ලේසර් තාක්ෂණය, ගැඹුරු අභ්යවකාශ ගවේෂණය සහ අන්ත පාරජම්බුල කිරණ (EUV) ලිතෝග්රැෆි යන වේගයෙන් පරිණාමය වන ක්ෂේත්රවල, දෘශ්ය නිරවද්යතාවය සඳහා ඇති ඉල්ලුම පරමාණුක මට්ටම් කරා ළඟා වෙමින් පවතී. දෘශ්ය සහ ෆෝටෝනික්ස් සමාගම් සඳහා, නිරවද්ය වීදුරු සංරචකවල ගුණාත්මකභාවය හුදෙක් පිරිවිතරයක් නොවේ - එය පද්ධති ක්රියාකාරිත්වයේ නිර්වචන සාධකයයි.
ZHHIMG සමූහයේදී, මෙම සංරචක නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා ද්රව්ය කැපීමට වඩා වැඩි යමක් අවශ්ය බව අපි තේරුම් ගනිමු; එයට ආලෝකයේ සහ පදාර්ථයේ භෞතික විද්යාව ප්රගුණ කිරීම අවශ්ය වේ. මෙම ලිපියෙන් දෘශ්ය වීදුරු වල තීරණාත්මක යෙදුම් සහ අතිශය නිරවද්ය දෘශ්ය පදනම් ලබා දීම සඳහා අප ජය ගන්නා දැඩි නිෂ්පාදන අභියෝග ගවේෂණය කරයි.
තීරණාත්මක යෙදුම්: නිරවද්යතාවය වැදගත් වන තැන
දෘශ්ය වීදුරු යනු නූතන ෆෝටෝනික්ස් වල කොඳු නාරටියයි. සන්නිවේදනයේ සිට ආරක්ෂාව දක්වා, මෙම සංරචක සඳහා වන අවශ්යතා වඩ වඩාත් දැඩි වෙමින් පවතී.
1. ලේසර් න්යෂ්ටික විලයනය සහ ශක්තිමත් ලේසර් පද්ධති
අධි බලැති ලේසර් පද්ධතිවල, දෘශ්ය සංරචක අතිවිශාල ශක්ති ඝනත්වයන්ට ඔරොත්තු දිය යුතුය. වීදුරුවේ ඇති ඕනෑම අන්වීක්ෂීය දෝෂයක් හෝ අපිරිසිදුකමක් ලේසර් මගින් ඇතිවන හානියට හේතු විය හැකි අතර, සමස්ත පද්ධතියම අවදානමට ලක් කරයි. මෙහි නිෂ්පාදන අවධානය යොමු වන්නේ භූගත හානිය ඉවත් කිරීම සහ කදම්භ විකෘති වීම වැළැක්වීම සඳහා ඉහළ සමජාතීයතාවයක් සහතික කිරීම සඳහා යටි පෘෂ්ඨයේ හානිය ඉවත් කිරීමයි.
2. අභ්යවකාශ දෘෂ්ටි විද්යාව සහ ගැඹුරු අභ්යවකාශ හඳුනාගැනීම
අභ්යවකාශ දුරේක්ෂ සහ දුරස්ථ සංවේදක උපකරණ විවරය ප්රමාණයෙන් (දැන් මීටර් 4 ඉක්මවන) වර්ධනය වන විට, සැහැල්ලු කිරීම සහ මතුපිට නිරවද්යතාවය සඳහා අවශ්යතාවය තීව්ර වේ. අභ්යවකාශය සඳහා දෘශ්ය සංරචක අතිශය අඩු තාප ප්රසාරණ සංගුණක සහිත ද්රව්ය අවශ්ය වන පරිදි, ආන්තික තාප පරිසරවල ඒවායේ හැඩය පවත්වා ගත යුතුය.
3. අර්ධ සන්නායක සහ EUV ලිතෝග්රැෆි
අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ දී, EUV ලිතෝග්රැෆි පද්ධති 0.1 nm (RMS) ට වඩා අඩු මතුපිට රළුබව පාලනය කරන පරාවර්තක දර්පණ මත රඳා පවතී. පරමාණුක මට්ටමේ ගැටිති පවා ආලෝකය විසුරුවා හැර චිපයක විභේදනය විනාශ කළ හැකිය. මෙය දෘශ්ය වීදුරු නිෂ්පාදනයේ උච්චතම අවස්ථාව නියෝජනය කරයි.
නිෂ්පාදන අභියෝගය: ආතතිය, පැතලි බව සහ සුමට බව
මෙම යෙදුම් සඳහා අවශ්ය ගුණාත්මකභාවය ළඟා කර ගැනීම සඳහා නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ ප්රධාන බාධක තුනක් ජය ගැනීම ඇතුළත් වේ.
1. අභ්යන්තර ආතතිය පාලනය කිරීම
අවශේෂ ආතතිය දෘශ්ය ස්ථායිතාවයේ සතුරා වේ. එය ද්විවර්තනය (වර්තන දර්ශකය වෙනස් කිරීම) ඇති කළ හැකි අතර තාප බර යටතේ ඉරිතැලීම් ඇති කළ හැකිය.
