අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය 3nm ක්රියාවලීන් සහ ඉන් ඔබ්බට තල්ලු වන විට, දෝෂ සඳහා ඇති ආන්තිකය ඵලදායී ලෙස අතුරුදහන් වී ඇත. උපකරණ නිෂ්පාදකයින් සඳහා, යන්ත්ර පදනමේ ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව තවදුරටත් යාන්ත්රික සලකා බැලීමක් පමණක් නොවේ - එය අස්වැන්න පිළිබඳ තීරණාත්මක නිර්ණායකයකි.
ZHHIMG සමූහයේදී, වේෆර් පරීක්ෂාව සහ ලිතෝග්රැෆි පද්ධතිවලදී, නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචක උප-මයික්රෝන ස්ථායිතාව පවත්වා ගැනීම සඳහා කර්මාන්ත ප්රමිතිය බවට පත්ව ඇති බව අපි හඳුනා ගනිමු. නමුත් ඔබේ නිශ්චිත යෙදුම සඳහා නිවැරදි ද්රව්ය තෝරා ගන්නේ කෙසේද?
ද්රව්යමය ගැටුම: ග්රැනයිට් එදිරිව. වානේ එදිරිව. ඛනිජ වාත්තු කිරීම
අර්ධ සන්නායක උපකරණ පදනමක් නිර්මාණය කිරීමේදී, ඉංජිනේරුවන් සාමාන්යයෙන් ප්රාථමික ද්රව්ය තුනක් කිරා මැන බලයි. ඒවායේ භෞතික ගුණාංග අවබෝධ කර ගැනීම දිගුකාලීන නිරවද්යතාවය සහතික කිරීම සඳහා යතුරයි.
1. ග්රැනයිට්: ස්ථායිතාව සඳහා රන් ප්රමිතිය
ZHHIMG විසින් බොහෝ විට භාවිතා කරන G684 හෝ ජිනන් කළු ප්රභේද වැනි ඉහළ ඝනත්ව කළු ග්රැනයිට් අද්විතීය ගුණාංග සංයෝජනයක් ලබා දෙයි. එය ස්වභාවිකවම වයස්ගත වී ඇත, එනම් එයට අභ්යන්තර ආතතිය ශුන්ය වේ. ලෝහ මෙන් නොව, එය මලකඩ හෝ ඔක්සිකරණය නොවේ, සහ එයට සුවිශේෂී කම්පන තෙතමනය කිරීමේ හැකියාවන් ඇත.
2. වානේ: ඉහළ තද බව, ඉහළ අවදානමක්
වෑල්ඩින් කරන ලද වානේ ව්යුහයන් දැඩි නමුත් තාප විකෘතිතාවයට ගොදුරු වේ. උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් සමඟ වානේ සැලකිය යුතු ලෙස ප්රසාරණය වන අතර එමඟින් සංවේදී දෘශ්ය මාර්ග වැරදි ලෙස පෙළගස්වා ගත හැකිය. තවද, වෑල්ඩින් කරන ලද රාමු කාලයත් සමඟ අවශේෂ ආතති සහන සඳහා ගොදුරු වන අතර එමඟින් විකෘති වීමට හේතු වේ.
3. ඛනිජ වාත්තු කිරීම (පොලිමර් කොන්ක්රීට්): විකල්පය
ඛනිජ වාත්තු කිරීම හොඳ තෙතමනයක් ලබා දෙන නමුත් බොහෝ විට ස්වාභාවික ග්රැනයිට් වල ඇති දැඩි දෘඪතාව සහ මතුපිට කල්පැවැත්ම නොමැත. ඇතැම් යන්ත්ර මෙවලම් සඳහා ප්රයෝජනවත් වුවද, එය ඉහළ මට්ටමේ අර්ධ සන්නායක වේෆර් හැසිරවීමේ අතිශය පැතලි බව සහ ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී අවශ්යතා සපුරාලන්නේ නැත.
තාක්ෂණික සංසන්දනය: ග්රැනයිට් දිනන්නේ ඇයි?
| විශේෂාංගය | නිරවද්ය ග්රැනයිට් | වානේ / වෑල්ඩින් රාමුව | ඛනිජ වාත්තු කිරීම |
|---|---|---|---|
| තාප ප්රසාරණය | ඉතා අඩුයි | ඉහළ (උෂ්ණත්ව පාලනය අවශ්යයි) | අඩු |
| කම්පන තෙතමනය | විශිෂ්ටයි (10x වානේ) | දුප්පත් | හොඳයි |
| මාන ස්ථායිතාව | ස්ථිර (ස්වාභාවික වයසට යාම) | කාලයත් සමඟ ඇතිවන ප්ලාවිතයන් (ආතති සහනය) | ස්ථාවර |
| විඛාදන ප්රතිරෝධය | ප්රතිශක්තිකරණ | ආලේපනය/තීන්ත ආලේප කිරීම අවශ්යයි | හොඳයි |
| චුම්භක ගුණාංග | චුම්භක නොවන | චුම්භක (ඊ-කදම්භයට බාධා කරයි) | චුම්භක නොවන |
ප්රධාන නිගමනය: උප-ක්ෂුද්ර පුනරාවර්තන හැකියාව අවශ්ය අර්ධ සන්නායක උපකරණ සඳහා, ග්රැනයිට් වල තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකය සහ චුම්භක නොවන ස්වභාවය එය වානේ වලට වඩා උසස් සහ ඛනිජ වාත්තු කිරීමට වඩා කල් පවතින බවට පත් කරයි.
