එහි ජ්යාමිතිය පවත්වා ගනු ඇත.
මෙම ස්ථායිතාව ස්වයංක්රීය නොවේ - එය අමුද්රව්යවල ගුණාත්මකභාවය සහ සැකසුම් ක්රමය මත තීරණාත්මකව රඳා පවතී. ප්රමාණවත් ආතති-සහන කාල පරිච්ඡේද නොමැතිව, ඉතා වේගයෙන් කපා සකස් කරන ලද ගල්, බෙදා හැරීමෙන් පසුවද පාවී යා හැක. කීර්තිමත් නිරවද්ය ග්රැනයිට් නිෂ්පාදකයින් ඔවුන්ගේ නිෂ්පාදන ක්රියාවලියට පාලිත වයස්ගත වීමේ කාල පරිච්ඡේද ඇතුළත් කරන්නේ මේ නිසා වන අතර, පැමිණෙන ද්රව්ය සත්යාපනය - එක් එක් කාණ්ඩයේ ඝනත්වය, දෘඪතාව සහ ධාන්ය ව්යුහය පරීක්ෂා කිරීම - අත්යවශ්ය ගුණාත්මක පිළිවෙතක් වේ.
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල ග්රැනයිට් සංරචකවල නිශ්චිත යෙදුම්
වේෆර් අදියර පාදක තහඩු සහ යොමු මතුපිට
ලිතෝග්රැෆි පද්ධතියක සිලිකන් වේෆර් චලනය කරන අදියර, උප-නැනෝමීටර පුනරාවර්තන හැකියාව සහිතව නිරාවරණ ප්රභවයේ කදම්භයේ සෑම ඩයි ස්ථානයක්ම ස්ථානගත කළ යුතුය. අදියර මාර්ගෝපදේශ පද්ධතිය සවි කර ඇති පාදක තහඩුව - සහ ලේසර් අන්තර්-අන්තර්මිතිය හෝ රේඛීය කේතක මගින් අදියර පිහිටීම මනිනු ලබන යොමු මතුපිට - පැතලි, ස්ථායී සහ විකෘති නොවන විය යුතුය.
වේෆර් අදියර සඳහා වන ග්රැනයිට් පාදක තහඩු සාමාන්යයෙන් සම්පූර්ණ අදියර ගමන් පරාසය පුරා 1 μm ට අඩු සමතලා අගයන්ට සහ සමහර සැලසුම් වලදී නැනෝමීටර සිය ගණනක අගයන්ට ලැප් කරනු ලැබේ. ග්රැනයිට් මඟින් සියලුම ස්ථානගත කිරීමේ මිනුම් සිදු කරනු ලබන භෞතික යොමුව සපයයි; මෙම යොමු පෘෂ්ඨයේ ඇති ඕනෑම ආකෘති දෝෂයක් යන්ත්රයේ ස්ථානගත කිරීමේ නිරවද්යතාවයේ සෘජුවම දිස්වේ.
දෘශ්ය තීරු ව්යුහයන් සහ කාච සවි කිරීමේ රාමු
ෆොටෝලිතෝග්රැෆි පද්ධතියක වෛෂයික කාචය හෝ ප්රක්ෂේපණ කාච එකලස් කිරීම, ආලෝකකරණ ආලෝකයේ තරංග ආයාමයෙන් කොටසකට කාච මූලද්රව්ය අතර නිරවද්ය පෙළගැස්මක් පවත්වා ගත යුතුය. මෙම කාච මූලද්රව්ය සවිකරන ව්යුහාත්මක රාමුව ක්රියාත්මක වන විට තාප බර, ගුරුත්වාකර්ෂණය සහ ගතික බලවේග වලින් විරූපණයට ප්රතිරෝධය දැක්විය යුතුය.
ග්රැනයිට් ව්යුහයන් සමහර පද්ධති සැලසුම්වල ප්රක්ෂේපණ දෘෂ්ටි විද්යාව සඳහා සවි කිරීමේ රාමු ලෙස භාවිතා කරයි, විශේෂයෙන් ගතික ක්රියාකාරිත්වයට වඩා දිගුකාලීන පෙළගැස්වීමේ ස්ථායිතාව වඩාත් තීරණාත්මක වන පද්ධතිවල. ඉහළ දෘඪතාව, අඩු CTE සහ ශුන්ය චුම්භක පාරගම්යතාවයේ සංයෝජනය (එය වෙනත් ආකාරයකින් චුම්භකව ක්රියාත්මක වන කාච මූලද්රව්යවලට බලපෑ හැකිය) ග්රැනයිට් මෙම යෙදුම් සඳහා තරඟකාරී තේරීමක් කරයි.