- අභියෝගය: දෘඩ, බිඳෙනසුලු වීදුරු යන්ත්රෝපකරණ කිරීමේදී බොහෝ විට ක්ෂුද්ර ආතතීන් ඇති වේ.
- අපගේ ප්රවේශය: අපි උසස් ඇනීලිං ක්රියාවලීන් සහ අඩු හානි සෑදීමේ ශිල්පීය ක්රම භාවිතා කරමු. සිසිලන අනුපාත දැඩි ලෙස පාලනය කිරීමෙන් සහ ආතති සහන යන්ත්රෝපකරණ උපාය මාර්ග භාවිතා කිරීමෙන්, වීදුරුවේ අභ්යන්තර ව්යුහය උදාසීන හා ස්ථාවරව පවතින බව අපි සහතික කරමු.
2. අතිශය ඉහළ පැතලි බවක් (අඩු සංඛ්යාත නිරවද්යතාවය) ලබා ගැනීම.
අතිශය නිරවද්ය දෘෂ්ටි භෂ්ම සහ දර්පණ උපස්ථර සඳහා, මතුපිට "හැඩය" ඉතා වැදගත් වේ.
- අභියෝගය: සාම්ප්රදායික ඇඹරීමේදී රැලි සහිත බවක් ඇති විය හැකි අතර තරංග ඉදිරිපස නිරවද්යතාවය පිරිහීමට ලක් කරන දෝෂ ඇති විය හැක.
- අපගේ ප්රවේශය: අපි ඉහළ නිරවද්යතාවයකින් යුත් පරිගණක පාලිත දෘශ්ය මතුපිට (CCOS) භාවිතා කරමු. මෙය අපට අඩු සංඛ්යාත දෝෂ (හැඩ අපගමනයන්) නිවැරදි කිරීමට ඉඩ සලසයි, එමඟින් බොහෝ විට 1 nm ට අඩු උච්ච-සිට-නිම්නය (PV) අගයන් ලබා ගත හැකි අතර, දෘශ්ය මාර්ගය පරිපූර්ණ ලෙස පෙළගස්වා ඇති බව සහතික කරයි.
3. මතුපිට රළුබව (ඉහළ සංඛ්යාත සුමට බව)
ඉහළ සංඛ්යාත මතුපිට වයනය නිසා විසිරීම සිදු වේ.
- අභියෝගය: ඇඹරීමෙන් ඉතිරි වන "මීදුම" සහ ක්ෂුද්ර සීරීම් ඉවත් කිරීම සඳහා ද්රව්ය ඉවත් කිරීමේ සිට මතුපිට සුමට කිරීම දක්වා සංක්රමණය වීම අවශ්ය වේ.
- අපගේ ප්රවේශය: අපි චුම්භක ආධාරයෙන් නිම කිරීම ඇතුළුව උසස් ඔප දැමීමේ තාක්ෂණයන් භාවිතා කරමු. මෙම තාක්ෂණය මඟින් නව භූගත හානියක් හඳුන්වා නොදී උප-නැනෝමීටර මතුපිට රළුබව (Ra < 0.6 nm) ලබා ගනිමින් සංකීර්ණ හැඩතල (නිදහස් ආකෘති කාච වැනි) කාණ්ඩ සැකසීමට ඉඩ සලසයි.
ZHHIMG: අතිශය නිරවද්යතාවයේ ඔබේ සහකරු
අමු වීදුරුවේ සිට ක්රියාකාරී දෘශ්ය සංරචකයකට මාරුවීම නැනෝ තාක්ෂණය හරහා යන ගමනකි. ZHHIMG සමූහයේදී, අපි ද්රව්ය විද්යාව සහ නිරවද්ය ඉංජිනේරු විද්යාව අතර පරතරය පියවන්නෙමු.
අපගේ හැකියාවන්ට ඇතුළත් වන්නේ:
- සංකීර්ණ ජ්යාමිතීන්: නිදහස් ආකාර, ඇස්ෆෙරික් සහ තලීය දෘශ්ය සංරචක යන්ත්රෝපකරණ.
- මිනුම් විද්යාව සහ පරීක්ෂාව: මතුපිට ගුණාත්මකභාවය සහ ආකෘති නිරවද්යතාවය තත්ය කාලීනව සත්යාපනය කිරීම සඳහා අන්තර්-පරාමිතික සහ පැතිකඩමානක භාවිතා කිරීම.
- ද්රව්ය පිළිබඳ විශේෂඥතාව: ඉහළ සම්ප්රේෂණයක් සහ අඩු ප්රසාරණයක් සඳහා ප්රසිද්ධ විලයන ලද සිලිකා, ක්වාර්ට්ස් සහ විශේෂිත දෘශ්ය වීදුරු පිළිබඳ ගැඹුරු අත්දැකීම්.
නිගමනය
දෘශ්ය පද්ධති හැකි දේවල සීමාවන් තල්ලු කරන විට, නිරවද්ය වීදුරු සංරචක නිෂ්පාදනය
දෘශ්ය පද්ධති හැකි දේවල සීමාවන් තල්ලු කරන විට, නිරවද්ය වීදුරු සංරචක නිෂ්පාදනය
පළ කිරීමේ කාලය: 2026 අප්රේල්-09