ස්ථායිතාව පිළිබඳ විද්යාව: අඩු ප්රසාරණය සහ ඉහළ තෙතමනය
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, ග්රැනයිට් වල භෞතික ගුණාංග දෙකක් ඉතා වැදගත් වේ:
1. තාප ප්රසාරණයේ අඩු සංගුණකය
අර්ධ සන්නායක ෆැබ් (කර්මාන්තශාලා) දැඩි උෂ්ණත්ව පාලනයක් පවත්වා ගනී, නමුත් ක්ෂුද්ර උච්චාවචනයන් තවමත් සිදු වේ. ග්රැනයිට් වල තාප ප්රසාරණ සංගුණකය ඉතා අඩුය (සාමාන්යයෙන් අවට
4.5×10−6/∘C). මෙයින් අදහස් කරන්නේ පරිසර උෂ්ණත්වය සුළු වශයෙන් වෙනස් වුවද, ග්රැනයිට් පාදය මාන වශයෙන් ස්ථායීව පවතින බවත්, වේෆර් අවධියේ පෙළගැස්ම නැනෝමීටරයට නිවැරදිව පවතින බවත් සහතික කරන බවයි.
2. ඉහළ තෙතමනය කිරීමේ ධාරිතාව
කම්පනය නිරවද්යතාවයේ සතුරා වේ. එය බිම කම්පනය හෝ යන්ත්රයේම මෝටර මගින් ජනනය වන කම්පනය වේවා, මෙම දෝලනය ක්රියාවලියේ "රූපය" බොඳ කරයි. ග්රැනයිට් වල ස්ඵටික ව්යුහය වානේ හෝ යකඩවලට වඩා බොහෝ ඵලදායී ලෙස කම්පනය අවශෝෂණය කරයි. වේෆර් පරීක්ෂණ පද්ධති සඳහා මෙම ඉහළ තෙතමනය කිරීමේ ධාරිතාව ඉතා වැදගත් වේ.
කර්මාන්ත සිද්ධි අධ්යයනය: වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ
වේෆර් පරීක්ෂණ මෙවලම් නිෂ්පාදනය කරන ප්රමුඛ පෙළේ නිෂ්පාදකයෙකු සලකා බලන්න. ඔවුන්ගේ අභියෝගය වූයේ දිගු ස්කෑන් චක්රවලදී ඒවායේ සංවේදකවල දෘශ්ය පෙළගැස්මට බලපාන තාප ප්ලාවිතයයි.
ZHHIMG විසඳුම:
අපි ඔවුන්ගේ පවතින ලෝහ පාදක ව්යුහය අභිරුචි-ඉංජිනේරු නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචකයකින් ප්රතිස්ථාපනය කළෙමු.
අපි ඔවුන්ගේ පවතින ලෝහ පාදක ව්යුහය අභිරුචි-ඉංජිනේරු නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචකයකින් ප්රතිස්ථාපනය කළෙමු.
- ඒකාබද්ධ කිරීම: අපි නිරවද්ය සවි කිරීමේ අතුරුමුහුණත් සහ කේබල් නාලිකා කෙලින්ම ග්රැනයිට් ව්යුහයට යන්ත්රගත කළ අතර, එකලස් කිරීමේ සංකීර්ණතාව අඩු කළෙමු.
- ප්රතිඵලය: පාරිභෝගිකයා තාප විකෘතිතාවයේ සැලකිය යුතු අඩුවීමක් වාර්තා කළේය. ග්රැනයිට් පාදය දෘෂ්ටි විද්යාව සඳහා “උදාසීන” උෂ්ණත්ව පරිසරයක් සැපයූ අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස ඉහළ ප්රතිදානයක් සහ අඩු ව්යාජ දෝෂ හඳුනාගැනීම් ඇති විය.
නිරවද්යතාවය සඳහා ZHHIMG සමඟ හවුල් වීම
නිවැරදි සැපයුම්කරු තෝරා ගැනීම නිවැරදි ද්රව්ය තෝරා ගැනීම තරම්ම වැදගත් වේ. ZHHIMG සමූහයේදී, අපි ගල් කැපීම පමණක් නොව; නිරවද්ය ව්යුහයන් ඉංජිනේරු කරමු.
- උසස් නිෂ්පාදනය: සංකීර්ණ ජ්යාමිතීන් මත දැඩි ඉවසීමක් ලබා ගැනීම සඳහා අපි මහා පරිමාණ CNC යන්ත්රෝපකරණ මධ්යස්ථාන භාවිතා කරමු.
- තත්ත්ව පාලනය: ඔබේ නිශ්චිත අර්ධ සන්නායක ප්රමිතීන්ට අනුකූලව පැතලි බව සහ සමාන්තරකරණය සහතික කිරීම සඳහා සෑම සංරචකයක්ම ලේසර් ඉන්ටර්ෆෙරෝමීටර සහ ඉලෙක්ට්රොනික මට්ටම් මිනුම් භාවිතයෙන් දැඩි පරීක්ෂාවකට භාජනය වේ.
- අභිරුචිකරණය: රික්ත පූර්ව-පටවන ලද වායු දරණ මතුපිටවල සිට නූල් ඇතුළු කිරීම් දක්වා, අපි ඔබේ යාන්ත්රික අවශ්යතා කෙලින්ම ග්රැනයිට් තුළට ඒකාබද්ධ කරමු.
නිගමනය
අපි 2026 දක්වා ඉදිරියට යන විට, උප-මයික්රෝන නිරවද්යතාවය සඳහා ඇති ඉල්ලුම තීව්ර වනු ඇත. නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචක තෝරා ගැනීමෙන්
අපි 2026 දක්වා ඉදිරියට යන විට, උප-මයික්රෝන නිරවද්යතාවය සඳහා ඇති ඉල්ලුම තීව්ර වනු ඇත. නිරවද්ය ග්රැනයිට් සංරචක තෝරා ගැනීමෙන්
පළ කිරීමේ කාලය: 2026 අප්රේල්-09