ග්රැනයිට් යනු එහි ඇති සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ගුණ සහ කල්පැවැත්ම නිසා වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ ජනප්‍රිය ද්‍රව්‍යයකි.එය ලොව පුරා ගල්වලවල් වලින් කැණීම් කරන ලද ස්වාභාවික ගලක් වන අතර අර්ධ සන්නායක උපකරණ නිෂ්පාදනය ඇතුළු විවිධ ඉදිකිරීම් කටයුතු සඳහා සියවස් ගණනාවක් තිස්සේ භාවිතා කර ඇත.මෙම ලිපියෙන් අපි ග්රැනයිට් වල ගුණාංග සහ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල එහි විවිධ යෙදුම් සාකච්ඡා කරමු.
ග්රැනයිට් වල දේපල
ග්රැනයිට් යනු මයිකා, ෆෙල්ඩ්ස්පාර් සහ ක්වාර්ට්ස් වලින් සමන්විත ආග්නේය පාෂාණයකි.එය එහි සුවිශේෂී ශක්තිය, දෘඪතාව සහ කල්පැවැත්ම සඳහා ප්‍රසිද්ධය, එය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්ය යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.ග්රැනයිට් තාප ප්‍රසාරණයේ අඩු සංගුණකයක් ඇත, එයින් අදහස් කරන්නේ උෂ්ණත්ව වෙනස්වීම් හේතුවෙන් එය ප්‍රසාරණය වීම හෝ හැකිලීම සිදු නොවන අතර එය ඉතා ස්ථායී වේ.මීට අමතරව, ග්රැනයිට් විඛාදනයට සහ රසායනික ද්‍රව්‍යවලට ප්‍රතිරෝධී වන අතර, එය කටුක පරිසරවල භාවිතය සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්රැනයිට් යෙදීම්
ග්රැනයිට් යනු එහි ඇති අද්විතීය ගුණාංග නිසා වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන ද්‍රව්‍යයකි.පහත දැක්වෙන්නේ වේෆර් සැකසුම් උපකරණවල ග්රැනයිට් යෙදීම් කිහිපයකි:
1. මිනුම් විද්‍යා මෙවලම්
ඛණ්ඩාංක මිනුම් යන්ත්‍ර (CMMs) සහ දෘශ්‍ය මිනුම් පද්ධති වැනි මිනුම් විද්‍යා මෙවලම් නිෂ්පාදනය සඳහා ග්රැනයිට් බහුලව භාවිතා වේ.මෙම මෙවලම් සඳහා කම්පන සහ තාපයට ඔරොත්තු දිය හැකි ස්ථාවර පෘෂ්ඨයන් අවශ්ය වේ.ග්‍රැනයිට්වල ඉහළ තද බව සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණය එවැනි යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
2. වේෆර් චක්ස්
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් රඳවා තබා ගැනීමට වේෆර් චක් භාවිතා කරයි.වේෆරය විකෘති වීම හෝ නැමීම වැළැක්වීම සඳහා මෙම කුට්ටි සඳහා පැතලි හා ස්ථාවර මතුපිටක් අවශ්ය වේ.ග්රැනයිට් පැතලි මතුපිටක් සපයන අතර එය ඉතා ස්ථායී සහ විකෘති කිරීමට ප්‍රතිරෝධී වන අතර එය වේෆර් කුට්ටි සඳහා විශිෂ්ට ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
3. රසායනික යාන්ත්‍රික ඔප දැමීමේ (CMP) මෙවලම්
නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී වේෆර් ඔප දැමීම සඳහා CMP මෙවලම් භාවිතා වේ.මෙම මෙවලම් සඳහා කම්පන සහ තාපයට ඔරොත්තු දිය හැකි ස්ථාවර වේදිකාවක් අවශ්ය වේ.ග්‍රැනයිට්වල විශිෂ්ට තද බව සහ අඩු තාප ප්‍රසාරණය එය CMP මෙවලම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
4. වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ
දෝෂ සහ දෝෂ සඳහා වේෆර් පරීක්ෂා කිරීම සඳහා වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ භාවිතා කරයි.නිවැරදි මිනුම් සහතික කිරීම සඳහා මෙම මෙවලම් සඳහා ස්ථාවර සහ පැතලි මතුපිටක් අවශ්ය වේ.ග්රැනයිට් ස්ථායී සහ පැතලි මතුපිටක් සපයන අතර එය විකෘති කිරීමට ප්‍රතිරෝධී වන අතර එය වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.
නිගමනය
අවසාන වශයෙන්, ග්රැනයිට් යනු එහි ඇති සුවිශේෂී යාන්ත්‍රික ගුණ සහ කල්පැවැත්ම හේතුවෙන් වේෆර් සැකසුම් කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වන ද්‍රව්‍යයකි.මිනුම් උපකරණ, වේෆර් චක්, CMP මෙවලම් සහ වේෆර් පරීක්ෂණ උපකරණ නිෂ්පාදනය කිරීමේදී එය බහුලව භාවිතා වේ.ගුණාංගවල අද්විතීය සංයෝජනය එය ඉහළ නිරවද්‍යතාවයක් සහ නිරවද්‍යතාවයක් අවශ්ය යෙදුම් සඳහා කදිම ද්‍රව්‍යයක් බවට පත් කරයි.එහි බොහෝ ප්‍රතිලාභ සමඟින්, ග්රැනයිට් වේෆර් සැකසුම් උපකරණ සඳහා ජනප්‍රිය තේරීමක් ලෙස පවතින අතර අනාගතයේදී එහි භාවිතය දිගටම වර්ධනය වීමට ඉඩ ඇත.
පසු කාලය: දෙසැම්බර්-27-2023