ක්රියාවලි උපකරණවල මිනුම් විද්යා රාමු
බොහෝ අර්ධ සන්නායක ක්රියාවලි මෙවලම් වල - තැන්පත් කිරීමේ පද්ධති, කැටයම් කුටි, පරීක්ෂණ යන්ත්ර - සැබෑ සැකසුම් පරිසරය ග්රැනයිට් ව්යුහයකට (රසායනිකව හෝ තාපජව) ඉතා ආක්රමණශීලී ය. නමුත් මෙම මෙවලම් වලට තවමත් ක්රියාවලි ස්ථාන මනිනු ලබන ස්ථාවර බාහිර යොමු රාමුවක් අවශ්ය වේ. ක්රියාවලි කුටියෙන් පිටත සවි කර ඇති නමුත් නිරවද්ය චාලක සවි කිරීම් හරහා එයට සම්බන්ධ කර ඇති ග්රැනයිට් මිනුම් විද්යා රාමු මෙම කාර්යභාරය ඉටු කරයි, කටුක ක්රියාවලි පරිසරයෙන් හුදකලා වූ තාප ස්ථායී මිනුම් යොමුවක් සපයයි.
PCB විදුම් යන්ත්ර සහ උපස්ථර සැකසුම් උපකරණ
සිලිකන් වේෆර් සැකසීමෙන් ඔබ්බට, පුළුල් ඉලෙක්ට්රොනික නිෂ්පාදන පරිසර පද්ධතියට බහු ස්ථර පරිපථ පුවරුවක ස්ථර සම්බන්ධ කරන සිදුරු නිර්මාණය කරන PCB විදුම් යන්ත්ර සහ උසස් ඇසුරුම් සඳහා උපස්ථර සැකසුම් උපකරණ ඇතුළත් වේ. මෙම යන්ත්ර සඳහා පැය දහස් ගණනක ක්රියාකාරිත්වය තුළ මයික්රෝමීටර කිහිපයක ඉවසීමක් තුළ බහු අධිවේගී ස්පින්ඩල් අතර ස්ථානීය සම්බන්ධතාවය පවත්වා ගෙන යන පාදක ව්යුහයන් අවශ්ය වේ. ස්පින්ඩල් අතර කම්පන සම්බන්ධ කිරීමට එරෙහිව සහ අධිවේගී විදුම් මෝටර වලින් තාප පැටවීමට එරෙහිව ග්රැනයිට් භෂ්ම අවශ්ය දිගුකාලීන ස්ථායිතාව සපයයි.
පද්ධති මට්ටමේ සැලසුම් සලකා බැලීම්: යෙදුමට ග්රැනයිට් ගැලපීම
අර්ධ සන්නායක උපකරණවල සෑම යෙදුමකටම එකම ශ්රේණියේ නිරවද්ය ග්රැනයිට් අවශ්ය නොවේ. ග්රැනයිට් ව්යුහාත්මක සංරචක සමඟ වැඩ කරන පද්ධති නිර්මාණකරුවන් සාධක කිහිපයක් සලකා බැලිය යුතුය:
ආකෘති සාධකය සහ බර - ග්රැනයිට් වල ඝනත්වය (ශ්රේණිය අනුව 2,700–3,100 kg/m³) විශාල සංරචක බර කරයි, සහ ආධාරක ව්යුහය ඒ අනුව නිර්මාණය කළ යුතුය. බර ග්රැනයිට් අදියර පාවීමට භාවිතා කරන වායු දරණ පද්ධති සඳහා බර ධාරිතාව සහ මතුපිට පීඩනය ප්රවේශමෙන් ගණනය කිරීම අවශ්ය වේ.
මතුපිට නිම කිරීමේ අවශ්යතා — වාතය දරණ මාර්ගෝපදේශක මතුපිට නිවැරදිව ක්රියා කිරීම සඳහා අතිශය අඩු රළු බවක් (Ra < 0.1 μm සාමාන්ය වේ) අවශ්ය වේ. මෙය ලැපින් ක්රියාවලිය සහ ගලෙහි දෘඪතාව සහ ධාන්ය ව්යුහය මත ඉල්ලීම් ඇති කරයි.
ග්රැනයිට් වලම තාප කළමනාකරණය - වඩාත්ම ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම් සඳහා, ග්රැනයිට් සංරචකවල සංරචකයේ උෂ්ණත්වය ක්රියාකාරීව පාලනය කිරීමට සහ තාප අනුක්රමණ මැඩපැවැත්වීමට අභ්යන්තර සිසිලන නාලිකා (සාමාන්යයෙන් ගලා යන උෂ්ණත්වය පාලනය කරන ලද ජලය) ඇතුළත් කළ හැකිය. මේ සඳහා සිසිලන නාලිකා සහ අවට ගල අතර තාප අතුරුමුහුණත ප්රවේශමෙන් සැලසුම් කිරීම සහ සිසිලන පරිපථයේ නිරවද්ය උෂ්ණත්ව පාලනය අවශ්ය වේ.
අතුරුමුහුණත් නිර්මාණය — ග්රැනයිට් දැඩි හා බිඳෙන සුළුය; ඉරිතැලීමේ හෝ විකෘති වීමේ අවදානමකින් තොරව එය ලෝහයට සමාන නිදහසකින් තද කළ නොහැක හෝ බෝල්ට් කළ නොහැක. අධික සීමාවකින් තොරව නිදහසේ අංශක හයම සීමා කිරීම සඳහා ලක්ෂ්ය තුනක සම්බන්ධතාවයක් භාවිතා කරමින් චාලක සවි කිරීමේ සැලසුම් - ඒවායේ ආධාරක ව්යුහයන්ට නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචක සවි කිරීම සඳහා සම්මත පිළිවෙතකි.
