ග්‍රැනයිට් යනු එහි සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ගුණාංග සහ කල්පැවැත්ම නිසා වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ ජනප්‍රිය ද්‍රව්‍යයකි. එය ලොව පුරා ගල්වලවල් වලින් කැණීම් කරන ලද ස්වාභාවික ගලක් වන අතර අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදනය ඇතුළු විවිධ ඉදිකිරීම් අරමුණු සඳහා සියවස් ගණනාවක් තිස්සේ භාවිතා කර ඇත. මෙම ලිපියෙන් අපි ග්‍රැනයිට් වල ගුණාංග සහ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල එහි විවිධ යෙදුම් සාකච්ඡා කරමු.
ග්‍රැනයිට් වල ගුණාංග
ග්‍රැනයිට් යනු මයිකා, ෆෙල්ඩ්ස්පාර් සහ ක්වාර්ට්ස් වලින් සමන්විත ආග්නේය පාෂාණයකි. එය එහි සුවිශේෂී ශක්තිය, දෘඪතාව සහ කල්පැවැත්ම සඳහා ප්‍රසිද්ධය, එය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි. ග්‍රැනයිට් වල තාප ප්‍රසාරණයේ අඩු සංගුණකයක් ඇත, එනම් උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන් එය ප්‍රසාරණය නොවන හෝ හැකිලෙන්නේ නැත, එය ඉතා ස්ථායී වේ. ඊට අමතරව, ග්‍රැනයිට් විඛාදනයට සහ රසායනික ද්‍රව්‍යවලට ප්‍රතිරෝධී වන අතර, එය කටුක පරිසරවල භාවිතය සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් යෙදීම්
ග්‍රැනයිට් යනු එහි අද්විතීය ගුණාංග සංයෝජනය නිසා වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන ද්‍රව්‍යයකි. වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්‍රැනයිට් යෙදීම් කිහිපයක් පහත දැක්වේ:
1. මිනුම් විද්‍යා මෙවලම්
ඛණ්ඩාංක මිනුම් යන්ත්‍ර (CMM) සහ දෘශ්‍ය මිනුම් පද්ධති වැනි මිනුම් විද්‍යා මෙවලම් නිෂ්පාදනය සඳහා ග්‍රැනයිට් බහුලව භාවිතා වේ. මෙම මෙවලම් සඳහා කම්පන සහ තාපයට ඔරොත්තු දිය හැකි ස්ථාවර මතුපිටක් අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් වල ඉහළ තද බව සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණය එවැනි යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
2. වේෆර් චක්ස්
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් රඳවා තබා ගැනීම සඳහා වේෆර් චක් භාවිතා කරයි. වේෆර් විකෘති වීම හෝ නැමීම වැළැක්වීම සඳහා මෙම චක් සඳහා පැතලි හා ස්ථාවර මතුපිටක් අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් ඉතා ස්ථායී සහ විකෘති වීමට ප්‍රතිරෝධී පැතලි මතුපිටක් සපයන අතර එය වේෆර් චක් සඳහා විශිෂ්ට ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
3. රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ (CMP) මෙවලම්
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා CMP මෙවලම් භාවිතා කරයි. මෙම මෙවලම් සඳහා කම්පන සහ තාපයට ඔරොත්තු දිය හැකි ස්ථාවර වේදිකාවක් අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් වල විශිෂ්ට තද බව සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණය එය CMP මෙවලම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
4. වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ
දෝෂ සහ දෝෂ සඳහා වේෆර් පරීක්ෂා කිරීම සඳහා වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ භාවිතා කරයි. නිවැරදි මිනුම් සහතික කිරීම සඳහා මෙම මෙවලම් වලට ස්ථාවර හා පැතලි මතුපිටක් අවශ්‍ය වේ. ග්‍රැනයිට් විකෘති වීමට ප්‍රතිරෝධී ස්ථාවර හා පැතලි මතුපිටක් සපයන අතර එය වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
නිගමනය
නිගමනයක් ලෙස, ග්‍රැනයිට් යනු එහි සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ගුණාංග සහ කල්පැවැත්ම නිසා වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන ද්‍රව්‍යයකි. එය මිනුම් විද්‍යා මෙවලම්, වේෆර් චක්, CMP මෙවලම් සහ වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ නිෂ්පාදනය සඳහා බහුලව භාවිතා වේ. ගුණාංගවල අද්විතීය සංයෝජනය එය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්‍ය යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි. එහි බොහෝ ප්‍රතිලාභ සමඟ, ග්‍රැනයිට් වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා ජනප්‍රිය තේරීමක් ලෙස පවතින අතර, අනාගතයේදී එහි භාවිතය දිගටම වර්ධනය වීමට ඉඩ ඇත.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-27-2023