මූලික ස්ථායිතාව සහ අස්වැන්න අතර සම්බන්ධතාවය
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන අස්වැන්න - පිරිවිතර සපුරාලන වේෆරයක චිප්ස් කොටස - ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේ ක්රමානුකූල අවකාශීය දෝෂ වලට සංවේදී වේ. නිරාවරණ ක්ෂේත්රයක් හරහා අනුකූල වන අතිච්ඡාදනය වන දෝෂයක් තීරණාත්මක මානයන් (CD) මිනුම්වල ව්යාප්තිය මාරු කළ හැකි අතර, එමඟින් පිරිවිතරයෙන් පිටත තවත් චිප් වැටීමට හේතු වේ. මෙය සෘජු ආර්ථික බලපෑමකි: අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ අස්වැන්න පාඩු වේෆරයකට ඩොලර් වලින් මනිනු ලබන අතර, වේෆර් සඳහා ඩොලර් සිය ගණනක් හෝ දහස් ගණනක් වැය වේ.
එබැවින්, අතිච්ඡාදනය වන දෝෂ සඳහා දායක වන පාදක ව්යුහයේ අස්ථාවරත්වය සෘජු, ප්රමාණනය කළ හැකි පිරිවැයක් දරයි. නිෂ්පාදන දත්තවල සම්බන්ධතාවය සැමවිටම පැහැදිලි නැත - පාදක ව්යුහයේ ප්ලාවිතයේ බලපෑම සෙමින් සමුච්චය වන අතර සාමාන්ය අස්වැන්න නිරීක්ෂණයේදී වෙනත් හේතූන් නිසාද ඇති විය හැක. නමුත් සවිස්තරාත්මක අසාර්ථක මාදිලි විශ්ලේෂණයේදී, උපකරණ පදනමේ ප්රමාණවත් ව්යුහාත්මක ස්ථායිතාව අස්වැන්න ඉහළ යාමේ මූල හේතුවක් ලෙස නිතර මතු වේ.
අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදකයින් මූලික ව්යුහ නිර්මාණය සහ ද්රව්ය තෝරා ගැනීම සඳහා සැලකිය යුතු ඉංජිනේරු උත්සාහයක් ආයෝජනය කරන්නේ මේ නිසාය - සහ නව කෘතිම ද්රව්ය ලබා ගත හැකි වුවද, නිරවද්ය ග්රැනයිට් බොහෝ තීරණාත්මක ව්යුහාත්මක භූමිකාවන්හි නිශ්චිතව දක්වා ඇත්තේ මන්ද යන්නයි. නිෂ්පාදන පරිසරයන්හි දශක ගණනාවක් තිස්සේ පෙන්නුම් කරන ලද කාර්ය සාධනයක් සහිත ද්රව්යයක් ප්රතිස්ථාපනය කිරීම සාධාරණීකරණය කිරීම සඳහා විකල්ප ද්රව්යයකට මාරුවීමේ කාර්ය සාධන ප්රතිලාභය සැලකිය යුතු විය යුතුය.
නිගමනය: නොපෙනෙන පදනම
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, මහජන අවධානය දිනා ගන්නා සංරචක වන්නේ නැනෝ පරිමාණ ට්රාන්සිස්ටර, අධි බලැති ලේසර්, සංකීර්ණ රසායන විද්යාව සහ නවීන පාලන ඇල්ගොරිතම ය. මෙම තාක්ෂණය රඳා පවතින ග්රැනයිට් පාදක ව්යුහයන් අවසාන නිෂ්පාදනයේ නොපෙනෙන නමුත් එම නිෂ්පාදනය කළ හැකි කිරීමට ඒවා අත්යවශ්ය වේ.
මයික්රෝන පරිමාණයෙන් නැනෝමීටර පරිමාණයන් දක්වා අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ පරිණාමය ග්රැනයිට් අඩු අදාළත්වයක් ඇති කර නැත. පිරිවිතරයන් දැඩි වී ඇති අතර ක්රියාවලි උපකරණවල පිරිවැය ඉහළ ගොස් ඇති බැවින්, නිරපේක්ෂ ව්යුහාත්මක ස්ථායිතාව සඳහා අවශ්යතාවය තීව්ර වී ඇත. ග්රැනයිට් - නිවැරදිව නිශ්චිතව දක්වා ඇති, දැඩි ලෙස සකසන ලද සහ නිශ්චිතව මනිනු ලබන - ලෝකයේ වඩාත්ම දියුණු නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ අත්තිවාරමේදී එම ස්ථායිතාව සැපයීම දිගටම කරගෙන යයි.
පළ කිරීමේ කාලය: 2026 ජූනි-26